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1. 发明专利

TW200702265A 基板用搬運除塵裝置之使用方法、以及基板用搬運除塵裝置审中-公开
简体标题：基板用搬运除尘设备之使用方法、以及基板用搬运除尘设备
公开(公告)号：TW200702265A
公开(公告)日：2007-01-16
申请号：TW094127090
申请日：2005-08-10
申请人：修谷魯電子機器股份有限公司 HUGLE ELECTRONICS INC.
发明人：管野盛利 KANNO MORITOSHI , 中村康平 NAKAMURA KOUHEI , 飯田秀夫 IIDA HIDEO
IPC分类号： B65G , B08B
CPC分类号： B08B5/04 , B08B5/023 , B08B5/043
摘要： [課題]提供一種基板用搬運除塵裝置之使用方法及基板用搬運除塵裝置,使在將基板之前端引入除塵單元時不發生彎曲或振動,而且調整細腰管效應的平衡,使增加向下側之吸引力,係薄且具有彈性之基板亦實現安定之搬運或塵埃等之吸引的增加。[解決手段]一種基板用搬運除塵裝置及其使用方法,將下側除塵單元210之吸氣室211、213之的吸引縫隙之縱向配置成對基板搬運方向a大致成直角。而且在基板G之一邊方向對基板搬運方向a之大致垂直方向以既定之交叉角��傾斜的狀態,在如基板G之突端變成前頭般向下側除塵單元210搬運下接受除塵。
简体摘要： [课题]提供一种基板用搬运除尘设备之使用方法及基板用搬运除尘设备,使在将基板之前端引入除尘单元时不发生弯曲或振动,而且调整细腰管效应的平衡,使增加向下侧之吸引力,系薄且具有弹性之基板亦实现安定之搬运或尘埃等之吸引的增加。[解决手段]一种基板用搬运除尘设备及其使用方法,将下侧除尘单元210之吸气室211、213之的吸引缝隙之纵向配置成对基板搬运方向a大致成直角。而且在基板G之一边方向对基板搬运方向a之大致垂直方向以既定之交叉角��倾斜的状态,在如基板G之突端变成前头般向下侧除尘单元210搬运下接受除尘。

2. 发明专利

TW201429572A 自動清潔裝置审中-公开
简体标题：自动清洁设备
公开(公告)号：TW201429572A
公开(公告)日：2014-08-01
申请号：TW102101959
申请日：2013-01-18
申请人：全利機械股份有限公司 , CHAN LI MACHINERY CO., LTD.
发明人：黃蒼洲
IPC分类号： B08B5/02 , B08B13/00
CPC分类号： B08B5/023 , A47L5/14 , B08B5/043 , B08B9/021 , D21F3/10 , D21F7/00
摘要：本發明提供一種自動清潔裝置，尤指一種使用於清潔滾輪之吸風孔的自動清潔裝置，其中滾輪包括有多個吸風孔，而自動清潔裝置包括有至少一吹風裝置，吹風裝置設置在滾輪的輪面旁以對著轉動中的滾輪其吸風孔進行吹風，在此，藉由吹風裝置之使用，不僅可吹去滾輪之吸風孔中的粉塵或髒物，而讓吸風孔始終保持清潔與通氣，並且滾輪無須停機就可對於吸風孔進行吹風清潔，致使以避免滾輪停機之因素而影響到產品的生產效率。
简体摘要：本发明提供一种自动清洁设备，尤指一种使用于清洁滚轮之吸风孔的自动清洁设备，其中滚轮包括有多个吸风孔，而自动清洁设备包括有至少一吹风设备，吹风设备设置在滚轮的轮面旁以对着转动中的滚轮其吸风孔进行吹风，在此，借由吹风设备之使用，不仅可吹去滚轮之吸风孔中的粉尘或脏物，而让吸风孔始终保持清洁与通气，并且滚轮无须停机就可对于吸风孔进行吹风清洁，致使以避免滚轮停机之因素而影响到产品的生产效率。

