专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明授权

KR102481186B1 로드 포트 및 로드 포트를 구비하는 기판 반송 시스템 有权
公开(公告)号：KR102481186B1
公开(公告)日：2022-12-26
申请号：KR1020220076561
申请日：2022-06-23
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/673
摘要： 회전기구를구비하는로드포트에있어서, 용기의전달위치를, 회전기구를구비하지않는로드포트에맞춘경우라도, 용기의회전시에용기의도어부등에의충돌을피하는것이다. 로드포트(4)는개구부(30)를갖는베이스(20)와, 베이스(20)에설치되며, 개구부(30)를개폐하는도어부(21)와, 베이스(20)와직교하는전후방향에있어서, 베이스(20)로부터전방으로돌출설치되며, 적재트레이(23)를지지하는프레임(22)과, 적재트레이(23)를연직축주위로회전시키는회전기구(24)와, FOUP(300)가 OHT(400)에의해적재트레이(23)에적재된후, 회전기구(24)가적재트레이(23)를회전시키기전에또는한창회전시키고있는중에, 도어부(21) 및적재트레이(23) 중적어도어느한쪽을다른쪽으로부터멀어지게하는이동기구를구비한다. FOUP(300)와도어부(21) 등이상대적으로멀어지기때문에, FOUP(300)가회전시에도어부(21) 등에충돌하는것을피할수 있다.

2. 发明授权

KR102478498B1 적층 장치 및 적층 방법 有权
公开(公告)号：KR102478498B1
公开(公告)日：2022-12-19
申请号：KR1020187033213
申请日：2017-06-13
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/687 , H01L21/673 , H01L21/68 , H01L21/67 , H01L21/02
摘要： 적층장치로서, 제1 기판과제2 기판을적층하는적층장치로서, 제1 기판을유지할유지부재를복수구비하며, 복수의유지부재는, 제2 기판에대한제1 기판의위치어긋남을, 미리설정된보정량으로보정하고, 복수의유지부재는, 보정량이서로다른유지부재를포함한다. 상기적층장치는, 복수의유지부재로부터선택되어제1 기판을유지할유지부재를, 상기유지부재가수용된위치로부터제1 기판을유지할위치까지반송하는반송부를더 구비해도괜찮다.

3. 发明授权

KR102476085B1 개선된 기판 스토리지 및 프로세싱 有权
公开(公告)号：KR102476085B1
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：KR1020220051453
申请日：2022-04-26
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/68 , H01L21/67
摘要： 상술되는시스템, 방법및 장치는일반적으로기판스토리지및 프로세싱에관련된디바이스에관한것이다. 일예의실시예는기판수송, 분류및 세정을위한하나또는둘 이상의예에사용되는현존하는디바이스들을개선하는기판스토리지및 프로세싱모듈의방법들, 장치및 시스템들에관한것이다. 일체형설계시스템은표준클램핑기술들의사용없이혁신적인지지시스템을사용함으로써그 내용물들에대한변형을감소시키는방법으로기판들을보관및 지지할수 있고, 이러한또는다른반복들로의그러한적층방법들은표면들의차핑(chafing)을최소화할수 있다. 따라서, 디바이스는보관된기판들을원래그대로의상태로보존하는능력을현저하게개선한다.

4. 发明授权

KR102466295B1 로드포트모듈의 웨이퍼 용기의 습도저감장치 및 이를 구비한 반도체 공정장치 有权
公开(公告)号：KR102466295B1
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：KR1020200101231
申请日：2020-08-12
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/673
摘要： 본발명은로드포트모듈에서웨이퍼용기의전면에설치되어웨이퍼용기의습도를저감하도록웨이퍼가출입하는출입구에가스막을형성하는로드포트모듈의웨이퍼용기의습도저감장치및 이를구비한반도체공정장치에관한것으로서, 웨이퍼용기의전면상부에설치되는본체부와, 이본체부의내부에가스를공급하도록송풍하는송풍부와, 본체부의내부에공급된가스를하방으로분산시켜가스막을형성하도록배출하는분산부를포함하는것을특징으로한다. 따라서본 발명은로드포트모듈에서웨이퍼용기의전면에본체부와송풍부와분산부를설치하여웨이퍼용기의출입구에가스막을형성함으로써, 웨이퍼용기의습도를저감하도록출입구에차단가스막을형성하여외기의유입을차단할수 있는효과를제공한다.

