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1. 发明授权

KR102423751B1 엠보싱 래커 및 엠보싱 방법, 및 엠보싱 래커로 코팅된 기판 표면 有权
公开(公告)号：KR102423751B1
公开(公告)日：2022-07-20
申请号：KR1020177018941
申请日：2015-12-09
IPC分类号： G03F7/027 , G03F7/029 , G03F7/031 , G03F7/075 , G03F7/085 , G03F7/40 , G03F7/42

2. 发明授权

KR102408296B1 화합물, 산 발생제, 중합체, 레지스트 조성물 및 레지스트 패턴의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102408296B1
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：KR1020170079184
申请日：2017-06-22
IPC分类号： C07D221/14 , G03F7/038 , G03F7/029 , G03F7/004
摘要： 식 (I) 로나타내는화합물. TIFF112017060040967-pat00151.tif32139 식 (I) 중, A3 은, 탄소수 2 ∼ 36 의 2 가의탄화수소기를나타내고, 그탄화수소기에포함되는 -CH2- 는, -O-, -S- 또는 -CO- 로치환되어있어도되고, 그탄화수소기에포함되는수소원자는, 할로겐원자또는하이드록실기로치환되어도된다. Q1 및 Q2 는, 각각독립적으로, 불소원자또는탄소수 1 ∼ 6 의퍼플루오로알킬기를나타낸다. R1 및 R2 는, 각각독립적으로, 수소원자, 불소원자또는탄소수 1 ∼ 6 의퍼플루오로알킬기를나타낸다. z 는, 0 ∼ 6 중어느정수를나타내고, z 가 2 이상일때, 복수의 R1 및 R2 는서로동일해도되고상이해도된다. X1 은, *1-CO-O-, *1-O-CO-, *1-O-CO-O- 또는 -O- 를나타내고, *1 은 C(R1)(R2) 또는 C(Q1)(Q2) 와의결합부위를나타낸다. A1 은, 치환기를갖고있어도되는탄소수 2 ∼ 36 의 2 가의탄화수소기를나타내고, 그탄화수소기에포함되는 -CH2- 는, -O-, -S-, -CO- 또는 -SO2- 로치환되어있어도된다. X2 는, *2-CO-O-, *2-O-CO-O- 또는 -O- 를나타내고, *2 는 A1 과의결합부위를나타낸다. R3 및 R4 는, 각각독립적으로, 수소원자또는탄소수 1 ∼ 6 의포화탄화수소기를나타낸다. X3 은, 식 (X3-1) ∼식 (X3-8) 중어느것으로나타내는기를나타낸다. TIFF112017060040967-pat00152.tif37137 (식 (X3-1) ∼식 (X3-8) 중, * 는, C(R3)(R4) 와의결합부위를나타낸다.) R5 는, 할로겐원자를가져도되는탄소수 1 ∼ 6 의알킬기, 수소원자또는할로겐원자를나타낸다.]

3. 发明授权

KR102207166B1 비스아실포스핀산의 유도체, 그의 제조 및 광개시제로서의 용도 有权
公开(公告)号：KR102207166B1
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：KR1020157019038
申请日：2013-12-16
申请人： 바스프 에스이
发明人： 뮐러,게오르지나 , 그뤼츠마커,한스외르크 , 디틀리커,크루트
IPC分类号： C07F9/30 , G03F7/029 , C08F2/50 , C09D135/02
摘要： 본발명은청구된방법에의해이용가능한적절한광개시제인하기화학식 I 또는화학식 II의비스아실포스핀옥시드또는비스아실포스핀술피드화합물에관한것이다: JPEG112015068403225-pct00123.jpg6243 JPEG112015068403225-pct00124.jpg3067 (상기식에서, R1, R2, R3, R1a, R2a 및 R3a는서로독립적으로 C1-C4알킬, C1-C4알콕시또는할로겐이며; X는 O, NR5 또는 S이거나; 또는, R4가 Cl, F 또는 Br인경우, X는직접결합이며; Y는 O 또는 S이고; n은 1 또는 2이고; n이 1인경우 R4는예를들면수소, (CO)R6, (CO)OR6, (CO)NR5R6, (SO2)-R6, C1-C28알킬이고, n이 2인경우 R4는예를들면 C1-C18알킬렌이며; R5는예를들면수소또는 C1-C12알킬이고; R6은예를들면 C1-C12알킬이고; R7, R8 및 R9는서로독립적으로예를들면 C1-C4알킬이고; R10은예를들면 C2-C18알킬렌이고; X1은 O 또는 S이고; m은 1, 2 또는 3이고; Q는 m+의전하를갖는 1개또는 2개의무기또는유기양이온을나타냄).

