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1. 发明公开

KR1020140113911A 고밀도 레이저 광학장치 审中-实审
标题翻译：高密度激光光学
公开(公告)号：KR1020140113911A
公开(公告)日：2014-09-25
申请号：KR1020147016773
申请日：2012-01-18
申请人： 휴렛 팩커드 엔터프라이즈 디벨롭먼트 엘피
发明人： 탄마이클르네타이 , 파탈데이비드에이. , 소린웨인브이. , 마타이사기브이.
IPC分类号： H01S5/183 , H01S3/067 , H01S5/10
CPC分类号： H01S5/423 , B82Y20/00 , G02B6/12016 , G02B6/12019 , G02B6/12026 , G02B6/124 , G02B6/13 , G02B2006/12107 , G02B2006/12164 , H01S5/0215 , H01S5/02248 , H01S5/02461 , H01S5/0268 , H01S5/068 , H01S5/1092 , H01S5/183 , H01S5/18319 , H01S5/18363 , H01S5/18386 , H01S5/187 , H01S5/3412 , H01S5/34313 , H01S5/3434 , H01S5/4087
摘要： 고밀도 레이저 광학을 위한 장치 및 방법을 제공한다. 레이저 광학 장치의 예는, 모놀리식으로 집적된 어레이 내의 복수의 수직 캐비티 표면 발광 레이저(VCSEL)와, 복수의 레이징 파장(lasing wavelength)의 하나의 레이징 파장의 방출을 가능하게 하기 위해, 복수의 VCSEL의 각각의 VCSEL의 수직 캐비티의 애퍼처와 통합되는 하이 콘트라스트 격자(HCG)와, 격자 커플러와 각각 통합되며, 복수의 통합된 VCSEL 및 HCG의 각각에 연결되며, 각각의 격자 커플러가 통합된 VCSEL 및 HCG에 대해 정렬되는, 복수의 단일 모드 도파관을 포함한다.

2. 发明授权

KR101020017B1 면 발광 레이저 및 면 발광 레이저 제조 방법 失效
标题翻译：表面发射激光器及其制造方法
公开(公告)号：KR101020017B1
公开(公告)日：2011-03-09
申请号：KR1020097010144
申请日：2007-12-18
申请人： 인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션
发明人： 나카가와시게루
IPC分类号： H01S5/10 , H01S5/323
CPC分类号： H01S5/1833 , B82Y20/00 , H01S5/18311 , H01S5/18316 , H01S5/18347 , H01S5/18363 , H01S5/2081 , H01S5/3432 , H01S2301/163
摘要： 본 발명은, 긴 수명으로 신뢰성이 높은 면 발광 레이저의 구조를 제공하고, 이러한 면 발광 레이저를 제조하기 위한 방법을 제공한다.
기판의 상부에 설치된 복수의 반도체층을 포함하는 하부 브래그 반사경과, 하부 브래그 반사경의 상부에 설치된 활성층 및 활성층의 하부에 설치된 개구부를 갖는 제1 절연층을 포함하는 하부 반도체층 및 상기 활성층의 상부에 설치된 개구부를 갖는 제2 절연층을 포함하는 상부 반도체층을 포함하는 공진기와, 공진기의 상부에 설치된 복수의 반도체층을 포함하는 상부 브래그 반사경을 구비하는, 면 발광 레이저가 제공된다. 하부 브래그 반사경의 복수의 반도체층 중의 최상층이 제1 절연층의 개구부를 덮는 에어 갭을 형성하고, 상부 브래그 반사경의 복수의 반도체층 중의 최하층이 제2 절연층의 개구부를 덮는 에어 갭을 형성한다.

