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1. 发明授权

KR101652773B1 액처리 장치 有权
标题翻译：液体处理装置
公开(公告)号：KR101652773B1
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：KR1020110143809
申请日：2011-12-27
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 고니시테루아키 , 데츠카타카히로
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/302 , H01L21/027
CPC分类号： H01L21/67173 , H01L21/67017 , H01L21/6708 , H01L21/67178 , H01L21/6719 , Y10T137/87169
摘要： 장치의조립, 메인터넌스가용이한액처리장치를제공한다. 액처리장치(1)에서, 액처리유닛(2)은처리액에의해기판(W)에대하여액처리를행하고, 급액용배관(561, 562)은일단측이액처리유닛(2)에접속되고, 타단측이그 하방측으로연장되어있어, 당해액처리유닛(2)으로처리액을공급한다. 하우징기체(46)는, 이급액용배관(561, 562)에개재하는통류제어기기군(402)이장착되고, 하우징기체(46) 내에, 액처리장치(1)의측방에위치하는메인터넌스영역을향하도록각각설치되고, 통류제어기기군(402)보다상류측인급액용배관(561)을착탈하기위한상류측의접속포트(403) 및하류측인급액용배관(562)을착탈하기위한하류측의접속포트(406)를구비한다.
摘要翻译：提供了便于装置组装和维护的液体处理装置。在液体处理装置1中，液体处理单元2通过处理液对基板W进行液体处理，液体供给管561,562中的一方与液体处理单元2连接并且另一端向下延伸以将处理溶液供应到液体处理单元2。在壳体基座46上，在液体供给管561,562中设有流量控制器组402，在壳体基座46的液体处理装置1侧设置有维护区域并且，上游侧连接口403将流量控制器组402的上游侧的液体供给管561和下游侧的下游侧液体供给管562 如图所示。

2. 发明公开

KR1020090042230A 미세유동 장치 无效
标题翻译：微流体装置
公开(公告)号：KR1020090042230A
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：KR1020097000402
申请日：2007-07-12
申请人： 아비자 테크놀로지 리미티드
发明人： 그린고든로버트
IPC分类号： B01L3/00 , B01J19/00
CPC分类号： B01J19/0093 , B01J2219/00891 , B01J2219/0099 , B01L3/502715 , B01L3/565 , B01L2200/027 , B01L2200/0684 , B01L2200/141 , B01L2300/0864 , Y10T137/87169
摘要： This invention relates to microfluidic devices including a manifold arrangement (1) with a terminal output channel (5) and a via (6) for connecting the terminal output (5) to the extreme end (11) of the manifold (1). The via (6) and channel (5) together form a bleed outlet. The shape of the via is such that it will always overlap the extreme end of the manifold, irrespective of the expected variability in via to manifold alignment. Preferably the manifold has a generally rectangular cross-section.
摘要翻译：本发明涉及包括具有端子输出通道（5）的歧管装置（1）和用于将端子输出（5）连接到歧管（1）的末端（11）的通孔（6）的微流体装置。通路（6）和通道（5）一起形成出气口。通孔的形状使得它总是与歧管的末端重叠，而不管通孔到歧管对准的预期变化。歧管优选具有大致矩形的横截面。