3. 发明专利

TWI514610B 異物除去裝置以及使用該裝置之太陽能電池的製造方法有权
简体标题：异物除去设备以及使用该设备之太阳能电池的制造方法
公开(公告)号：TWI514610B
公开(公告)日：2015-12-21
申请号：TW103108967
申请日：2014-03-13
申请人：三菱電機股份有限公司 , MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION
发明人：中谷光德 , NAKATANI, MITSUNORI , 黑田章裕 , KURODA, AKIHIRO , 浅野聡也 , ASANO, TOSHIYA , 沖本聖 , OKIMOTO, TAKASHI
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/042
CPC分类号： B08B1/02 , B08B1/04 , B08B5/043 , F24S40/20 , H01L31/02363 , H02S40/10 , Y02E10/40 , Y02E10/50

4. 发明专利

TW201507188A 異物除去裝置以及使用該裝置之太陽能電池的製造方法审中-公开
简体标题：异物除去设备以及使用该设备之太阳能电池的制造方法
公开(公告)号：TW201507188A
公开(公告)日：2015-02-16
申请号：TW103108967
申请日：2014-03-13
申请人：三菱電機股份有限公司 , MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION
发明人：中谷光德 , NAKATANI, MITSUNORI , 黑田章裕 , KURODA, AKIHIRO , 浅野聡也 , ASANO, TOSHIYA , 沖本聖 , OKIMOTO, TAKASHI
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/042
CPC分类号： B08B1/02 , B08B1/04 , B08B5/043 , F24S40/20 , H01L31/02363 , H02S40/10 , Y02E10/40 , Y02E10/50
摘要：將外徑與組織尺寸同等高精確度製作之柔毛的旋轉刷子37推抵於剛進行CVD成膜之後的(太陽能電池)晶元10相當於組織尺寸的量，而避免因為組織缺損所導致之pn接合破壞，且藉由旋轉刷子37的旋轉力僅將異物微粒子14、異物粗大粒子14G等之CVD異物予以去除。藉此，即使一面將對於柵電極寬度30μm至150μm之印刷會帶來障礙的CVD異物予以去除，也不會使晶元表面損傷，或使在印刷步驟中會引起麻煩的刷子材料附著於晶元表面，而可進行製造太陽能電池。
简体摘要：将外径与组织尺寸同等高精确度制作之柔毛的旋转刷子37推抵于刚进行CVD成膜之后的(太阳能电池)芯片10相当于组织尺寸的量，而避免因为组织缺损所导致之pn接合破坏，且借由旋转刷子37的旋转力仅将异物微粒子14、异物粗大粒子14G等之CVD异物予以去除。借此，即使一面将对于栅电极宽度30μm至150μm之印刷会带来障碍的CVD异物予以去除，也不会使芯片表面损伤，或使在印刷步骤中会引起麻烦的刷子材料附着于芯片表面，而可进行制造太阳能电池。

5. 发明专利

TWI621171B 片材表面處理方法及結構有权
简体标题：片材表面处理方法及结构
公开(公告)号：TWI621171B
公开(公告)日：2018-04-11
申请号：TW104133563
申请日：2015-10-13
申请人：陽程科技股份有限公司 , USUN TECHNOLOGY CO., LTD.
发明人：黃秋逢 , HUANG, CHIU FONG
IPC分类号： H01L21/3063
CPC分类号： B08B3/022 , B08B3/041 , B08B5/043 , C23C18/16 , C25D7/0614