4. 发明授权

KR102158580B1 정밀 회로구현이 가능한 현상 조성물 有权
公开(公告)号：KR102158580B1
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：KR1020190013321
申请日：2019-02-01
申请人： (주)화백엔지니어링
发明人： 이강 , 장종관 , 최영진 , 전영환 , 이규완
IPC分类号： G03F7/32 , G03F7/029 , G03F7/037

5. 发明授权

KR102082722B1 터치 패널용 네거티브형 감광성 백색 조성물, 터치 패널 및 터치 패널의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102082722B1
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：KR1020167001777
申请日：2014-07-18
申请人： 도레이 카부시키가이샤
发明人： 아라키히토시 , 스와미츠히토 , 미츠이히로코 , 오카자와토루
IPC分类号： G03F7/038 , G03F7/075 , G03F7/027 , G03F7/029 , G06F3/041 , G06F3/044

6. 发明授权

KR101877276B1 감광성 수지 조성물, 경화막, 경화막의 제조 방법 및 반도체 디바이스 有权
公开(公告)号：KR101877276B1
公开(公告)日：2018-07-11
申请号：KR1020167026693
申请日：2015-03-24
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 이와이유 , 코야마이치로
IPC分类号： G03F7/037 , G03F7/40 , G03F7/027 , G03F7/029 , G03F7/031
CPC分类号： G03F7/037 , G03F7/027 , G03F7/029 , G03F7/031 , G03F7/40
摘要： 복소환함유폴리머전구체의환화반응을저온에서행할수 있고, 해상성이우수한패턴을형성가능한감광성수지조성물, 이러한감광성수지조성물을이용한경화막, 경화막의제조방법및 반도체디바이스를제공한다. 일반식 (A)로나타나는양이온부및 라디칼개시능을갖는음이온부를갖는화합물과, 복소환함유폴리머전구체와, 라디칼중합성화합물을함유하는감광성수지조성물. Ar은방향족기를나타내고, R~R는각각독립적으로, 수소원자또는 1가의유기기를나타내며, R와 R는서로결합하여환을형성하고있어도되고, n은 1 이상의정수를나타낸다.

7. 发明公开

KR20180063374A 터치패널용 전극의 보호막의 형성 방법, 감광성 수지 조성물 및 감광성 엘리먼트, 및, 터치패널의 제조 방법 审中-公开
公开(公告)号：KR20180063374A
公开(公告)日：2018-06-11
申请号：KR20187015625
申请日：2012-12-04
IPC分类号： G06F3/041 , G03F7/029 , G03F7/033
CPC分类号： G03F7/033 , G03F7/0045 , G03F7/20 , G06F3/044 , G06F2203/04103
摘要： 본발명의터치패널용전극의보호막의형성방법은, 터치패널용전극을가지는기재위에, 카르복실기를갖고, 산가가 30∼120mgKOH/g인바인더폴리머와, 적어도 3개의에틸렌성불포화기를가지는광중합성화합물과, 광중합개시제를함유하는감광성수지조성물로이루어지는감광층을설치하고, 이감광층의소정부분을활성광선의조사에의해경화시킨후에소정부분이외를제거하고, 상기전극의일부또는전부를피복하는상기감광성수지조성물의경화물로이루어지는보호막을형성하는것을특징으로한다.

8. 发明授权

KR101839903B1 메타물질을 갖는 마스크 형성 방법 有权
公开(公告)号：KR101839903B1
公开(公告)日：2018-03-19
申请号：KR1020160062880
申请日：2016-05-23
申请人： 한국과학기술원
发明人： 민범기 , 김우영 , 김동환
IPC分类号： H01L21/033 , G03F7/029 , H01L21/027 , H01L21/56 , H01L21/02
摘要： 본발명의실시형태에따른메타물질을갖는마스크형성방법은, 자외선투과기판상에자외선차단막을형성하는단계; 상기자외선차단막을패터닝하여패터닝된자외선차단막과상기자외선투과기판을포함하는마스크를형성하는단계; 메타물질을미리준비하는단계; 및상기마스크에상기메타물질을전사하는단계;를포함한다. 이러한메타물질을갖는마스크형성방법에의하면, 마스크의표면구조에관계없이메타물질의형태를그대로유지시키면서마스크로전사할수 있어마스크에전사된메타물질의광 특성이변하지않는이점이있다.

