专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

KR20180040159A 이온 빔을 조작하기 위한 기술들 및 장치 审中-公开
公开(公告)号：KR20180040159A
公开(公告)日：2018-04-19
申请号：KR20187009331
申请日：2016-08-25
申请人： VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASS INC
发明人： BUFF JAMES S , BENVENISTE VICTOR , SINCLAIR FRANK
IPC分类号： H01J37/14 , H01J37/141 , H01J37/147 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/1475 , H01J37/14 , H01J37/1471 , H01J37/1478 , H01J37/3171 , H01J2237/1415 , H01J2237/152 , H01J2237/31701
摘要： 방법은: 이온소스로부터이온빔을생성하는단계로서, 이온빔은초기전파방향을갖는, 단계; 이온빔을초기전파방향에대하여초기경사각으로편향시키는단계; 이온빔을자기어셈블리내의개구를통해통과시키는단계; 및이온빔의초기전파방향에수직하는제 1 방향을따라서연장하는 4중극필드및 이온빔의초기전파방향및 제 1 방향에수직하는제 2 방향을따라서연장하는 2중극필드를개구내에생성하는단계를포함할수 있다.

2. 发明公开

KR1020170108996A 하전 입자선 장치 및 주사 전자 현미경 审中-实审
标题翻译：带电粒子线装置和扫描电子显微镜
公开(公告)号：KR1020170108996A
公开(公告)日：2017-09-27
申请号：KR1020177023838
申请日：2015-12-03
申请人： 마쯔사다 프리지션 인코포레이티드
发明人： 쿠마모토카즈야 , 마쯔다사다요시
IPC分类号： H01J37/141 , H01J37/20 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/21 , H01J37/141 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/28
摘要： 본발명은, 하전입자선장치의성능향상을도모한다. 하전입자선장치는, 하전입자원(11)과, 하전입자원(11)으로부터방출되는하전입자선(12)을가속하기위해설치되는, 하전입자원(11)에접속된가속전원(14)과, 하전입자선(12)을시료(23)에집속시키는대물렌즈(26)를가진다. 대물렌즈(26)는시료(23)에대하여하전입자선(12)이입사하는측의반대측에설치되고, 대물렌즈(26)를형성하는자극은하전입자선(12)의이상광축과중심축이일치한중심자극(26a)과, 상부자극(26b)과, 통형의측면자극(26c)과, 원반형상의하부자극(26d)을가지고, 중심자극(26a)의시료(23) 측에가까운상부는, 상기상부일수록직경이작아지게되는형상이며, 중심자극(26a)의하부는원기둥형상이며, 상부자극(26b)은, 중심에원형의개구부가형성된자극이며, 중심을향해테이퍼형으로중심자극의중심에가까운측이얇아지는원반형상이다.
摘要翻译：本发明改进了带电粒子束装置的性能。带电粒子束装置包括带电粒子源11和连接到带电粒子源11的加速电源14，该带电粒子源11被安装以加速从带电粒子源11发射的带电粒子束12，以及用于将带电粒子束12会聚到样本23上的物镜26。物镜26设置在与带电粒子束12进入样本23的一侧相反的一侧，并且形成物镜26的刺激光束传输线12的理想光轴和中心轴靠近中心磁极26a的样本23侧的上部具有中心中央磁极26a，上部磁极26b，圆柱形侧部磁极26c和盘形下部磁极26d 中央磁极26a的下部为圆筒状，上侧磁极26b为中央具有圆形开口且朝向中央逐渐变细的磁极，在靠近光盘中心的一侧变薄。