3. 发明授权

KR100527108B1 반도체 광소자의 제작 방법 有权
标题翻译：制造半导体光学器件的方法
公开(公告)号：KR100527108B1
公开(公告)日：2005-11-09
申请号：KR1020030085359
申请日：2003-11-28
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 송현우 , 한원석 , 김종희 , 주영구 , 권오균 , 박상희
IPC分类号： H01S5/18
CPC分类号： H01S5/18341 , H01S5/02461 , H01S5/18305 , H01S5/18308 , H01S5/18363
摘要： 본 발명은 반도체 반사경 또는 광학 필터로 이용될 수 있는 반도체 광소자의 제작 방법에 대해 개시한다. 에칭비가 서로 다른 두가지 이상의 반도체층들을 교대로 적층한 후 적어도 한 종류의 반도체층들을 선택적으로 에칭하여 에어갭(air gap)을 형성하고, 에어갭이 매립되도록 열전달 특성이 양호한 산화물 혹은 질화물을 증착한다. 에어갭에 매립된 산화물 혹은 질화물과 반도체층의 큰 굴절률 차이로 인하여 적은 주기로도 효과적으로 높은 반사율을 갖는 반도체 반사경 또는 광학 필터를 구현할 수 있다.

4. 发明公开

KR1020170003560A VCSEL 구조 审中-实审
标题翻译： VCSEL结构
公开(公告)号：KR1020170003560A
公开(公告)日：2017-01-09
申请号：KR1020167031126
申请日：2015-04-07
申请人： 덴마크스 텍니스케 유니버시테트
发明人： 청,일-성 , 탁히자데,알리레자
IPC分类号： H01S5/183 , H01S5/026 , H01S5/10
CPC分类号： H01S5/18319 , H01S5/026 , H01S5/1032 , H01S5/183 , H01S5/18302 , H01S5/18311 , H01S5/18341 , H01S5/18361 , H01S5/18363 , H01S5/1838 , H01S5/18386 , H01S5/18397
摘要： 본발명은신규격자반사기에기초한 VCSEL 구조에관한것이다. 격자반사기는격자구조를가진인접한코어격자영역을가진격자층을포함하며, 여기에서격자구조의고-지수섹션들의굴절률은적어도 2.5이며, 상기격자구조의저-지수섹션들의굴절률은 2 미만이다. 상기코어격자영역은격자층에수직하는방향으로투사를정의한다. 상기격자반사기는격자층에인접한캡 층을추가로포함하고, 캡층으로의코어격자영역의투사내에서캡 층의굴절률은적어도 2.5이며, 코어격자영역의투사내에서, 상기캡 층은제 1 고체유전체저-지수층에의해인접하게되며, 상기제 1 저-지수층 또는공기의굴절률은 2 미만이며; 상기코어격자영역의투사내에서, 상기격자층은또한제 2 저-지수층에의해및/또는공기에의해인접하게되며, 상기제 2 저-지수층 또는공기의굴절률은 2 미만이다. VCSEL 구조는뿐만아니라공동및 증폭을제공하기위해제 1 반사기및 활성영역을포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种基于新型光栅反射器的VCSEL结构。光栅反射器（1）包括具有光栅结构的连续核心光栅区域的光栅层（20），其中光栅结构的高折射率部分（21）的折射率至少为2.5，并且其中指数光栅结构的低折射率部分（22）的折射率小于2.核心光栅区域在垂直于光栅层的方向上限定投影。栅格反射器还包括邻接光栅层（20）的覆盖层（30），并且覆盖层在核心光栅区域的突起内的覆盖层的折射率至少为2.5，并且在核心光栅区域，盖层与第一固体电介质低折射率层邻接，第一低折射率层或空气的折射率小于2; 并且在芯光栅区域的投影内，光栅层也被第二低折射率层和/或空气邻接，第二低折射率层或空气的折射率小于2. VCSEL结构还包括第一反射器和用于提供空腔和放大的有源区域。盖层（30）可以包括在包层（31,33）和电触头（35,36）之间的有源层（32），以提供通过有源层的电流。电流限制可以由低折射率氧化物区域实现（60）。