5. 发明授权

KR102467352B1 매거진 이송장치 有权
公开(公告)号：KR102467352B1
公开(公告)日：2022-11-14
申请号：KR1020220096445
申请日：2022-08-03
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/673 , H01L21/67
摘要： 본발명의일 실시예에따른 RFID가탑재된매거진이송장치는, 상부에 RFID가탑재되고트레이가복수개적층된매거진을이송방향으로이송하는컨베이어모듈; 상기컨베이어모듈의양측에수직하게구비되고, 상기이송방향의전방에배출부가형성되고상기이송방향의후방에인입부가형성되고, 상기매거진의측면을외부로부터차폐시키는사이드패널; 상기컨베이어모듈에구비되고상기배출부에배치되고, 상기 RFID를인식하는리더모듈; 상기컨베이어모듈에구비되고상기배출부에배치되고, 상기리더모듈에서상기 RFID를인식후 상기매거진을상기컨베이어모듈에서배출시 상기배출부를개방시키는게이트모듈; 및상기컨베이어모듈의일측에구비되고, 상기매거진의인입또는배출을감지하는센서모듈; 을포함한다.

6. 发明授权

KR102464332B1 적재 트레이 및 적재 트레이 모듈 有权
公开(公告)号：KR102464332B1
公开(公告)日：2022-11-07
申请号：KR1020170165657
申请日：2017-12-05
IPC分类号： B65D21/04 , B65D1/36 , B65D85/38 , H01L21/673
摘要： 실시예에따른적재트레이는복수의렌즈가제 1 방향에서일렬로제 1 면에부착된적어도하나의기판을적재하는트레이에있어서, 베이스; 상기베이스의상면에서제 1 높이를갖도록상부로돌출된복수의제 1 지지부; 상기복수의제 1 지지부중 적어도하나의상면에서제 2 높이를갖도록상부로돌출된복수의제 1 돌기; 및상기베이스의가장자리를따라상기베이스의상면에서제 3 높이를갖도록상부로돌출된측벽; 을포함하고, 상기복수의제 1 돌기는상기제 1 지지부상면을따라상기제 1 방향에수직인제 2 방향으로서로간에제 1 너비로이격되어일렬로배치되며, 상기기판은상기복수의제 1 돌기사이이격공간에서상기제 1 지지부상에적재되며, 상기제 1 높이는상기렌즈의두께보다큰 적재트레이를개시한다.

7. 发明授权

KR102462916B1 기판 반출입 장치, 기판 처리 장치 및 기판 반송 용기의 제전 방법 有权
公开(公告)号：KR102462916B1
公开(公告)日：2022-11-03
申请号：KR1020180155025
申请日：2018-12-05
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/673 , H01L21/02
摘要： FOUP의내면을제전하고, FOUP의내면으로의파티클의부착을억제할수 있는기판반출입장치를제공하는것이다. 일실시형태의기판반출입장치는, 기판반송영역과용기반송영역을구획하는격벽과, 상기격벽에형성된반송구와, 상기반송구의개구에지부에취출구의개구에지부를밀착시킨기판수납용기의내부에, 상기반송구의개구에지부로부터이온화된가스를분사하는가스공급기구를갖는다.

8. 发明授权

KR102456286B1 기판 수납 처리 장치, 기판 수납 처리 방법 및 기록 매체 有权
公开(公告)号：KR102456286B1
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：KR1020197024539
申请日：2018-02-15
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/67 , H01L21/677

9. 发明授权

KR102455363B1 증착 마스크 곤포체 및 증착 마스크 곤포 방법 有权
公开(公告)号：KR102455363B1
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：KR1020227025082
申请日：2017-09-12
IPC分类号： H01L51/56 , C23C14/04 , B65D85/38 , B65D85/48 , B65D81/02 , H01L21/673 , H01L51/00

10. 发明授权

KR102446248B1 내부 유동 필드를 증강하는 기판 용기 有权
公开(公告)号：KR102446248B1
公开(公告)日：2022-09-21
申请号：KR1020210028668
申请日：2021-03-04
IPC分类号： H01L21/673 , B65D85/48 , B65D81/18

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式