专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

3. 发明专利

TW201507807A 利用編織預形體製作之化學機械研磨修整器审中-公开
简体标题：利用编织预形体制作之化学机械研磨修整器
公开(公告)号：TW201507807A
公开(公告)日：2015-03-01
申请号：TW102129453
申请日：2013-08-16
申请人：中國砂輪企業股份有限公司 , KINIK COMPANY
发明人：王嘉群 , WANG, CHIA CHUN , 邱家豐 , CHIU, CHIA FENG , 廖文仁 , LIAO, WEN JEN , 鄭忠義 , CHENG, CHUNG YI
IPC分类号： B24B37/22 , B24B37/24 , B24D13/16
CPC分类号： B24B53/017 , B24B53/10
摘要：本發明係有關於一種利用編織預形體製作之化學機械研磨修整器，包括：一基板；一結合層，該結合層係設置於該基板上；以及複數個研磨顆粒，該些研磨顆粒係埋設於該結合層，且該些研磨顆粒藉由該結合層以固定於該基板上；其中，該結合層係藉由一編織預形體加熱硬化而形成，且該些研磨顆粒係預先固定於該編織預形體。藉此，本發明可藉由該編織預形體提供結合層具有較佳的可撓性，並改善習知粉末結合層內的樹脂殘留問題，或片狀結合層在加熱硬化過程中所造成之熱烈痕或熱變形問題，進而提升化學機械研磨修整器之研磨性能及使用壽命。
简体摘要：本发明系有关于一种利用编织预形体制作之化学机械研磨修整器，包括：一基板；一结合层，该结合层系设置于该基板上；以及复数个研磨颗粒，该些研磨颗粒系埋设于该结合层，且该些研磨颗粒借由该结合层以固定于该基板上；其中，该结合层系借由一编织预形体加热硬化而形成，且该些研磨颗粒系预先固定于该编织预形体。借此，本发明可借由该编织预形体提供结合层具有较佳的可挠性，并改善习知粉末结合层内的树脂残留问题，或片状结合层在加热硬化过程中所造成之热烈痕或热变形问题，进而提升化学机械研磨修整器之研磨性能及使用寿命。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式