3. 发明公开

KR1020090014213A 연료 전지용 커플러와 이를 이용한 연료 전지 无效
标题翻译：燃料电池耦合器和燃料电池使用相同
公开(公告)号：KR1020090014213A
公开(公告)日：2009-02-06
申请号：KR1020087031045
申请日：2007-05-21
申请人： 가부시끼가이샤 도시바 , 도요세이칸 그룹 홀딩스 가부시키가이샤
发明人： 다까하시,겐이찌 , 가와무라,고이찌 , 요시히로,겐지 , 야마모리,유
IPC分类号： H01M8/04 , H01M8/02
CPC分类号： H01M8/04201 , H01M8/04208 , H01M8/1011 , Y02E60/523 , Y10T137/87169
摘要： A fuel cell coupler is provided with a socket main body (32) arranged in a fuel cell, and a valve mechanism arranged inside the socket main body. The fuel cell coupler is also provided with a socket section (4) to which a nozzle section (8) mounted on a fuel cartridge is removably connected. The socket section (4) is protruded toward the inside of the socket main body (32), and is provided with a nozzle holding mechanism (43) having a hook section (44) which can retract toward the outside of the socket main body (32), and an elastic member (45) which applies pressing force to the hook section (4) to hold the nozzle section (8) and permits the hook section (44) to retract.
摘要翻译：燃料电池耦合器设置有布置在燃料电池中的插座主体（32）和布置在插座主体内部的阀机构。燃料电池耦合器还设置有插座部分（4），安装在燃料盒上的喷嘴部分（8）可移除地连接到该插座部分。插座部（4）向插座主体（32）的内部突出，并且设置有具有能够朝向插座主体的外部缩回的钩部（44）的喷嘴保持机构（43） 32），弹性构件（45），其向所述钩部（4）施加按压力以保持所述喷嘴部（8），并允许所述钩部（44）缩回。

4. 发明授权

KR100261985B1 베이스부착형전환밸브에부착하기위한압력조절밸브 有权
标题翻译：压力控制阀连接到基座安装的更换阀上
公开(公告)号：KR100261985B1
公开(公告)日：2000-10-02
申请号：KR1019970056022
申请日：1997-10-29
申请人： 에스엠시 가부시키가이샤
发明人： 아키모토타카시 , 카쯔타히로유키 , 타지마마사미찌
IPC分类号： F16K11/00
CPC分类号： F15B13/0832 , F15B13/0402 , F15B13/0814 , F15B13/086 , F15B13/0871 , F15B13/0896 , Y10T137/261 , Y10T137/87169 , Y10T137/87885
摘要： 전환밸브(3)와 베이스(2)의 사이에 직접 끼워진 상태에 설치되는 압력조절밸브(1)가, 상기 전환밸브(3)와 실질적으로 같은 횡폭의 밸브체(15)를 갖고, 해당 밸브체(15)내에, 상기 전환밸브(3)와 베이스(2)의 마주 대하는 통공끼리를 연이어 통하는 복수의 연통로(16,17A,17B,18A,18B)와, 이것들의 연통로를 가로지르도록 설치된 조절압력밸브공(19)과, 그 조절압력밸브공(19)내에 삽입된 조절압력밸브막대(20)와, 그 조절압력밸브막대(20)의 협동작용에 의해서 공기압을 설정압에 조절하는 수단을 갖고, 조절압력용의 압력유체를 이끌기 위한 유로를, 상기 조절압력밸브막대(20)의 내부의 도압통공(23)과, 그 조절압력밸브막대(20)의 외주의 도압빈틈(24a,24b)에 따라서 구성된다.

5. 发明公开

KR1020100128333A 기판 에칭 시스템 및 프로세스의 방법 및 장치 无效
标题翻译：基板蚀刻系统和工艺的方法和装置
公开(公告)号：KR1020100128333A
公开(公告)日：2010-12-07
申请号：KR1020107023432
申请日：2009-03-19
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 파마티,샤마,브이. , 파,존,씨. , 시라주딘,칼리드 , 골드,에즈라,알. , 크루즈,제임스,피. , 올스제프스키,스코트 , 난고이,로이,씨. , 싱,사라브지트 , 부흐버거,더글라스에이. , 이,제리드,에이. , 장,춘레이
IPC分类号： H01L21/3065
CPC分类号： H01L21/30655 , Y10T137/0318 , Y10T137/87169
摘要： 본 발명의 실시예는 기판 에칭 시스템 및 프로세스에 관한 것이다. 일 실시예에서, 방법은 증착 프로세스 동안 기판 상에 물질을 증착시키는 단계, 제 1 에칭 프로세스 동안 기판의 제 1 층을 에칭하는 단계, 및 제 2 에칭 프로세스 동안 기판의 제 2 층을 에칭하는 단계를 포함하고, 이 경우 제 1 바이어스 전력이 제 1 에칭 프로세스 동안 기판에 인가되며 제 2 바이어스 전력이 제 2 에칭 프로세스 동안 기판에 인가된다. 다른 실시예에서, 시스템은 제 1 가스를 챔버로 공급하기 위한 제 1 가스 패널, 제 2 가스를 챔버로 공급하기 위한 제 2 가스 패널, 그리고 챔버 및 패널로 그리고 이들로부터 가스들 사이에서 빠른 가스 변화를 촉진시키기 위해 가스를 챔버로 향하게 하기 위한 다수의 유동 제어기를 포함한 가스 전달 시스템을 포함할 수 있다.

