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    • 4. 发明公开
    • 바이폴라 트랜지스터 제조방법
    • 制造双极晶体管的方法
    • KR1020050069127A
    • 2005-07-05
    • KR1020030101064
    • 2003-12-31
    • 동부일렉트로닉스 주식회사
    • 송유선
    • H01L29/73
    • H01L29/66272H01L21/8222
    • 본 발명은 반도체 소자의 바이폴라 트랜지스터 제조방법에 관한 것으로, 특히 소자분리막 형성시 측벽과 바닥에 이미터와 컬렉터 확산층을 형성하여 바이폴라 트랜지스터를 제조하는 방법에 관한 것이다.
      본 발명의 상기 목적은 바이폴라 트렌지스터 제조방법에 있어서, 반도체 기판에 소자분리막 형성을 위한 트렌치를 형성하는 단계; 상기 기판에 포토레지스트 패턴을 형성하고 바이폴라 트랜지스터가 형성될 영역인 트렌치의 측벽 및 하부에 이온주입 공정을 진행하여 이미터 및 콜렉터를 형성하는 단계; 상기 포토레지스트를 제거하는 단계 및 상기 트렌치에 절연막을 매립하여 소자분리막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이폴라 트렌지스터 제조방법에 의해 달성된다.
      따라서, 본 발명의 바이폴라 트랜지스터 제조방법은 소자분리막 형성시 소자분리막을 위한 식각이 완료된 후 측벽과 바닥에 이미터와 컬렉터 확산층을 형성함으로써 소자의 면적을 최소화하였고, 고온 확산 공정없이 소자분리막을 이용한 깊은 불순물 확산층을 제공할 수 있고, 높은 증폭률과 함께 높은 전류 구동 능력을 제공할 수 있는 효과가 있다.
    • 7. 发明公开
    • 임피던스 매칭회로, 전력 증폭 회로 및 가변 캐패시터의 제조방법
    • 阻抗匹配电路,功率放大器和可变电容器的制造方法
    • KR1020130093996A
    • 2013-08-23
    • KR1020120015292
    • 2012-02-15
    • 한국전자통신연구원
    • 이종민민병규김성일윤형섭문재경남은수
    • H03H7/38H03F3/20H01G5/019
    • H01L21/8222H01G7/00H01L27/0647H01L27/0658H01L29/93H03F1/565H03F3/21H03F2200/36H03F2200/378H03F2200/387H03F2200/391H03H7/38Y10T29/43
    • PURPOSE: An impedance matching circuit including passive elements for controlling the matching property, an amplification circuit and a manufacturing method of a variable capacitor are provided to modify the characteristic value of passive elements included in the multi-staged impedance matching circuit, so that a broadband matching realizes. CONSTITUTION: A first variable inductor part (L1) is connected between the output terminal of a first node (N1) and an amplifying unit (AMP). A second variable inductor part (L2) is connected between the first node and a second Node (N2). The inductance value of the first variable inductor part and the second variable inductor part is determined according to the number and the length of wires. A first variable capacitor portion (C1) is connected between the first node and a ground voltage platform. A second variable capacitor portion (C2) is connected between the second node and the ground voltage platform. [Reference numerals] (AMP) Power amplifying unit
    • 目的:提供一种阻抗匹配电路,其包括用于控制匹配特性的无源元件,放大电路和可变电容器的制造方法,以修改包括在多级阻抗匹配电路中的无源元件的特性值,使得宽带 匹配实现。 构成:第一可变电感器部分(L1)连接在第一节点(N1)的输出端和放大单元(AMP)之间。 第二可变电感器部分(L2)连接在第一节点和第二节点(N2)之间。 根据导线的数量和长度确定第一可变电感器部分和第二可变电感器部分的电感值。 第一可变电容器部分(C1)连接在第一节点和地电压平台之间。 第二可变电容器部分(C2)连接在第二节点和地电压平台之间。 (附图标记)(AMP)功率放大单元