6. 发明专利

TWI305191B 基板用搬運除塵裝置之使用方法、以及基板用搬運除塵裝置有权
简体标题：基板用搬运除尘设备之使用方法、以及基板用搬运除尘设备
公开(公告)号：TWI305191B
公开(公告)日：2009-01-11
申请号：TW094127090
申请日：2005-08-10
申请人：修谷魯電子機器股份有限公司 HUGLE ELECTRONICS INC.
发明人：管野盛利 KANNO MORITOSHI , 中村康平 NAKAMURA KOUHEI , 飯田秀夫 IIDA HIDEO
IPC分类号： B65G , B08B
CPC分类号： B08B5/04 , B08B5/023 , B08B5/043
摘要： [課題] 提供一種基板用搬運除塵裝置之使用方法及基板用搬運除塵裝置,使在將基板之前端引入除塵單元時不發生彎曲或振動,而且調整細腰管效應的平衡,使增加向下側之吸引力,係薄且具有彈性之基板亦實現安定之搬運或塵埃等之吸引的增加。
[解決手段] 一種基板用搬運除塵裝置及其使用方法,將下側除塵單元210之吸氣室211、213之的吸引縫隙之縱向配置成對基板搬運方向a大致成直角,而且在基板G之一邊方向對基板搬運方向a之大致垂直方向以既定之交叉角��傾斜的狀態,在如基板G之突端變成前頭般向下側除塵單元210搬運下接受除塵。
简体摘要： [课题] 提供一种基板用搬运除尘设备之使用方法及基板用搬运除尘设备,使在将基板之前端引入除尘单元时不发生弯曲或振动,而且调整细腰管效应的平衡,使增加向下侧之吸引力,系薄且具有弹性之基板亦实现安定之搬运或尘埃等之吸引的增加。 [解决手段] 一种基板用搬运除尘设备及其使用方法,将下侧除尘单元210之吸气室211、213之的吸引缝隙之纵向配置成对基板搬运方向a大致成直角,而且在基板G之一边方向对基板搬运方向a之大致垂直方向以既定之交叉角��倾斜的状态,在如基板G之突端变成前头般向下侧除尘单元210搬运下接受除尘。

7. 发明专利

TW200521096A 基板附著物除去方法及基板乾燥方法、使用該方法之基板附著物除去裝置及基板乾燥裝置审中-公开
简体标题：基板附着物除去方法及基板干燥方法、使用该方法之基板附着物除去设备及基板干燥设备
公开(公告)号：TW200521096A
公开(公告)日：2005-07-01
申请号：TW093139314
申请日：2004-12-17
申请人：三星鑽石工業股份有限公司
发明人：西尾仁孝 , 大島幸雄
IPC分类号： C03B
CPC分类号： F26B21/004 , B08B5/023 , B08B5/04 , B08B5/043 , F26B5/14
摘要：一種基板附著物除去方法，係使用形成有能將流體吐出成帶狀之狹縫部的氣刀單元，而將附著於基板主面之附著物從基板之主面除去；係對基板使複數個氣刀單元相對移動，並在氣刀單元與基板之主面之間形成在該移動方向之正交方向具有大致均一形狀的流體導入路，從形成於該氣刀單元後部之狹縫部將流體朝流體導入路排出，接著，使其通過流體導入路而導引至對向於氣刀單元之前部所形成之壁面或表觀上之壁面，並且，透過流路截面積比流體導入路大且形成於氣刀單元與壁面之間的流體導出路，使附著於基板之基板附著物與該流體一起從基板主面遠離而導出。
简体摘要：一种基板附着物除去方法，系使用形成有能将流体吐出成带状之狭缝部的气刀单元，而将附着于基板主面之附着物从基板之主面除去；系对基板使复数个气刀单元相对移动，并在气刀单元与基板之主面之间形成在该移动方向之正交方向具有大致均一形状的流体导入路，从形成于该气刀单元后部之狭缝部将流体朝流体导入路排出，接着，使其通过流体导入路而导引至对向于气刀单元之前部所形成之壁面或表观上之壁面，并且，透过流路截面积比流体导入路大且形成于气刀单元与壁面之间的流体导出路，使附着于基板之基板附着物与该流体一起从基板主面远离而导出。

