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1. 发明授权

KR101887461B1 기판 수납용 매거진 有权
公开(公告)号：KR101887461B1
公开(公告)日：2018-08-13
申请号：KR1020170081672
申请日：2017-06-28
申请人： 엠케이메탈 주식회사
发明人： 김수용
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67379 , H01L21/67346 , H01L21/67383
摘要： 본발명은기판수납용매거진에관한것으로, 보다상세하게는기판을수납하거나인출할때 마찰에의한파티클발생을최소화하고, 수납된기판의이탈을방지할수 있는구조를갖는기판수납용매거진에관한것이다. 본발명의기판수납용매거진은, 복수의기판을수납할수 있는본체; 상기본체의내부양측에형성되어상기기판을지지하는복수의걸림턱; 및상기걸림턱의사이사이에배치되고, 상기본체에수납되는상기기판과선접촉하는마찰저감핀을포함하는것을특징으로한다. 또한, 본발명의기판수납용매거진은상기본체에결합되어상기본체에수납되는상기기판의이탈을방지하기위한차단부재를더 포함할수 있다.

2. 发明授权

KR101865920B1 카세트 어댑터 有权
公开(公告)号：KR101865920B1
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：KR1020110087497
申请日：2011-08-31
申请人： 신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤
发明人： 하따노다까이찌 , 사이또오쇼오고
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/68 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67379 , H01L21/67775
摘要： 본발명의과제는, 직경 300㎜의원형의웨이퍼를수용하는제1 카세트에대응하는로드포트를사용하여, 직경 200㎜의원형의웨이퍼를수용하는제2 카세트를설치하여로크가능하게하는것이다. 본발명의다른과제는, 직경 300㎜의원형의웨이퍼를수용하는제1 카세트에대응하는로드포트의캐리어베이스에카세트어댑터를장착하여, 상기로드포트에직경 200㎜의원형의웨이퍼를수용하는제2 카세트를설치할때에, 당해제2 카세트가정확한위치에착좌된것을검출하는착좌센서기구를제공하는것이다. 300㎜의웨이퍼를수용하는제1 카세트(K)에대응하고있어, 당해제1 카세트(K)를캐리어베이스(5)에로크하는로크용에어실린더(로크부재)(14)를구비한로드포트(P)에, 200㎜의웨이퍼를수용하는제2 카세트(K)를설치하여로크가능하게하기위해, 상기캐리어베이스(5)에설치되는카세트어댑터(A)이며, 당해카세트어댑터(A)는, 상기캐리어베이스(5)에장착되는어댑터베이스(V)와, 당해어댑터베이스(V)에회전축을통해회전가능하게장착되는측면에서볼 때 L자형인어댑터본체(D)로이루어지고, 당해어댑터본체(D)를구성하는어댑터플레이트(E)의이면에는, 상기어댑터베이스(V)의하방에배치된상기로크용에어실린더(14)의로드(13)의선단의로크갈고리(12)에대해해제가능하게결합되어, 상기캐리어베이스(5)에대해상기어댑터본체(D)를고정가능하게하는피로크부재(35)가일체로설치된구성으로한다. 300㎜의제1 웨이퍼를수용가능한제1 카세트(K)용의로드포트(P)의상기캐리어베이스(5)에장착되어, 200㎜의제2 웨이퍼를수용가능한제2 카세트(K)를설치하기위한카세트어댑터(A)이며, 어댑터본체(D)의어댑터플레이트(E)의이면에는, 당해어댑터본체(D)가카세트받침대(B)의경사배치위치로부터 (90°-θ)만큼회전되어당해어댑터플레이트(E)를수평배치시키기위한스토퍼볼트(33)와, 상기캐리어베이스(5)에설치된복수의제1 카세트용착좌센서(S내지 S) 중특정한하나를작동시켜, 당해어댑터플레이트(E)가수평배치된것을검출하는센서작동볼트(34)가각각장착되고, 상기어댑터플레이트(E)의상면에는, 상기복수의제1 카세트용착좌센서(S내지 S) 중상기센서작동볼트(34)에의해작동되는특정한제1 카세트용착좌센서(S)를제외한나머지의제1 카세트용착좌센서(S, S)를무효로한 상태에서, 상기어댑터플레이트(E)의상면에제2 카세트(K)가세트되어정확한위치에착좌된것을검출하는복수의제2 카세트용착좌센서(S, S)가설치된구성으로한다.

