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1. 发明授权

KR101504784B1 미세기계 부품 및 미세기계 부품의 구동 방법 有权
标题翻译：微生物组分和操作微生物组分的方法
公开(公告)号：KR101504784B1
公开(公告)日：2015-03-20
申请号：KR1020107000979
申请日：2008-06-16
申请人： 로베르트 보쉬 게엠베하
发明人： 바우어볼프람 , 클라쎈요하네스
IPC分类号： B81B3/00 , B81B7/00 , G06F1/04 , H01G7/00
CPC分类号： B81B3/0094 , B81B2201/0242 , B81B2203/0136 , H03H9/02275 , H03H2009/02496
摘要： 본 발명은 미세기계 부품에 관한 것으로, 상기 미세기계 부품은 제1 전극 및 제2 전극을 포함하며, 제1 전극은 제2 전극에 대해 주 운동 방향으로 운동할 수 있다. 제1 전극 및/또는 제2 전극은, 제1 전극이 주 운동 방향에 대해 평행하게 운동함으로써 제1 전극의 돌출부와 제2 전극의 돌출부가 중첩되는 영역에서의 평균 간격이 각각 주 운동 방향에 대해 수직으로 변동하면서 각각 주 연장 평면 내에서 변동하는 방식으로 구성된다.

2. 发明公开

KR1020090098845A 다축 마이크로메카닉 가속도센서 有权
标题翻译：多轴微型加速度传感器
公开(公告)号：KR1020090098845A
公开(公告)日：2009-09-17
申请号：KR1020097013329
申请日：2007-11-14
申请人： 로베르트 보쉬 게엠베하
发明人： 클라쎈요하네스 , 프랑케악쎌 , 슈베르트디트리히 , 케르케르스텐 , 라이헨바흐랄프
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/18
CPC分类号： G01P15/18 , G01P15/125 , G01P2015/084
摘要： The invention relates to a micromechanic acceleration sensor, comprising a substrate (1), an elastic membrane (5), which extends in parallel to the substrate plane, is partially connected to the substrate and comprises a surface region, which can be deflected perpendicular to the substrate plane. The invention further comprises a seismic mass (6), wherein the center of gravity thereof is outside of the plane of the elastic membrane (5). The seismic mass (6) extends at a distance across substrate regions, which are located outside of the region of the elastic membrane (5) and comprise an arrangement made of a plurality of electrodes (3a, 3b, 3c, 3d), which form a capacitor with opposing regions of the seismic mass (6) in a circuit. In the central region, the seismic mass (6) is fastened in the surface region of the elastic membrane (5), which can be deflected perpendicular to the substrate plane, to the elastic membrane (5).
摘要翻译：本发明涉及一种微机械加速度传感器，其包括基板（1），平行于基板平面延伸的弹性膜（5），其部分地连接到基板，并且包括可以垂直于基板平面。本发明还包括其中重心位于弹性膜（5）的平面外的地震块（6）。地震块（6）在位于弹性膜（5）的区域外侧的衬底区域上延伸一段距离，并且包括由多个电极（3a，3b，3c，3d）构成的装置，其形成在电路中具有地震块（6）的相对区域的电容器。在中心区域，将抗震块（6）紧固在弹性膜（5）的垂直于基板平面的挠曲面的表面区域上。

3. 发明公开

KR1020140053246A 코팅된 정전용량형 센서 无效
标题翻译：涂层电容式传感器
公开(公告)号：KR1020140053246A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：KR1020147005238
申请日：2012-08-03
申请人： 로베르트 보쉬 게엠베하
发明人： 파이안도 , 클라쎈요하네스
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0086 , B81B3/0008 , B81C2201/0169 , B81C2201/017 , B81C2201/0176
摘要： 일 실시예에서, MEMS 장치를 형성하는 방법은 기판을 제공하는 단계와, 기판층 상부에 희생층을 형성하는 단계와, 희생층 상에 실리콘계 작용부를 형성하는 단계와, 작용부가 적어도 하나의 노출된 외면을 포함하도록 희생층으로부터 실리콘계 작용부를 배출하는 단계와, 실리콘계 작용부의 적어도 하나의 노출된 외면 상에 제1 실리사이드 형성 금속층을 형성하는 단계와, 제1 실리사이드 형성 금속층으로 제1 실리사이드층을 형성하는 단계를 포함한다.