3. 发明公开

KR1020170101198A 복합 다중극자 자석 및 쌍극자 스캐닝 자석 审中-实审
标题翻译：复合多极磁体和偶极子扫描磁体
公开(公告)号：KR1020170101198A
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：KR1020177014259
申请日：2015-12-28
申请人： 액셀리스 테크놀러지스, 인크.
发明人： 아이즈너,에드워드
IPC分类号： H01J37/141 , H01J37/05 , H01J37/08 , H01J37/147 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/141 , H01J37/05 , H01J37/08 , H01J37/1472 , H01J37/1475 , H01J37/3171 , H01J2237/04922 , H01J2237/1415 , H01J2237/152
摘要： 이온주입시스템을위한복합스캐닝및 포커싱자석이제공된다. 상기복합스캐닝및 포커싱자석은고투자율을갖는요크를포함한다. 상기요크는이온빔을통과시키는홀을형성한다. 하나또는둘 이상의스캐너코일은동작가능하게요크에연결되고전원공급원에전기적으로결합될 때시변우세한쌍극자자기장을생성하도록구성된다. 하나또는둘 이상의포커싱코일은요크에동작가능하게연결되고우세한다중극자자기장을생성하도록구성되며, 상기우세한다중극자자기장은정적또는시변중 하나이다.
摘要翻译：提供了用于离子注入系统的复合扫描和聚焦磁体。复合扫描聚焦磁体包括具有高磁导率的磁轭。轭形成离子束通过的孔。一个或多个扫描仪线圈可操作地耦合到轭，并被配置为当电耦合到电源时产生时变偶极子磁场。所述一个或多个聚焦线圈可操作地连接到所述磁轭并被配置为产生主导多极磁场，其中所述主导多极磁场或者是静态的或者是随时间变化的。

4. 发明授权

KR101694239B1 하전 입자선 장치 有权
标题翻译：充电颗粒光束装置
公开(公告)号：KR101694239B1
公开(公告)日：2017-01-09
申请号：KR1020157010500
申请日：2013-10-21
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
发明人： 후쿠다무네유키 , 스즈키나오마사 , 이케가미아키라 , 도히히데토 , 엔야마모모요 , 쇼조도모야스
IPC分类号： H01J37/141 , H01J37/147 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/1478 , H01J37/141 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J2237/141 , H01J2237/1415 , H01J2237/1506 , H01J2237/2801
摘要： 임의의경사각도에서고분해능으로시료의측정이가능한하전입자선장치를제공하기위하여, 시료(114)에일차하전입자선(110)을조사하여, 발생하는이차하전입자(115)를검출하는하전입자선장치에있어서, 일차하전입자선(110)을시료(114) 상에집속하기위한요크자로부재(132) 및렌즈코일(134)과, 일차하전입자선(110)을시료(114) 상에서임의로경사시키기위하여, 요크자로부재(132)의측면에그 상단이배치되고, 요크자로부재(132)의폴 피스선단및 시료(114)의사이에그 하단이배치되는솔레노이드코일(133)을갖는빔 틸트렌즈(113)를구비한다.
摘要翻译：为了提供能够以任何倾斜角对样品进行高分辨率测量的带电粒子束装置，用于检测通过用一次带电粒子束（114）照射样品（114）而产生的二次带电粒子（115）的带电粒子束装置 110）设置有光束倾斜透镜（113），其具有：一个磁轭磁路部件（132）和一个用于将一次带电粒子束（110）聚焦在样本（114）上的透镜线圈; 以及螺线管线圈（133），其配置为将所述上端配置在所述磁轭磁路部件（132）的侧面，并将所述磁轭磁路部件（132）的极片的前端部与所述磁轭部件样品（114），以便任意倾斜样品（114）上的初级带电粒子束（110）。

5. 发明授权

KR101598052B1 프로브 전류가 개선된 4중극 렌즈층의 소스렌즈를 포함하는 초소형 전자 칼럼 有权
标题翻译： 4个具有包含4个电极的源光镜的微镜，具有改进的探针电流
公开(公告)号：KR101598052B1
公开(公告)日：2016-02-29
申请号：KR1020140022937
申请日：2014-02-26
申请人： 선문대학교 산학협력단
发明人： 오태식 , 김호섭 , 김대욱 , 안승준
IPC分类号： H01J37/141
摘要： 본발명은 4중극렌즈층의소스렌즈를포함하는초소형전자칼럼에관한것으로, 보다구체적으로는이러한초소형전자칼럼의프로브전류(probe current)를증진시키며해상도를향상시키고자하는초소형전자칼럼에관한것이다.