5. 发明公开

KR1020160078348A 경조 격자 광전자 기기 审中-实审
标题翻译：高对比度光电子学
公开(公告)号：KR1020160078348A
公开(公告)日：2016-07-04
申请号：KR1020167010076
申请日：2013-10-29
申请人： 휴렛 팩커드 엔터프라이즈 디벨롭먼트 엘피
发明人： 마타이사기브이. , 탄마이클르네타이 , 파탈데이비드에이. , 소린웨인브이.
IPC分类号： H01S5/183 , H01S5/10
CPC分类号： H01S5/02288 , G02B5/1809 , G02B5/1857 , G02B5/1866 , G02B6/34 , G02B6/4206 , G02B27/0905 , H01L31/02327 , H01S5/0064 , H01S5/02284 , H01S5/0262 , H01S5/105 , H01S5/18305 , H01S5/18363 , H01S5/18388 , H01S5/18391
摘要： 경조격자광전자장치가기판의전방표면에서광전자디바이스를포함한다. 광전자디바이스는전방표면의반대편인기판의후방표면을통해서광을방출하는것 및광을검출하는것 중하나또는양자모두를위한것이다. 경조격자(HCG) 렌즈가기판의후방표면에인접하고이격부재에의해서그로부터이격된다. 이격부재가웨이퍼-본딩된기판및 공동중 하나또는양자모두를포함한다. HCG 렌즈가광을포커스한다.

6. 发明公开

KR1020140046330A 광 집적 회로용 하이브리드 수직 공명 레이저 审中-实审
标题翻译：用于光电子集成电路的混合垂直孔激光器
公开(公告)号：KR1020140046330A
公开(公告)日：2014-04-18
申请号：KR1020120112655
申请日：2012-10-10
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김택 , 쉬체바트코이고르
IPC分类号： H01S5/20 , H01S5/10
CPC分类号： H01S5/105 , H01S5/021 , H01S5/0215 , H01S5/026 , H01S5/10 , H01S5/1032 , H01S5/12 , H01S5/1206 , H01S5/1218 , H01S5/18308 , H01S5/18341 , H01S5/18361 , H01S5/18363 , H01S5/1838 , H01S5/2018 , H01S5/2063
摘要： Disclosed is a hybrid vertical cavity laser for a photonics integrated circuit. A disclosed vertical cavity laser includes a grating mirror made of silicon between two low refractive index layers, an optical waveguide which is optically connected to the grating mirror, a III-V semiconductor layer which includes an active layer on the low refractive index layer, and an upper mirror of the semiconductor layer. The grating mirror includes bar-shaped low refractive index material parts which are parallel to each other in the silicon layer. The low refractive index material part has at least two widths which are different from each other in each width direction.
摘要翻译：公开了一种用于光子学集成电路的混合垂直腔激光器。所公开的垂直腔激光器包括在两个低折射率层之间由硅制成的光栅镜，光学连接到光栅镜的光波导，在低折射率层上包括有源层的III-V半导体层，以及半导体层的上镜。光栅镜包括在硅层中彼此平行的棒状低折射率材料部分。低折射率材料部分具有在每个宽度方向上彼此不同的至少两个宽度。

7. 发明公开

KR1020140059288A 수직 캐비티 표면 발광 레이저 无效
标题翻译：垂直孔表面发射激光
公开(公告)号：KR1020140059288A
公开(公告)日：2014-05-15
申请号：KR1020147009080
申请日：2011-09-15
申请人： 휴렛 팩커드 엔터프라이즈 디벨롭먼트 엘피
发明人： 파탈데이비드에이. , 탄마이클르네타이 , 뷰솔레일레이몬드쥐.
IPC分类号： H01S5/183 , H01S5/42
CPC分类号： H01S5/183 , H01S5/105 , H01S5/1833 , H01S5/18358 , H01S5/18363 , H01S5/187 , H01S5/4087 , H01S5/423
摘要： 수직 캐비티 표면 발광 레이저(VCSEL) 및 VCSEL 어레이가 개시된다. 일특징으로, 표면 발광 레이저는, 발광층으로부터 방출될 광의 파장에 대한 반사층을 갖는 공진 캐비티를 형성하기 위해 서브 파장 격자를 갖는 격자층과, 공진 캐비티 내에 위치된 애퍼처층을 포함한다. VCSEL은 격자층과 발광층 사이에 위치된 전하 캐리어 수송층을 포함한다. 전하 캐리어 수송층은, 서브 파장 격자에 인접한 갭과, 갭과 발광층 사이의 스페이서 영역을 갖는다. 스페이서 영역과 갭은 파장에 대해 실질적으로 투과성을 나타내도록 치수가 정해진다. 애퍼처층은 전하 캐리어를 애퍼처층의 애퍼처에 인접한 발광층의 영역에 진입하도록 지향시키고, 애퍼처는 발광층으로부터 방출될 광학 모드를 제한한다.