8. 发明专利

TW201714214A 片材表面處理方法及結構审中-公开
简体标题：片材表面处理方法及结构
公开(公告)号：TW201714214A
公开(公告)日：2017-04-16
申请号：TW104133563
申请日：2015-10-13
申请人：陽程科技股份有限公司 , USUN TECHNOLOGY CO., LTD.
发明人：黃秋逢 , HUANG, CHIU FONG
IPC分类号： H01L21/3063
CPC分类号： B08B3/022 , B08B3/041 , B08B5/043 , C23C18/16 , C25D7/0614
摘要：本發明為有關一種片材表面處理方法及結構，其係設有可供板材單向進出之通道，且通道側邊設有間隔狀連續排列之複數液體加工裝置及氣體加工裝置，而欲加工之板材進入通道時，為利用推移裝置將板材由通道入口推向出口，此時，液體加工裝置使液體注入對進入通道板材進行表面處理，再以氣體加工裝置進行吸風真空使表面液體及雜質排出，如此藉由複數液體加工裝置及氣體加工裝置輪流對板材進行表面處理及清潔，而使大尺寸之板材在表面處理及清潔時，具有均勻加工之特性，進而可達到表面處理均勻化及成品良率增加之目的。
简体摘要：本发明为有关一种片材表面处理方法及结构，其系设有可供板材单向进出之信道，且信道侧边设有间隔状连续排列之复数液体加工设备及气体加工设备，而欲加工之板材进入信道时，为利用推移设备将板材由信道入口推向出口，此时，液体加工设备使液体注入对进入信道板材进行表面处理，再以气体加工设备进行吸风真空使表面液体及杂质排出，如此借由复数液体加工设备及气体加工设备轮流对板材进行表面处理及清洁，而使大尺寸之板材在表面处理及清洁时，具有均匀加工之特性，进而可达到表面处理均匀化及成品良率增加之目的。

9. 发明专利

TWI576174B 自動清潔裝置有权
简体标题：自动清洁设备
公开(公告)号：TWI576174B
公开(公告)日：2017-04-01
申请号：TW102101959
申请日：2013-01-18
申请人：全利機械股份有限公司 , CHAN LI MACHINERY CO., LTD.
发明人：黃蒼洲
IPC分类号： B08B5/02 , B08B13/00
CPC分类号： B08B5/023 , A47L5/14 , B08B5/043 , B08B9/021 , D21F3/10 , D21F7/00

10. 发明专利

TW327140B 除塵裝置失效
简体标题：除尘设备
公开(公告)号：TW327140B
公开(公告)日：1998-02-21
申请号：TW086106280
申请日：1997-05-12
申请人：伸興股份有限公司
发明人：青木拓美
IPC分类号： B08B , A47L
CPC分类号： B08B15/04 , B08B1/007 , B08B1/04 , B08B5/04 , B08B5/043
摘要：於除塵裝置中，可將附著力強的塵埃R由操作品2確實地除去，且可防止對操作品2造成傷害。除塵裝置為具備在接近操作品2之位置具有開口之空氣吸入口3的空氣吸入室4、和在空氣吸入室4之內部所設置之可摺觸操作品2的迴轉刷滾筒5、和接近或觸接迴轉刷滾筒5並將此迴轉刷滾筒5所附著之塵埃R吸入除去的管嘴6。以迴轉刷滾筒5之直徑視為D，且空氣吸入室4之與操作品2運轉方向平行之方向的內寬標度視為W時，則D≦W≦(D＋20mm)。
简体摘要：于除尘设备中，可将附着力强的尘埃R由操作品2确实地除去，且可防止对操作品2造成伤害。除尘设备为具备在接近操作品2之位置具有开口之空气吸入口3的空气吸入室4、和在空气吸入室4之内部所设置之可折触操作品2的掉头刷滚筒5、和接近或触接掉头刷滚筒5并将此掉头刷滚筒5所附着之尘埃R吸入除去的管嘴6。以掉头刷滚筒5之直径视为D，且空气吸入室4之与操作品2运转方向平行之方向的内宽标度视为W时，则D≦W≦(D＋20mm)。

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