6. 发明公开

KR1020140061480A 입자 광학 구성요소 无效
标题翻译：颗粒光学部件
公开(公告)号：KR1020140061480A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：KR1020147008558
申请日：2006-11-28
申请人： 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하 , 어플라이드 머티리얼즈 이스라엘 리미티드
发明人： 크니펠마이어라이너 , 슈베르트슈테판
IPC分类号： H01J37/141
CPC分类号： H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/24 , H01J37/28 , H01J2237/002 , H01J2237/04922 , H01J2237/04926 , H01J2237/12 , H01J2237/1215 , H01J2237/14 , H01J2237/1405 , H01J2237/141 , H01J2237/1415 , H01J2237/2817
摘要： 본 발명의 대물 렌즈 배열체는 사실상 회전 대칭인 제1, 제2 및 제3 극편을 포함한다. 제1, 제2 및 제3 극편은 대물면과 동일한 측에 배치된다. 제1 극편의 단부는 제1 갭을 형성하기 위해 제2 극편의 단부로부터 분리되고, 제3 극편의 단부는 제2 갭을 형성하도록 제2 극편의 단부로부터 분리된다. 제1 여기 코일은 제1 갭에서 포커싱 자기장을 생성하고, 제2 여기 코일은 제2 갭에서 상쇄 자기장을 생성한다. 제1 및 제2 전원은 각각 제1 및 제2 여기 코일에 전류를 공급한다. 제2 극편에 의해 생성된 자속은 제2 극편에서 생성된 자속과 동일한 방향으로 배향된다.

7. 发明授权

KR101327161B1 만곡 봉자석에 의해 이온빔을 조절하는 장치 有权
标题翻译：用于通过弯曲棒磁体调节离子束的装置
公开(公告)号：KR101327161B1
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：KR1020110047244
申请日：2011-05-19
申请人： 어드밴스드 이온 빔 테크놀로지 인크.
发明人： 젠고-추안 , 완즈민
IPC分类号： H01J37/317 , H01J31/08 , H01J37/141
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/141 , H01J2237/24542
摘要： 본 발명은 질량분석기와 기판 홀더 사이에서 이온빔을 조절하는 장치에 관한 것이다. 예를 들면 하나 또는 다수개의 아치형, 곡선형 또는 지그재그형의 봉자석을 설치함으로써 이온빔에 하나 또는 다수개의 자기장을 인가하여 이온빔이 봉자석 에 의해 둘러싸인 공간을 통과할 때 그 형상 또는 단면을 조절한다. 서로 인접하는 만곡 봉자석의 사이는 적어도 하나의 간격 폭, 각 만곡 봉자석의 만곡도 또는 곡률 및 각 만곡 봉자석을 통과하는 전류는 모두 고정적이거나 일괄적 또는 개별적으로 조절할 수 있다. 그러므로 서로 다른 방향을 따라 이온빔에 인가되는 로렌츠 힘은 요구에 따라 변할 수 있으며, 이온빔은 이 때문에 연장되거나 압축 또는 변형되어 공정의 요구를 만족시킬 수 있다.

