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1. 发明授权

KR101756171B1 주사 전자 현미경 有权
公开(公告)号：KR101756171B1
公开(公告)日：2017-07-12
申请号：KR1020150179085
申请日：2015-12-15
申请人： (주)새론테크놀로지
发明人： 구정회
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/20
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/06 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/026 , H01J2237/141 , H01J2237/24465 , H01J2237/24475 , H01J2237/2608
摘要： 본발명은진공상태에서시료를관찰하도록하는진공챔버없이대기중에서시료표면으로부터산란되어방출되는후방산란전자를검출하여시료를관찰할수 있도록구현되는주사전자현미경에관한것이다. 본발명에따른주사전자현미경은진공상태를형성하는경통, 경통의상부에위치하고, 진공하에서전자빔을하부로주사하는전자총, 경통의하부면의일부를형성하여경통내부를진공상태로형성하고전자빔을통과시키는차폐막, 차폐막의하부에위치하여전자총으로부터차폐막을통과한전자빔이시료에조사되도록시료가배치되는시료대, 전자총과차폐막사이에위치하여전자빔을통과시키는홀이형성되고, 상부면에자기장을형성하는제1 평면코일을구비하여전자빔을집속하여차폐막으로전달하고, 시료로부터후방산란되는후방산란전자를검출하는제1 후방산란검출기를포함한다.

2. 发明授权

KR100926398B1 리본 모양의 주입기 이온 빔의 특성 제어 有权
标题翻译：控制RIBBON型外来物离子膜的特性
公开(公告)号：KR100926398B1
公开(公告)日：2009-11-12
申请号：KR1020057000863
申请日：2003-07-17
申请人： 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크.
发明人： 퍼서,케니스에이취. , 엔지,해럴드에이. , 터너,노먼엘.
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/147 , H01J37/14
CPC分类号： H01J37/141 , H01J37/14 , H01J37/147 , H01J37/1472 , H01J37/153 , H01J37/315 , H01J37/3171 , H01J2237/141 , H01J2237/1534 , H01J2237/31703
摘要： 본 발명은 반도체 웨이퍼에 충격을 가하는 주입 이온의 입사각 정밀도와 웨이퍼들이 이온빔을 통과할 때 웨이퍼의 균일한 도핑을 위해 리본 이온 빔의 정밀도의 향상을 위한 요구들을 만족시키는 방법과 장치에 관한 것이다. 상기 방법과장치는 이온 주입을 위해 새로운 자기 이온-광학 전달 부재의 구조를 가지며 이들과 결합된다. 광학 부재들의 구조는: (1) 작업물에서 리본 빔 폭의 넓은 범위의 조절; (2) 리본 빔의 폭에 대한 세기 분포의 부정확성 보정; (3) X축과 Y축 둘레의 독립적인 조정; (4) 작업물에서의 입사각 보정; (5) 공간 전하로부터 발생하는 빔 확장 효과에 대한 근사적인 보정을 가능하게 한다. 실제로, 조합된 부재들은 양호한 균일성과 각도 정확성을 가지면서 소스와 작업물 간에 리본 빔을 350 밀리미터까지 확장시킨다. 또한, 방법과 장치는 빔 라인을 따라 4중극 자기장을 도입시키는데 사용될 수 있다.

3. 发明公开

KR1020080112189A 입자 광학 구성요소 有权
标题翻译：颗粒光学部件
公开(公告)号：KR1020080112189A
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：KR1020087015748
申请日：2006-11-28
申请人： 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하 , 어플라이드 머티리얼즈 이스라엘 리미티드
发明人： 크니펠마이어라이너 , 슈베르트슈테판
IPC分类号： H01J37/141 , H01J37/28 , H01J37/26
CPC分类号： H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/24 , H01J37/28 , H01J2237/002 , H01J2237/04922 , H01J2237/04926 , H01J2237/12 , H01J2237/1215 , H01J2237/14 , H01J2237/1405 , H01J2237/141 , H01J2237/1415 , H01J2237/2817
摘要： An objective lens arrangement includes a first, second and third pole pieces, each being substantially rotationally symmetric. The first, second and third pole pieces are disposed on a same side of an object plane. An end of the first pole piece is separated from an end of the second pole piece to form a first gap, and an end of the third pole piece is separated from an end of the second 10 pole piece to form a second gap. A first excitation coil generates a focusing magnetic field in the first gap, and a second excitation coil generates a compensating magnetic field in the second gap. First and second power supplies supply current to the first and second excitation coils, respectively. A magnetic flux generated in the second pole piece is oriented in a same direction as a magnetic flux generated in the second pole piece. ® KIPO & WIPO 2009
摘要翻译：物镜配置包括第一，第二和第三极片，每个极片基本上是旋转对称的。第一，第二和第三极片设置在物平面的同一侧。第一极片的端部与第二极靴的端部分离以形成第一间隙，并且第三极靴的端部与第二十极片的端部分离以形成第二间隙。第一激励线圈在第一间隙中产生聚焦磁场，第二激励线圈在第二间隙中产生补偿磁场。第一和第二电源分别向第一和第二励磁线圈提供电流。在第二极靴中产生的磁通量在与第二极靴中产生的磁通量相同的方向上定向。 ®KIPO＆WIPO 2009

