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    • 2. 发明专利
    • 表面處理裝置及表面處理方法
    • 表面处理设备及表面处理方法
    • TW201920775A
    • 2019-06-01
    • TW107131845
    • 2018-09-11
    • 日商上村工業股份有限公司C. UYEMURA & CO., LTD.
    • 奥田朋士OKUDA, TOMOJI松山大輔MATSUYAMA, DAISUKE立花司TACHIBANA, SHINJI內海雅之UTSUMI, MASAYUKI
    • C25D5/08C25D21/12
    • 提供一種在對被處理物實施表面處理時,可提升表面處理品質的表面處理裝置及表面處理方法。 一種表面處理裝置,係對至少一部分被浸漬於液的被處理物實施表面處理之裝置,其特徵為: 該裝置,係具有朝向被處理物的被處理面噴射處理液的噴射部, 前述噴射部係對向於前述被處理物而設,且 具有噴射部旋轉手段及被處理物旋轉手段之中至少一方, 該噴射部旋轉手段,係在相對於前述被處理物的被處理面平行的面內使前述噴射部旋轉, 該被處理物旋轉手段,係在相對於從前述噴射部噴射的處理液的噴射方向垂直的面內使前述被處理物旋轉。
    • 提供一种在对被处理物实施表面处理时,可提升表面处理品质的表面处理设备及表面处理方法。 一种表面处理设备,系对至少一部分被浸渍于液的被处理物实施表面处理之设备,其特征为: 该设备,系具有朝向被处理物的被处理面喷射处理液的喷射部, 前述喷射部系对向于前述被处理物而设,且 具有喷射部旋转手段及被处理物旋转手段之中至少一方, 该喷射部旋转手段,系在相对于前述被处理物的被处理面平行的面内使前述喷射部旋转, 该被处理物旋转手段,系在相对于从前述喷射部喷射的处理液的喷射方向垂直的面内使前述被处理物旋转。
    • 3. 发明专利
    • 表面處理裝置
    • 表面处理设备
    • TW201827644A
    • 2018-08-01
    • TW106121746
    • 2017-06-29
    • 上村工業股份有限公司C. UYEMURA & CO., LTD.
    • 內海雅之UTSUMI, MASAYUKI仲宣彥NAKA, NOBUHIKO
    • C23C18/31C25D17/00C25D17/06
    • 本發明提供一種表面處理裝置,能夠抑制因粉塵的混入而導致的不良產生。輥以能夠旋轉的方式固定在從橫防護壁突出設置的旋轉軸上。橫防護壁垂直固定在下防護壁上,該下防護壁固定在外壁上。吊架的垂下板穿過兩側的下防護壁之間的空間而對夾緊件進行支承。在由橫防護壁、下防護壁、外壁形成的空間中充滿了水等液體。液體被充滿到將旋轉軸的一半覆蓋的程度。因此,能夠通過液體來捕捉搬送機構所產生的微小的粉塵,防止粉塵在空氣中漂浮而從空間朝向基板進入。
    • 本发明提供一种表面处理设备,能够抑制因粉尘的混入而导致的不良产生。辊以能够旋转的方式固定在从横防护壁突出设置的旋转轴上。横防护壁垂直固定在下防护壁上,该下防护壁固定在外壁上。吊架的垂下板穿过两侧的下防护壁之间的空间而对夹紧件进行支承。在由横防护壁、下防护壁、外壁形成的空间中充满了水等液体。液体被充满到将旋转轴的一半覆盖的程度。因此,能够通过液体来捕捉搬送机构所产生的微小的粉尘,防止粉尘在空气中漂浮而从空间朝向基板进入。
    • 10. 发明专利
    • 表面處理裝置
    • 表面处理设备
    • TW202026463A
    • 2020-07-16
    • TW108140677
    • 2019-11-08
    • 日商上村工業股份有限公司C. UYEMURA & CO., LTD.
    • 內海雅之UTSUMI, MASAYUKI竹內雅治TAKEUCHI, MASAHARU
    • C23C18/54
    • 本發明提供表面處理裝置,減少澆流式的表面處理裝置的處理液的飛散量。在各處理室的入口側和出口側具有膜形成機構。膜形成機構以流量5L/min~10L/min噴射不間斷的0.01 MPa 程度的層流狀的液體。該液體膜防止在飛散防止部件的表面反彈的液滴彈起而進入處理室。即使板狀工件晃動,由於由膜形成機構成的膜是液體,因此即使板狀工件與液體膜碰撞,液體也會沿板狀工件流動。由此,會減小板狀工件的晃動。減小各處理室內的空氣向搬運方向的流入量。
    • 本发明提供表面处理设备,减少浇流式的表面处理设备的处理液的飞散量。在各处理室的入口侧和出口侧具有膜形成机构。膜形成机构以流量5L/min~10L/min喷射不间断的0.01 MPa 程度的层流状的液体。该液体膜防止在飞散防止部件的表面反弹的液滴弹起而进入处理室。即使板状工件晃动,由于由膜形成机构成的膜是液体,因此即使板状工件与液体膜碰撞,液体也会沿板状工件流动。由此,会减小板状工件的晃动。减小各处理室内的空气向搬运方向的流入量。