6. 发明公开

KR1020090119973A 압력 제어 밸브 조립체 无效
标题翻译：压力控制阀总成
公开(公告)号：KR1020090119973A
公开(公告)日：2009-11-23
申请号：KR1020097018986
申请日：2008-03-13
申请人： 이턴 코포레이션
发明人： 뱀버다니엘
IPC分类号： G05D16/10 , G05D16/20
CPC分类号： F16K17/02 , G05D16/2013 , Y10T29/49405 , Y10T29/49417 , Y10T137/86493 , Y10T137/86574 , Y10T137/8667 , Y10T137/86678 , Y10T137/87169 , Y10T137/87217 , Y10T137/87249
摘要： A pressure control valve assembly including a valve body with a valving cavity, a metal insert, a member and ball, a plastic internal ball guide, and a plug. The metal insert, which is received within the valving cavity, includes an exhaust port, a pressure control port, a supply port, and a plug-receiving end. The plastic internal ball guide is included within a portion of the metal insert. The member extends within a portion of the insert and is movable with respect to the exhaust port, the member moving a ball with respect to a supply port. In an embodiment, a plug is received within the plug-receiving end of the insert. A method for making a valve body for a valve assembly is also disclosed.
摘要翻译：一种压力控制阀组件，包括具有阀腔的阀体，金属插入件，构件和球，塑料内部球引导件和塞子。容纳在阀腔内的金属插入件包括排气口，压力控制端口，供给口和插头接收端。塑料内部球导向件包括在金属插入件的一部分内。该构件在插入件的一部分内延伸并且可相对于排气口移动，该构件相对于供给口移动球。在一个实施例中，插头被接收在插入件的插头接收端内。还公开了一种用于制造阀组件的阀体的方法。

7. 发明公开

KR1020050118728A 무한 가변형 방향 밸브 失效
标题翻译：无限可变的方向阀
公开(公告)号：KR1020050118728A
公开(公告)日：2005-12-19
申请号：KR1020057019243
申请日：2004-04-05
申请人： 보쉬 렉스로트 아게
发明人： 비에네르라이네르
IPC分类号： F15B13/01 , F15B13/043 , F16K31/40
CPC分类号： F16K31/408 , F15B13/015 , F16K11/0716 , Y10T137/86968 , Y10T137/87016 , Y10T137/87169 , Y10T137/87209
摘要： Disclosed is an infinitely variable directional valve comprising a seat slide on which a valve cone is embodied. Said valve cone is prestressed counter to a valve seat in the basic position of the directional valve. The inventive directional valve is configured with a pilot control device, wherefore a pilot control valve seat which cooperates with a pilot control valve cone is provided inside the closing cone.
摘要翻译：公开了一种无限可变方向阀，其包括具有阀锥体的座椅滑动件。所述阀锥体在方向阀的基本位置处与阀座相反地预应力。本发明的方向阀配置有先导控制装置，因此在关闭锥体内部设置有与先导控制阀锥配合的先导控制阀座。

