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    • 35. 发明专利
    • 化學機械研磨修整器及其製作方法
    • 化学机械研磨修整器及其制作方法
    • TW201711804A
    • 2017-04-01
    • TW104132104
    • 2015-09-30
    • 中國砂輪企業股份有限公司
    • 周瑞麟邱家豐林冠宏廖文仁蘇學紳
    • B24B53/017B33Y80/00
    • 本創作提供一種化學機械研磨修整器,其包含:一基板;一研磨基座單元包含由三維列印設備而形成之基板結合層、支撐層與磨料結合層,基板結合層位於基板之表面,支撐層位於基板結合層表面並具複數磨料凹槽,磨料結合層位於磨料凹槽表面;複數個磨料部分埋設於磨料凹槽內,且各磨料具一磨料尖端。本創作之研磨基座單元係由三維列印設備所形成,並具磨料凹槽以容置磨料,其加工方式簡易;三維列印設備亦精準控制磨料凹槽之形狀及其於基板上的位置,係得精準的控制磨料於基板上之分佈及其尖端方向。本創作另提供一種化學機械研磨修整器之製法。
    • 本创作提供一种化学机械研磨修整器,其包含:一基板;一研磨基座单元包含由三维打印设备而形成之基板结合层、支撑层与磨料结合层,基板结合层位于基板之表面,支撑层位于基板结合层表面并具复数磨料凹槽,磨料结合层位于磨料凹槽表面;复数个磨料部分埋设于磨料凹槽内,且各磨料具一磨料尖端。本创作之研磨基座单元系由三维打印设备所形成,并具磨料凹槽以容置磨料,其加工方式简易;三维打印设备亦精准控制磨料凹槽之形状及其于基板上的位置,系得精准的控制磨料于基板上之分布及其尖端方向。本创作另提供一种化学机械研磨修整器之制法。
    • 36. 发明专利
    • 化學機械研磨修整器
    • 化学机械研磨修整器
    • TW201703929A
    • 2017-02-01
    • TW104124495
    • 2015-07-29
    • 中國砂輪企業股份有限公司
    • 周瑞麟邱家豐林冠宏廖文仁蘇學紳
    • B24B53/12B24D7/06
    • 本創作提供一種化學機械研磨修整器,其包含:一基板,其包含一表面與複數內凹部,該等內凹部內凹成型於該表面;複數研磨柱,其對應裝設於該等內凹部,各研磨柱包含相對之一固設部與一研磨部,該固設部藉由一結合層裝設固定於該內凹部內;以及一研磨層透過化學氣相沈積法形成於該等研磨柱之各研磨部之上,且該研磨層具有一研磨尖端。本創作之化學機械研磨修整器係利用研磨層配合研磨部取代鑽石,藉此可避免焊接過程中鑽石尖點偏移或因鑽石的硬度高而使得加工過程不易以及可能造成鑽石損毀的情形。
    • 本创作提供一种化学机械研磨修整器,其包含:一基板,其包含一表面与复数内凹部,该等内凹部内凹成型于该表面;复数研磨柱,其对应装设于该等内凹部,各研磨柱包含相对之一固设部与一研磨部,该固设部借由一结合层装设固定于该内凹部内;以及一研磨层透过化学气相沉积法形成于该等研磨柱之各研磨部之上,且该研磨层具有一研磨尖端。本创作之化学机械研磨修整器系利用研磨层配合研磨部取代钻石,借此可避免焊接过程中钻石尖点偏移或因钻石的硬度高而使得加工过程不易以及可能造成钻石损毁的情形。
    • 38. 发明专利
    • 具有刷拭件之拋光墊修整器
    • 具有刷拭件之抛光垫修整器
    • TW201609318A
    • 2016-03-16
    • TW103131280
    • 2014-09-11
    • 中國砂輪企業股份有限公司
    • 周瑞麟王嘉群邱家豐廖文仁
    • B24B53/017
    • B24B53/017
    • 一種具有刷拭件之拋光墊修整器,其包含:一基板,其包含一表面,其上內凹成形複數內凹部面;複數金屬柱磨料,各金屬柱磨料包含一金屬柱與一磨料,金屬柱包含一連接端裝設於內凹部內與一切削端,磨料裝設於切削端並露出一尖端,且各尖端與表面之水平面的垂直距離皆相等;複數叢設於表面之刷拭件,而各叢刷拭件之末端相對高於該等尖端,並與該等尖端所形成之水平面的垂直距離係介於0.1至1毫米。本創作藉精確的控制尖端與刷毛末端之高度而得提升對孔隙內碎屑的清除效果,並避免部分孔隙內碎屑未有效被清除的問題。
    • 一种具有刷拭件之抛光垫修整器,其包含:一基板,其包含一表面,其上内凹成形复数内凹部面;复数金属柱磨料,各金属柱磨料包含一金属柱与一磨料,金属柱包含一连接端装设于内凹部内与一切削端,磨料装设于切削端并露出一尖端,且各尖端与表面之水平面的垂直距离皆相等;复数丛设于表面之刷拭件,而各丛刷拭件之末端相对高于该等尖端,并与该等尖端所形成之水平面的垂直距离系介于0.1至1毫米。本创作藉精确的控制尖端与刷毛末端之高度而得提升对孔隙内碎屑的清除效果,并避免部分孔隙内碎屑未有效被清除的问题。
    • 40. 发明专利
    • 利用編織預形體製作之化學機械研磨修整器
    • 利用编织预形体制作之化学机械研磨修整器
    • TW201507807A
    • 2015-03-01
    • TW102129453
    • 2013-08-16
    • 中國砂輪企業股份有限公司KINIK COMPANY
    • 王嘉群WANG, CHIA CHUN邱家豐CHIU, CHIA FENG廖文仁LIAO, WEN JEN鄭忠義CHENG, CHUNG YI
    • B24B37/22B24B37/24B24D13/16
    • B24B53/017B24B53/10
    • 本發明係有關於一種利用編織預形體製作之化學機械研磨修整器,包括:一基板;一結合層,該結合層係設置於該基板上;以及複數個研磨顆粒,該些研磨顆粒係埋設於該結合層,且該些研磨顆粒藉由該結合層以固定於該基板上;其中,該結合層係藉由一編織預形體加熱硬化而形成,且該些研磨顆粒係預先固定於該編織預形體。藉此,本發明可藉由該編織預形體提供結合層具有較佳的可撓性,並改善習知粉末結合層內的樹脂殘留問題,或片狀結合層在加熱硬化過程中所造成之熱烈痕或熱變形問題,進而提升化學機械研磨修整器之研磨性能及使用壽命。
    • 本发明系有关于一种利用编织预形体制作之化学机械研磨修整器,包括:一基板;一结合层,该结合层系设置于该基板上;以及复数个研磨颗粒,该些研磨颗粒系埋设于该结合层,且该些研磨颗粒借由该结合层以固定于该基板上;其中,该结合层系借由一编织预形体加热硬化而形成,且该些研磨颗粒系预先固定于该编织预形体。借此,本发明可借由该编织预形体提供结合层具有较佳的可挠性,并改善习知粉末结合层内的树脂残留问题,或片状结合层在加热硬化过程中所造成之热烈痕或热变形问题,进而提升化学机械研磨修整器之研磨性能及使用寿命。