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    • 2. 发明授权
    • 감광성 수지 조성물
    • KR102373030B1
    • 2022-03-11
    • KR1020187029456
    • 2017-03-24
    • G03F7/075G03F7/027G03F7/037G03F7/20G03F7/26G03F7/40
    • 내약품성및 전기절연성이우수하고, 또한경화후에순테이퍼의단면형상을갖는경화릴리프패턴을얻을수 있는감광성수지조성물을제공한다. 본발명은폴리이미드및 그의전구체, 그리고폴리벤조옥사졸및 그의전구체로부터선택되는 1종류이상을포함하는알칼리가용성수지 (A), 그리고 (메트)아크릴기함유화합물 (B)를함유하며, 상기 (메트)아크릴기함유화합물 (B)가, 일반식 (1)로표시되는구조와, 일반식 (2-1), 일반식 (2-2) 및일반식 (2-3)으로부터선택되는 1종류이상의구조를갖는화합물의축합물이며, 일반식 (1)의구조를복수갖는다관능 (메트)아크릴기함유실란축합물 (B1)을포함하고, 상기화합물 (B1)의중량평균분자량이 1,000 내지 20,000인, 감광성수지조성물. JPEG112018100449090-pct00034.jpg36137JPEG112018100449090-pct00035.jpg29145JPEG112018100449090-pct00036.jpg27146JPEG112018100449090-pct00037.jpg30145 (일반식 (1) 중, R1은수소원자또는메틸기를나타내고, m은 1≤m≤4의범위내의정수를나타내고, *표시는결합부를나타내고, 일반식 (2-1) (2-2) 및 (2-3)에있어서 R2는메틸기또는에틸기를나타내고, n은 1≤n≤4의범위내의정수를나타내고, *표시는결합부를나타냄)