8. 发明公开

KR1020040066730A 압력 무반응성 질량 유동 제어기, 공정 유체 제어 조립체, 유체 제어 패널, 유체 제어 조립체용 조합식 수동/공기압 밸브, 및 질량 유동 제어기들의 배열체 내에서 질량 유동 제어기가 상호간섭되는 것을 방지하기 위한 방법 有权
标题翻译：组合手册/气动关闭阀使用手动操作手柄和气动手柄
公开(公告)号：KR1020040066730A
公开(公告)日：2004-07-27
申请号：KR1020040003547
申请日：2004-01-17
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 모하메드,발라베누우 , 바로스,필립 , 마틴,라울에이. , 크로케트,마크아담 , 스크라,에릭에스.
IPC分类号： F16K17/02
CPC分类号： F16K7/17 , F16K27/003 , F16K31/143 , G05D7/0635 , Y10T137/0379 , Y10T137/7761 , Y10T137/86662 , Y10T137/87169 , Y10T137/87877 , Y10T137/87885 , Y10T137/87917
摘要： PURPOSE: A combination manual/pneumatic shut-off valve is provided to reduce the length of a fluid control assembly and the size of a fluid panel by using a hand-operated manner and a pneumatic manner. CONSTITUTION: A combination manual/pneumatic shut-off valve(11) is composed of a valve housing(13), a valve chamber(17) disposed in the valve housing and having an inlet(19) and an outlet(21), a diaphragm(23), a valve seat(25), an actuator(29) driven by the pressure of air, and a handle(31). The actuator moves the diaphragm and the valve seat between two points so that the inlet and the outlet are communicated or cross each other. The handle moves the diaphragm manually regardless of a pneumatic control signal to shut off a fluid passage.
摘要翻译：目的：提供组合手动/气动截止阀，通过手动方式和气动方式减少流体控制组件的长度和流体面板的尺寸。构成：组合手动/气动截止阀（11）由阀壳体（13），设置在阀壳体中的具有入口（19）和出口（21）的阀室（17）组成，隔膜（23），阀座（25），由空气压力驱动的致动器（29）和手柄（31）。执行器将隔膜和阀座移动到两个点之间，使得入口和出口相互连通或交叉。无论气动控制信号如何，手柄均可手动移动隔膜，以切断流体通道。

9. 发明授权

KR100314778B1 압력 보상 밸브 失效
标题翻译：压力补偿阀
公开(公告)号：KR100314778B1
公开(公告)日：2001-11-23
申请号：KR1019997007034
申请日：1999-01-11
申请人： 히다치 겡키 가부시키 가이샤
发明人： 노자와유사쿠 , 니시무라요시즈미 , 이치키노부히코 , 아오키미노루 , 다카하시긴야
IPC分类号： F15B11/05
CPC分类号： F15B11/05 , F15B13/0417 , F15B2211/20553 , F15B2211/30505 , F15B2211/30535 , F15B2211/355 , Y10T137/87169 , Y10T137/87185
摘要： 방향제어밸브(5, 15)의입구측에설치되는압력보상밸브(3, 13)를, 대경부(3a)와소경부(3b, 3c)를가지는이경(異徑) 스풀(3-1)을사용하여구성하고, 대경부를사이에두고펌프토출압과방향제어밸브의미터링스로틀의입구압력이작용하도록수압실(3f, 3g)을형성하고, 수압실(3f, 3g)의각각의측(側) 소경단(小徑端)에미터링스로틀의출구압력및 신호압력이작용하도록수압실(3j, 3p)을설치하고, 수압실(3p)측의소경단에미터링스로틀의출구압력으로동작하는역지(逆止) 밸브(7)를안쪽에삽입하여, 펌프토출압을감압시켜신호압력을생성한다. 양단이미터링스로틀의출구압력이인도되는수압실(3q)과상기수압실(3f)에위치하는슬리브(3r)를소경부(3b)에바깥쪽에삽입하고, 이변환으로수압실(3j)에미터링스로틀의출구압력을인도한다. 이에따라, 압력보상밸브와방향제어밸브와의사이에홀드체크밸브(hole check valve)를설치하기위한부위를형성할필요가없어, 밸브장치의간소화를도모할수 있다.

10. 发明授权

KR1019910002105B1 유체 밸브 구조물 失效
标题翻译：流体阀门结构
公开(公告)号：KR1019910002105B1
公开(公告)日：1991-04-03
申请号：KR1019870000375
申请日：1987-01-16
申请人： 커머어셜쉬어링인코포레이팃드
发明人： 아서윌리암즈
IPC分类号： F16K11/06 , F16K11/10
CPC分类号： F16K31/44 , F15B13/08 , F16K11/0716 , Y10T137/8671 , Y10T137/87169
摘要： 내용 없음.

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