8. 发明授权

KR101220837B1 다광축 자기 렌즈 有权
标题翻译：多轴磁镜
公开(公告)号：KR101220837B1
公开(公告)日：2013-01-10
申请号：KR1020117014889
申请日：2010-01-22
申请人： 헤르메스 마이크로비전 인코포레이티드
发明人： 첸종웨이 , 렌웨이밍 , 카나이켄이치 , 리우쉐동
IPC分类号： G21K1/08 , H01J37/141
CPC分类号： H01J37/141 , H01J2237/1405
摘要： 본 발명은 하전 입자빔 시스템(charged particle beam system)에 사용되는 다광축 자기 렌즈(multi-axis magnetic lens)에 관한 것이다. 본 발명 장치는 공동 여기 코일이 형성한 자기장 중에서 비선대칭(non-axisymmetric)의 횡방향 자기장 성분을 없애고, 선대칭의 자기장 성분을 남겨 하전 입자빔 시스템 내의 이 장치를 통과하는 모든 입자빔을 포커싱한다.

9. 发明公开

KR1020120085633A 만곡 봉자석에 의해 이온빔을 조절하는 장치 有权
标题翻译：用于通过弯曲棒磁体调节离子束的装置
公开(公告)号：KR1020120085633A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：KR1020110047244
申请日：2011-05-19
申请人： 어드밴스드 이온 빔 테크놀로지 인크.
发明人： 젠고-추안 , 완즈민
IPC分类号： H01J37/317 , H01J31/08 , H01J37/141
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/141 , H01J2237/24542
摘要： PURPOSE: An apparatus for controlling an ion beam is provided to satisfy a construction progress demand by individually or simultaneously controlling a current passing through a curved rod magnet. CONSTITUTION: An ion source generates an ion beam. An incidence ion beam(67) is a transformed emission ion beam. A substrate holder loads a work-piece to be injected by the ion beam. A first curved rod magnet(61) comprises one or more first coils arranged on a first curved support rod. One or more first currents flow in the first coil. A second curved rod magnet(62) comprises one or more second coils arranged on a second curved support rod. One or more second currents flow in the second coil. Control assembly controls the ion beam in a control space between a mass spectrometer and the substrate holder.
摘要翻译：目的：提供一种用于控制离子束的装置，以通过单独或同时控制通过弯曲杆状磁体的电流来满足施工进度要求。构成：离子源产生离子束。入射离子束（67）是转变的发射离子束。衬底支架装载由离子束注入的工件。第一弯曲杆状磁体（61）包括布置在第一弯曲支撑杆上的一个或多个第一线圈。一个或多个第一电流在第一线圈中流动。第二弯曲杆状磁体（62）包括布置在第二弯曲支撑杆上的一个或多个第二线圈。一个或多个第二电流在第二线圈中流动。控制组件控制离子束在质谱仪和衬底保持器之间的控制空间中。

10. 发明公开

KR1020110014589A 전자 칼럼용 다중극 렌즈 有权
标题翻译：静电多镜头
公开(公告)号：KR1020110014589A
公开(公告)日：2011-02-11
申请号：KR1020107025361
申请日：2009-05-27
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭 , 오태식
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/141
CPC分类号： H01J37/12 , H01J37/28 , H01J2237/1205 , H01J2237/121 , H01J2237/153 , H01J2237/1532 , H01J2237/1534 , H01J2237/1536
摘要： PURPOSE: A multiple pole lens for an electronic column is provided to facilitate manufacture by facing a slit or aperture each other. CONSTITUTION: A quadruple pole lens(400) includes two electrode layers at a right angle to a Z-axis. Electrode layers(400a,400b) comprise a slit based on the center axis through which an electronic beam passes. An electrode layer is arranged on the electronic optical axis to alternatively position silts. Different voltages are applied to the electrode layer. The width of the slit(430,440) is wider than the size of the aperture.
摘要翻译：目的：提供用于电子柱的多极透镜，以便通过面对彼此的狭缝或孔而促进制造。构成：四极镜（400）包括与Z轴成直角的两个电极层。电极层（400a，400b）包括基于电子束通过的中心轴的狭缝。电子层被布置在电子光轴上以交替地定位淤泥。对电极层施加不同的电压。狭缝的宽度（430,440）比孔的尺寸宽。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式