9. 发明公开

KR20180001476A 화합물, 산 발생제, 중합체, 레지스트 조성물 및 레지스트 패턴의 제조 방법 审中-公开
标题翻译：复合酸发生剂聚合物抗蚀剂组合物和生产抗蚀剂图案的方法
公开(公告)号：KR20180001476A
公开(公告)日：2018-01-04
申请号：KR20170079184
申请日：2017-06-22
IPC分类号： C07D221/14 , G03F7/004 , G03F7/029 , G03F7/038
摘要： 식 (I) 로나타내는화합물.식 (I) 중, A은, 탄소수 2 ∼ 36 의 2 가의탄화수소기를나타내고, 그탄화수소기에포함되는 -CH- 는, -O-, -S- 또는 -CO- 로치환되어있어도되고, 그탄화수소기에포함되는수소원자는, 할로겐원자또는하이드록실기로치환되어도된다. Q및 Q는, 각각독립적으로, 불소원자또는탄소수 1 ∼ 6 의퍼플루오로알킬기를나타낸다. R및 R는, 각각독립적으로, 수소원자, 불소원자또는탄소수 1 ∼ 6 의퍼플루오로알킬기를나타낸다. z 는, 0 ∼ 6 중어느정수를나타내고, z 가 2 이상일때, 복수의 R및 R는서로동일해도되고상이해도된다. X은, *1-CO-O-, *1-O-CO-, *1-O-CO-O- 또는 -O- 를나타내고, *1 은 C(R)(R) 또는 C(Q)(Q) 와의결합부위를나타낸다. A은, 치환기를갖고있어도되는탄소수 2 ∼ 36 의 2 가의탄화수소기를나타내고, 그탄화수소기에포함되는 -CH- 는, -O-, -S-, -CO- 또는 -SO- 로치환되어있어도된다. X는, *2-CO-O-, *2-O-CO-O- 또는 -O- 를나타내고, *2 는 A과의결합부위를나타낸다. R및 R는, 각각독립적으로, 수소원자또는탄소수 1 ∼ 6 의포화탄화수소기를나타낸다. X은, 식 (X-1) ∼식 (X-8) 중어느것으로나타내는기를나타낸다.(식 (X-1) ∼식 (X-8) 중, * 는, C(R)(R) 와의결합부위를나타낸다.) R는, 할로겐원자를가져도되는탄소수 1 ∼ 6 의알킬기, 수소원자또는할로겐원자를나타낸다.]
摘要翻译：式（I）中，A表示碳原子数为2〜36的二价烃基，烃基中所含的-CH-为-O - ， - S-或-CO- 包含在烃基中的氢原子可以被卤素原子或羟基取代。 Q和Q各自独立地表示氟原子或具有1至6个碳原子的全氟烷基。 R和R各自独立地表示氢原子，氟原子或具有1至6个碳原子的全氟烷基。 z表示0至6的整数，并且当z为2或更大时，多个R和R可以相同或不同。 X代表C（R）（R）或C（Q），* 1-CO-O-，* 1-O-CO-，* 1-0- 它表示与（Q）的结合位点。 A表示可以具有取代基的碳原子数为2〜36的二价烃基，该烃基中所含的-CH-可以被-O - ， - S - ， - CO-或-SO-取代。 X表示* 2-CO-O-，* 2-O-CO-O-或-O-，* 2表示与A的结合部位。 R和R各自独立地表示氢原子或具有1至6个碳原子的饱和烃基。 X表示由式（X-1）〜（X-8）表示的基团。（式（X-1）〜并且R代表具有1至6个碳原子的烷基，氢原子或可以具有卤素原子的卤素原子。

10. 发明公开

KR1020170109621A 카르복실기 함유 수지, 감광성 수지 조성물, 드라이 필름, 프린트 배선판, 및 카르복실기 함유 수지의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：含羧基树脂，感光性树脂组合物，干膜，印刷线路板，含羧基树脂的制造方法
公开(公告)号：KR1020170109621A
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：KR1020177024088
申请日：2016-01-28
申请人： 고오 가가쿠고교 가부시키가이샤 , 신닛테츠 수미킨 가가쿠 가부시키가이샤
发明人： 히구치미치야 , 하시모토소이치 , 마루사와히사시 , 다나카신야 , 아라이다카시 , 가와사토히로노부 , 이나바신지
IPC分类号： C08G59/42 , C08G59/14 , C08F290/06 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/029 , G03F7/031 , H05K3/06 , H05K3/18
CPC分类号： C08F290/06 , C08G59/14 , C08G59/42 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/029 , G03F7/031 , C08F290/064 , C08G59/24 , H05K3/061 , H05K3/184
摘要： 감광성수지조성물의성분으로서바람직하며, 플루오렌골격을가지면서, 감광성수지조성물에우수한알카리성수용액에의한현상성을부여할수 있고, 또한감광성수지조성물의경화물에높은전기절연성및 내(耐)도금성을부여할수 있는카르복실기함유수지를제공한다. 카르복실기함유수지는, 하기식 (1)으로표시되는비스페놀플루오렌골격을 가지는에폭시화합물과, 불포화기함유가르본산의반응물인중간체와, 산이무수물및 산일무수물의반응물이다. 카르복실기함유수지의다분산도는 1.2∼2.8의범위내이다.
摘要翻译：优选作为感光性树脂组合物的成分，而具有芴骨架，并且可通过在感光性树脂组合物中的优异的碱性水溶液得到显影性能，和高的电绝缘性和电阻（耐）电镀性的感光树脂组合物uigyeong货物提供可赋予的含羧基树脂。树脂，双酚芴的反应产物和环氧化合物含羧基，具有芴骨架的不饱和基的教导酸中间体的反应中，酸酐和sanil酐由式（1）表示。含羧基树脂的多分散性在1.2至2.8的范围内。

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