8. 发明公开

KR1020090097148A 면 발광 레이저 및 면 발광 레이저 제조 방법 失效
标题翻译：表面发射激光器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020090097148A
公开(公告)日：2009-09-15
申请号：KR1020097010144
申请日：2007-12-18
申请人： 인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션
发明人： 나카가와시게루
IPC分类号： H01S5/10 , H01S5/323
CPC分类号： H01S5/1833 , B82Y20/00 , H01S5/18311 , H01S5/18316 , H01S5/18347 , H01S5/18363 , H01S5/2081 , H01S5/3432 , H01S2301/163
摘要： [PROBLEMS] To provide a long service life and highly reliable surface-emitting laser structure and to provide a method for manufacturing such surface-emitting laser. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A surface-emitting laser is provided with a lower Bragg reflector, which is arranged on an upper section of a substrate and includes a plurality of semiconductor layers, and a resonator, which is arranged on an upper section of the lower Bragg reflector and includes a lower semiconductor layer and an upper semiconductor layer. The lower semiconductor layer includes a first insulating layer having an active layer and an opening section arranged at the lower section of the active layer. The upper semiconductor layer is arranged on an upper section of the active layer and includes a second insulating layer having an opening section. The surface-emitting layer is also provided with an upper Bragg reflector which is arranged on an upper section of the resonator and includes a plurality of semiconductor layers. The uppermost layer among the semiconductor layers of the lower Bragg reflector forms an air gap for covering the opening section of the first insulating layer, and the lowermost layer among the semiconductor layers of the upper Bragg reflector forms an air gap for covering the opening section of the second insulating layer.
摘要翻译：为了提供长的使用寿命和高度可靠的表面发射激光器结构，并提供制造这种表面发射激光器的方法。解决问题的手段表面发射激光器设置有下布拉格反射器，其布置在基板的上部并且包括多个半导体层，以及谐振器，其布置在所述基板的上部下布拉格反射器，并且包括下半导体层和上半导体层。下半导体层包括具有有源层的第一绝缘层和布置在有源层下部的开口部分。上半导体层布置在有源层的上部，并且包括具有开口部分的第二绝缘层。表面发射层还设置有布拉格反射器，其布置在谐振器的上部并且包括多个半导体层。下部布拉格反射器的半导体层中的最上层形成用于覆盖第一绝缘层的开口部的气隙，并且上部布拉格反射器的半导体层中的最下层形成用于覆盖第一绝缘层的开口部的空气间隙第二绝缘层。

9. 发明公开

KR1020050051743A 반도체 광소자의 제작 방법 有权
标题翻译：制造半导体光学器件的方法
公开(公告)号：KR1020050051743A
公开(公告)日：2005-06-02
申请号：KR1020030085359
申请日：2003-11-28
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 송현우 , 한원석 , 김종희 , 주영구 , 권오균 , 박상희
IPC分类号： H01S5/18
CPC分类号： H01S5/18341 , H01S5/02461 , H01S5/18305 , H01S5/18308 , H01S5/18363
摘要： 본 발명은 반도체 반사경 또는 광학 필터로 이용될 수 있는 반도체 광소자의 제작 방법에 대해 개시한다. 에칭비가 서로 다른 두가지 이상의 반도체층들을 교대로 적층한 후 적어도 한 종류의 반도체층들을 선택적으로 에칭하여 에어갭(air gap)을 형성하고, 에어갭이 매립되도록 열전달 특성이 양호한 산화물 혹은 질화물을 증착한다. 에어갭에 매립된 산화물 혹은 질화물과 반도체층의 큰 굴절률 차이로 인하여 적은 주기로도 효과적으로 높은 반사율을 갖는 반도체 반사경 또는 광학 필터를 구현할 수 있다.

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