4. 发明公开

KR1020120022620A 다축 렌즈, 합성 렌즈를 사용하는 빔 시스템, 및 합성 렌즈를 제조하는 방법 审中-实审
标题翻译：多轴透镜，使用该化合物镜头的光束系统及其制造方法
公开(公告)号：KR1020120022620A
公开(公告)日：2012-03-12
申请号：KR1020110079521
申请日：2011-08-10
申请人： 아이씨티 인티그레이티드 써킷 테스팅 게젤샤프트 퓌어 할프라이터프뤼프테크닉 엠베하
发明人： 라니오,슈테판
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/66
CPC分类号： H01J37/141 , H01J2237/0453 , H01J2237/04922 , H01J2237/141 , H01L21/0274 , H01L22/12
摘要： PURPOSE: A multi-axis lens, a beam system using a composite lens, and a method for manufacturing the composite lens are provided to minimize additional aberrations in a system by preventing the lack of symmetry of a self-focusing field. CONSTITUTION: A lens body includes a first magnetic pole piece, a second pole piece, and a plurality of lens openings. A common excitation coil(20) is arranged around the plurality of lens openings in order to offer each first magnetic flux to the lens openings. A compensation coil(30) is arranged around a magnetism stub. The compensation coil compensates for the asymmetry of a first magnetic flux. A direction of a compensation coil current(31) is opposite to that of an excitation coil current(21).
摘要翻译：目的：提供多轴透镜，使用复合透镜的光束系统和复合透镜的制造方法，以通过防止自聚焦场的对称性不足来最小化系统中的附加像差。构成：透镜体包括第一磁极片，第二极片和多个透镜开口。共同的激励线圈（20）被布置在多个透镜开口周围，以便向透镜开口提供每个第一磁通量。补偿线圈（30）围绕磁性短柱布置。补偿线圈补偿第一磁通量的不对称性。补偿线圈电流（31）的方向与励磁线圈电流（21）的方向相反。

5. 发明公开

KR1020080100357A 액티브 필드 격납을 갖는 전자석 有权
标题翻译：具有活动场地容纳的电磁铁
公开(公告)号：KR1020080100357A
公开(公告)日：2008-11-17
申请号：KR1020087021805
申请日：2007-02-13
申请人： 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크.
发明人： 켈러만,피터엘. , 퍼서,케네스,에이치.
IPC分类号： H01L21/265 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/05 , H01J37/141 , H01J37/1472 , H01J37/3171 , H01J2237/0042 , H01J2237/057 , H01J2237/141 , H01J2237/142 , H01J2237/1508 , H01J2237/152 , H01J2237/31701 , H01J2237/31705
摘要： An electromagnet and related ion implanter system including active field containment are disclosed. The electromagnet provides a dipole magnetic field within a tall, large gap with minimum distortion and degradation of strength. In one embodiment, an electromagnet for modifying an ion beam includes: a ferromagnetic box structure including six sides; an opening in each of a first side and a second opposing side of the ferromagnetic box structure for passage of the ion beam therethrough; and a plurality of current-carrying wires having a path along an inner surface of the ferromagnetic box structure, the inner surface including the first side and the second opposing side and third side and a fourth opposing side, wherein the plurality of current-carrying wires are positioned to pass around each of the openings of the first and second opposing sides.
摘要翻译：公开了一种包括活性场容纳的电磁体和相关离子注入机系统。电磁铁在高大的间隙内提供偶极磁场，具有最小的变形和强度的降低。在一个实施例中，用于修改离子束的电磁体包括：包括六个边的铁磁箱结构; 所述铁磁盒结构的第一侧和第二相对侧中的每一个中的开口用于使所述离子束通过其中; 以及多个载流电线，其具有沿铁磁箱结构的内表面的路径，内表面包括第一侧和第二相对侧以及第三侧和第四相对侧，其中多个载流线定位成绕过第一和第二相对侧的每个开口。