4. 发明公开

KR1020100039336A 미세기계 부품 및 미세기계 부품의 구동 방법 有权
标题翻译：微生物组分和操作微生物组分的方法
公开(公告)号：KR1020100039336A
公开(公告)日：2010-04-15
申请号：KR1020107000979
申请日：2008-06-16
申请人： 로베르트 보쉬 게엠베하
发明人： 바우어볼프람 , 클라쎈요하네스
IPC分类号： B81B3/00 , B81B7/00 , G06F1/04 , H01G7/00
CPC分类号： B81B3/0094 , B81B2201/0242 , B81B2203/0136 , H03H9/02275 , H03H2009/02496
摘要： The invention relates to a micromechanical component, said micromechanical component comprising a first electrode and a second electrode. The first electrode is mobile relative to the second electrode in a main direction of movement and the first electrode and/or the second electrode are configured in such a manner that a movement of the first electrode parallel to the main direction of movement effects a change of the average distance in a zone of overlap of the projection of the first electrode with the projection of the second electrode perpendicular to the main direction of movement and in a main plane of extension.
摘要翻译：本发明涉及一种微机械部件，所述微机械部件包括第一电极和第二电极。第一电极在主移动方向上相对于第二电极是可移动的，并且第一电极和/或第二电极被构造成使得第一电极平行于主移动方向的移动实现第一电极的突起与第二电极的投影垂直于主移动方向和主延伸平面的重叠区域中的平均距离。

5. 发明授权

KR102221976B1 가속도 센서용 마이크로기계 구조 有权
公开(公告)号：KR102221976B1
公开(公告)日：2021-03-04
申请号：KR1020167025557
申请日：2014-12-22
申请人： 로베르트 보쉬 게엠베하
发明人： 클라쎈요하네스
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/08
摘要： 본발명은, 가속도센서(200)용마이크로기계구조(100)에관한것으로, 상기마이크로기계구조(100)는그의회전하는 z축(A)을기준으로비대칭으로형성된진동질량(10)과, 상기진동질량(10) 및하나이상의고정요소(30)에고정된스프링요소(20, 20', 21, 21')를포함하며, 상기스프링요소(20, 20', 21, 21')를이용하여, 실질적으로규정된검출방향으로의가속시에만, 회전하는 z축(A)에대해실질적으로직교하도록형성된평면내에서진동질량(10)의회전운동이발생할수 있다.

6. 发明公开

KR1020150053238A 미세 기계 센서 장치 审中-实审
标题翻译：微电子传感器装置
公开(公告)号：KR1020150053238A
公开(公告)日：2015-05-15
申请号：KR1020140152370
申请日：2014-11-04
申请人： 로베르트 보쉬 게엠베하
发明人： 프레이옌스 , 캘버러아른트 , 라인무트요흔 , 클라쎈요하네스
IPC分类号： G01D21/00 , G01D21/02 , H01L23/48 , H01L23/488 , B81C1/00 , B81B7/02 , G01C17/02 , G01R33/00
CPC分类号： G01P15/105 , G01P1/023 , G01P15/08 , G01P15/0802 , H01L2224/16 , Y10T29/49002
摘要： 본발명은미세기계센서장치(100)에관한것으로서, 이센서장치는, 패키징되지않은제1 센서요소(10)와, 패키징되지않은하나이상의제2 센서요소(20)를포함하며, 이들센서요소(10, 20)는서로기능적으로연결되어있고, 이들센서요소(10, 20)는패키지면적이상대적으로더 큰센서요소(10)가패키지면적이상대적으로더 작은센서요소(20) 위에완전히겹쳐지도록실질적으로수직으로서로적층배치된다.
摘要翻译：本发明涉及一种微机械传感器装置（100），其包括：未封装的第一传感器元件（10）和至少一个未被包装的第二传感器元件（20）。传感器元件（10,20）在功能上彼此连接，并且对于第一传感器元件（10）垂直层压，其中该区域相对较大以完全重叠在第二传感器元件（20）上，其中该区域相对较小。

