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热词
    • 6. 发明公开
    • 기판제조방법
    • 基板的制造方法
    • KR1020090032836A
    • 2009-04-01
    • KR1020070098387
    • 2007-09-28
    • 삼성전기주식회사
    • 안진용김준성홍종국류창섭
    • H05K3/00H05K3/18H01L21/027
    • H01L21/6835H01L21/4857H01L2221/68318H01L2221/68345H05K3/0052H05K3/0058H05K3/025H05K3/20H05K3/4682H05K2201/09481H05K2201/09563H05K2203/0152H05K2203/0228H05K2203/0384Y10T156/1052
    • A substrate manufacturing method is provided to simplify a manufacturing process of a substrate by using a second separation layer used for a separation process of a circuit laminate as a part of the substrate. A support is provided(S110), and is a metal plate. A first separation layer is formed on one surface of the support. A second separation layer is formed on one surface of the first separation layer(S120), and covers a part of the first separation layer. The first separation layer and the second separation layer are made of the same material. A bonding layer covers the first separation layer and the second separation layer(S130). A circuit laminate is formed on one surface of the bonding layer(S140). The circuit laminate, the bonding layer, and the second separation layer is cut into a predetermined shape. The first separation layer and the second separation layer are separated each other. A circuit laminate unit is formed(S150).
    • 提供了一种基板制造方法,通过使用用作电路层叠体作为基板的一部分的分离工艺的第二分离层来简化基板的制造工艺。 提供支撑(S110),并且是金属板。 第一分离层形成在支撑体的一个表面上。 在第一分离层(S120)的一个表面上形成第二分离层,并覆盖第一分离层的一部分。 第一分离层和第二分离层由相同的材料制成。 接合层覆盖第一分离层和第二分离层(S130)。 在接合层的一个表面上形成电路层叠体(S140)。 电路层叠体,接合层和第二分离层被切割成预定的形状。 第一分离层和第二分离层彼此分离。 形成电路层叠单元(S150)。
    • 9. 发明公开
    • 극세선 패턴을 갖는 배선 기판의 제조 방법 및 배선 기판
    • 制造具有超细线图案的接线板的方法和接线板
    • KR1020060048174A
    • 2006-05-18
    • KR1020050047744
    • 2005-06-03
    • 신꼬오덴기 고교 가부시키가이샤
    • 다나카슈이치고바야시가즈타카
    • H01L21/28
    • H05K3/108H05K2201/0341H05K2203/0384H05K2203/073
    • 본 발명은 세미 애디티브(semi-additive)법을 이용하여 배선 기판을 제작할 때에, 베이스 에칭에서의 전해 구리 도금층의 언더컷(undercut)의 생성을 억제하고, 라인/스페이스(line/space)가 25/25 ㎛ 이하, 또는 10/10 ㎛ 이하의 극세 배선이 가능한 배선 기판의 제조 방법 및 배선 기판을 제공하는 것으로서, 배선 기판을 제조할 때에, 전기적 절연성을 갖는 수지로 이루어지는 기판의 표면에 무전해 구리 도금을 실시하여 무전해 구리 도금층을 형성하고, 상기 무전해 구리 도금층의 표면에 배선 패턴을 형성하는 부위를 노출시킨 레지스트 패턴을 실시한 후, 상기 노출 부위에 구리와는 다른 금속 또는 이들 금속의 1 종 이상을 함유하는 합금을 도금하여 에칭 배리어 도금층을 형성하고, 에칭 배리어 금속을 도금하여 에칭 배리어 금속 도금층을 형성하며, 이어서 상기 에칭 배리어 금속 도금층의 표면에 전해 구리 도금을 실시하여 무전해 구리 도금층, 에칭 배리어 금속 도금층 및 전해 구리 도금층을 포함하는 도체층을 구비한 배선을 형성하고, 레지스트 패턴의 제거 후에 표면에 노출된 무전해 구리 도금층을 에칭 제거하여 배선 패턴을 형성한다.
      세미 애디티브, semi-additive, 언더컷, 전해 도금, 레지스트 패턴