6. 发明公开

KR1020000054911A 형광체 광특성 측정시스템 无效
标题翻译：用于测量荧光材料的光性质的系统
公开(公告)号：KR1020000054911A
公开(公告)日：2000-09-05
申请号：KR1019990003262
申请日：1999-02-01
申请人： 삼성에스디아이 주식회사
发明人： 함종희 , 김두익 , 빈광진
IPC分类号： H01J37/00
CPC分类号： H01J37/224 , H01J37/147 , H01J2237/141
摘要： PURPOSE: A system for measuring a light property of a fluorescent material is to automatically and continuously measure a light property of a plurality of sample fluorescent materials under the same condition as a cathode ray tube. CONSTITUTION: A system for measuring a light property of a fluorescent material comprises a vacuum chamber(10), a sample plate which is disposed in the vacuum chamber and on which a plurality of sample fluorescent materials are placed, a rotating member for rotating the sample plate, a beam scanning unit(40) which is disposed at the vacuum chamber and scans an electron beam to the fluorescent materials on the sample plate, a detecting unit which is disposed at the vacuum chamber to detect a luminescent state of the fluorescent material, a vacuum pump(12) for making an inside of the vacuum chamber vacuous similar to a cathode ray tube, and a door(14) which is rotatably mounted at one side of the vacuum chamber.
摘要翻译：目的：用于测量荧光材料的光特性的系统是在与阴极射线管相同的条件下自动连续地测量多个样品荧光材料的光特性。构成：用于测量荧光材料的光特性的系统包括真空室（10），设置在真空室中并在其上放置多个样品荧光材料的样品板，用于旋转样品的旋转构件板，射束扫描单元（40），其设置在真空室处并扫描电子束到样品板上的荧光材料;检测单元，设置在真空室以检测荧光材料的发光状态，用于使真空室的内部真空类似于阴极射线管的真空泵（12）和可旋转地安装在真空室一侧的门（14）。

7. 发明授权

KR101854813B1 다축 렌즈, 합성 렌즈를 사용하는 빔 시스템, 및 합성 렌즈를 제조하는 방법 有权
公开(公告)号：KR101854813B1
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：KR1020110079521
申请日：2011-08-10
申请人： 아이씨티 인티그레이티드 써킷 테스팅 게젤샤프트 퓌어 할프라이터프뤼프테크닉 엠베하
发明人： 라니오,슈테판
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/66
CPC分类号： H01J37/141 , H01J2237/0453 , H01J2237/04922 , H01J2237/141
摘要： 복수의대전입자빔들에대한렌즈시스템(1)은, 제 1 자극편(12), 제 2 자극편(14) 및각각의대전입자빔들에대한복수의렌즈개구들(16)을갖는렌즈본체(10); 각각의제 1 자속을렌즈개구들에제공하기위해복수의렌즈개구들(16) 주변에배열된공통여기코일(20); 및제 1 자속의비대칭성을보상하도록각각의제 2 자속을렌즈개구들중 적어도일부에제공하기위해렌즈개구들(16) 사이에배열된보상코일(30)을포함한다.

8. 发明公开

KR1020170126393A 멀티컬럼 하전 입자 빔 노광 장치 审中-实审
标题翻译：多柱带电粒子束曝光装置
公开(公告)号：KR1020170126393A
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：KR1020170033548
申请日：2017-03-17
申请人： 인텔 코포레이션
发明人： 쿠로카와마사키 , 사토타카마사 , 코지마신이치 , 야마다아키오
IPC分类号： G03F1/20 , G03F7/20 , G03F1/78
CPC分类号： H01J37/147 , H01J37/241 , H01J37/3177 , H01J2237/141 , H01J2237/1504 , H01J2237/152 , H01J2237/1526 , H01J2237/20285
摘要： 컬럼마다의하전입자빔의특성의차이가적은멀티컬럼하전입자빔 노광장치를제공하는것을하나의목적으로한다. 하전입자빔을발생하는컬럼부 122를복수개포함하는멀티컬럼하전입자빔 노광장치로서, 컬럼부 122는, 자성체로이루어지고컬럼의광축주변에소정의강도분포의자장을발생시키는요크(자성체부) 53과, 그요크 53에감겨져있는코일부 52를포함한다. 그코일부 52는, 분할된복수의권선 52a, 52b로구성되고, 각각이다른전원 A1~A3에의해구동되도록했다.
摘要翻译：本发明的一个目的是提供一种多列不带电束曝光装置，其中每列的带电粒子束的特性几乎没有差异。和多个包括用于产生带电粒子束，柱部122，磁轭（磁性体部），用于产生具有预定的强度分布的磁场的柱状部分122的多列的带电粒子束曝光系统在柱上绕光轴由磁性材料制成的 53和卷绕在轭53上的线圈部分52。线圈部分52由多个分开的线圈52a，52b组成，每个线圈由其他电源A1至A3驱动。