7. 发明公开

KR1020100080555A 2개의 감지축을 구비한 회전각 감지 센서 无效
标题翻译：具有两个感应轴的YAW RATE传感器
公开(公告)号：KR1020100080555A
公开(公告)日：2010-07-08
申请号：KR1020107010148
申请日：2007-11-08
申请人： 로베르트 보쉬 게엠베하
发明人： 노일라인하르트 , 클라쎈요하네스 , 그락키제바스티안 , 쿠울만부륵하르트 , 프랑케악셀 , 코온올리버 , 케르케르스텐 , 게르하르트크리스티안
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5712
摘要： The invention relates to a yaw rate sensor, comprising a substrate (10), a bearing (20), an oscillating structure, which by means of springs (30) is rotatably suspended on the bearing (20) in order to perform a planar driving oscillating movement, and drive means for producing a planar driving oscillating movement of the oscillating structure. The essence of the invention is that the yaw rate sensor comprises first evaluation means for detecting a rotation in a first rotational axis and second evaluation means for detecting a rotation in a second rotational axis.
摘要翻译：本发明涉及一种横摆率传感器，包括基底（10），轴承（20），摆动结构，通过弹簧（30）可旋转地悬挂在轴承（20）上，以便执行平面驱动振荡运动和用于产生振荡结构的平面驱动振荡运动的驱动装置。本发明的实质在于横摆率传感器包括用于检测第一旋转轴线中的旋转的第一评估装置和用于检测第二旋转轴线中的旋转的第二评估装置。

8. 发明授权

KR102214248B1 미세 기계 컴포넌트용 전극 어레이 有权
公开(公告)号：KR102214248B1
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：KR1020140152114
申请日：2014-11-04
申请人： 로베르트 보쉬 게엠베하
发明人： 클라쎈요하네스
IPC分类号： B81B7/02 , B81C3/00
摘要： 본발명은미세기계컴포넌트(100)용전극어레이에관한것으로서, 이전극어레이는, 내부에전극(11, 11', 12)이형성된하나이상의제1 기능층(10 EP)과, 하나이상의제2 기능층(20 VP)과, 전기도체레일로서사용될수 있는하나이상의제3 기능층(30 FP)을포함하며, 상기제3 기능층(30)은적어도국부적으로산화물재료(40)가완전히제거되는것을특징으로한다.

9. 发明授权

KR102151453B1 마이크로 기계 압력 센서 장치 및 그 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102151453B1
公开(公告)日：2020-09-03
申请号：KR1020167022234
申请日：2014-11-17
申请人： 로베르트 보쉬 게엠베하
发明人： 클라쎈요하네스
IPC分类号： G01L9/00 , B81B7/00 , B81B7/02 , B81C1/00

10. 发明授权

KR101419967B1 다축 마이크로메카닉 가속도센서 有权
标题翻译：多轴微型加速度传感器
公开(公告)号：KR101419967B1
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：KR1020097013329
申请日：2007-11-14
申请人： 로베르트 보쉬 게엠베하
发明人： 클라쎈요하네스 , 프랑케악쎌 , 슈베르트디트리히 , 케르케르스텐 , 라이헨바흐랄프
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/18
CPC分类号： G01P15/18 , G01P15/125 , G01P2015/084
摘要： 본 발명은 마이크로메카닉 가속도센서에 관한 것이며, 기판(1)과, 기판 평면에 평행하게 뻗고, 부분적으로는 기판과 연결되어 있으며, 기판 평면의 수직 방향으로 편향될 수 있는 표면 영역을 포함하는 탄성 멤브레인(5)을 포함한다. 본 발명은, 탄성 멤브레인(5) 평면에서 벗어난 무게중심을 갖는 사이즈믹 질량체(6)를 더 포함한다. 사이즈믹 질량체(6)는, 탄성 멤브레인(5) 영역의 바깥쪽에 위치하고, 대향하는 사이즈믹 질량체(6) 영역과 함께 회로내에서 커패시터를 형성하는 복수의 전극(3a, 3b, 3c, 3d)으로 된 구성을 포함하는 기판 영역을 가로질러서 간격을 두고 연장된다. 사이즈믹 질량체(6)는 중앙 영역에서, 기판 평면의 수직 방향으로 편향될 수 있는 탄성 멤브레인(5)의 표면 영역에 고정되어 있다.
가속도 센서, 탄성 멤브레인, 사이즈믹 질량체, 다축.

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