9. 发明授权

KR101694239B1 하전 입자선 장치 有权
标题翻译：充电颗粒光束装置
公开(公告)号：KR101694239B1
公开(公告)日：2017-01-09
申请号：KR1020157010500
申请日：2013-10-21
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
发明人： 후쿠다무네유키 , 스즈키나오마사 , 이케가미아키라 , 도히히데토 , 엔야마모모요 , 쇼조도모야스
IPC分类号： H01J37/141 , H01J37/147 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/1478 , H01J37/141 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J2237/141 , H01J2237/1415 , H01J2237/1506 , H01J2237/2801
摘要： 임의의경사각도에서고분해능으로시료의측정이가능한하전입자선장치를제공하기위하여, 시료(114)에일차하전입자선(110)을조사하여, 발생하는이차하전입자(115)를검출하는하전입자선장치에있어서, 일차하전입자선(110)을시료(114) 상에집속하기위한요크자로부재(132) 및렌즈코일(134)과, 일차하전입자선(110)을시료(114) 상에서임의로경사시키기위하여, 요크자로부재(132)의측면에그 상단이배치되고, 요크자로부재(132)의폴 피스선단및 시료(114)의사이에그 하단이배치되는솔레노이드코일(133)을갖는빔 틸트렌즈(113)를구비한다.
摘要翻译：为了提供能够以任何倾斜角对样品进行高分辨率测量的带电粒子束装置，用于检测通过用一次带电粒子束（114）照射样品（114）而产生的二次带电粒子（115）的带电粒子束装置 110）设置有光束倾斜透镜（113），其具有：一个磁轭磁路部件（132）和一个用于将一次带电粒子束（110）聚焦在样本（114）上的透镜线圈; 以及螺线管线圈（133），其配置为将所述上端配置在所述磁轭磁路部件（132）的侧面，并将所述磁轭磁路部件（132）的极片的前端部与所述磁轭部件样品（114），以便任意倾斜样品（114）上的初级带电粒子束（110）。

10. 发明公开

KR1020140061480A 입자 광학 구성요소 无效
标题翻译：颗粒光学部件
公开(公告)号：KR1020140061480A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：KR1020147008558
申请日：2006-11-28
申请人： 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하 , 어플라이드 머티리얼즈 이스라엘 리미티드
发明人： 크니펠마이어라이너 , 슈베르트슈테판
IPC分类号： H01J37/141
CPC分类号： H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/24 , H01J37/28 , H01J2237/002 , H01J2237/04922 , H01J2237/04926 , H01J2237/12 , H01J2237/1215 , H01J2237/14 , H01J2237/1405 , H01J2237/141 , H01J2237/1415 , H01J2237/2817
摘要： 본 발명의 대물 렌즈 배열체는 사실상 회전 대칭인 제1, 제2 및 제3 극편을 포함한다. 제1, 제2 및 제3 극편은 대물면과 동일한 측에 배치된다. 제1 극편의 단부는 제1 갭을 형성하기 위해 제2 극편의 단부로부터 분리되고, 제3 극편의 단부는 제2 갭을 형성하도록 제2 극편의 단부로부터 분리된다. 제1 여기 코일은 제1 갭에서 포커싱 자기장을 생성하고, 제2 여기 코일은 제2 갭에서 상쇄 자기장을 생성한다. 제1 및 제2 전원은 각각 제1 및 제2 여기 코일에 전류를 공급한다. 제2 극편에 의해 생성된 자속은 제2 극편에서 생성된 자속과 동일한 방향으로 배향된다.

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