3. 发明授权

KR101834466B1 웨이퍼 수용 용기 지지 선반 및 그에 사용되는 캡 조립체 有权
公开(公告)号：KR101834466B1
公开(公告)日：2018-03-05
申请号：KR1020170102038
申请日：2017-08-11
申请人： 크린팩토메이션 주식회사
发明人： 장희곤 , 박종오 , 김재윤
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67383 , H01L21/67373 , H01L21/67379
摘要： 본발명은, 관통홀과, 상기관통홀주위에형성되는복수의결합홀을구비하고, 웨이퍼수용용기가얹혀지도록형성되는플레이트; 상기웨이퍼수용용기에접속되는접속부를구비하고, 상기접속부가상기관통홀에관통삽입된채로상기플레이트에결합되는노즐; 및상기접속부를감싸면서상기웨이퍼수용용기를지지하도록상기플레이트상에위치하고, 상기플레이트에대해결합되는캡 조립체를포함하고, 상기캡 조립체는, 상기접속부에대응하는중앙홀과, 상기복수의결합홀에대응하는복수의주변홀을구비하고, 상기웨이퍼수용용기가얹혀지는몸체; 상기복수의주변홀에대응하는복수의너트부와, 상기복수의너트부가하나의단일체를이루도록상기복수의너트부를서로에대해연결하는연결부를구비하고, 상기몸체에결합되며, 상기몸체보다높은강도를갖는재질로형성되는결합베이스; 및상기주변홀, 상기너트부, 및상기결합홀에삽입되어, 상기결합베이스를매개로하여상기몸체를변형이없는상태로상기플레이트에결합시키는결합피스를포함하는, 웨이퍼수용용기지지선반및 그에사용되는캡 조립체을제공한다.

4. 发明授权

KR101773356B1 테이프릴 보관장치 有权
标题翻译：磁带卷盘存储设备
公开(公告)号：KR101773356B1
公开(公告)日：2017-08-31
申请号：KR1020160110625
申请日：2016-08-30
申请人： 주식회사 은일
发明人： 신경찬
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/67 , H01L21/677 , B65G1/04 , H01L23/544
CPC分类号： H01L21/67379 , B65G1/04 , H01L21/67132 , H01L21/67282 , H01L21/67356 , H01L21/67706 , H01L23/544
摘要： 본발명은테이프릴보관장치에관한것으로, 공급유닛(14)은지지틀(26) 내측에각기요입홈(34)을갖는한개이상의선반(28)을고정설치하여구성하고또 바코드리딩유닛(18)이갖는바코드리딩카메라(16)는감속모터(38)와연결된볼스크류(40)에의해승강작동되게하여작업자가단순히테이프릴(30)을선반(28)에얹어주기만하면바코드리딩유닛(18)에의한바코드리딩후그 정보에따라이송유닛(22)이갖는클램프(20)가바코드리딩된테이프릴(30)을클램핑하여보관틀(24)에삽입해주도록하며, 더나아가공급유닛(14)의각 선반(28) 인근에는테이프릴(30)의공급여부및 보관해주고자하는테이프릴(30)의두께에따라이송유닛(22)이갖는클램프(20)의클램핑폭을결정하는감지센서(32)를부설하여이송유닛(22)에의한이송작업시오작동을방지해줄 수있도록한 것이다.
摘要翻译：磁带卷收纳装置本发明涉及一种磁带卷收纳装置，其中在纸夹具26和条形码读取单元18内固定安装有一个或多个具有凹槽34的搁板28，这具有当由螺钉40升高提出的工作，球与马达38通过操作者简单地jugiman搁板28上用胶带卷轴30突破相关联的条形码读取照相机16 neungam，条形码读取部18，夹持单元20根据由馈送器单元14的条形码读取信息来夹持磁带盒读取带盘30并且将磁带卷盘30插入存储框架24中。此外，货架28是根据磁带盘（30）的厚度接近传感器32，它决定了夹具20的夹持宽度与转印单元22，用于椅子haejugo是否磁带卷轴30和存储的供给以防止转印单元22的转印操作中的故障。

5. 发明公开

KR1020170095325A 충격 상태 보호부를 갖는 웨이퍼 용기 审中-实审
标题翻译：一种晶片容器，
公开(公告)号：KR1020170095325A
公开(公告)日：2017-08-22
申请号：KR1020177019425
申请日：2015-12-18
申请人： 엔테그리스, 아이엔씨.
发明人： 무쉘라이언 , 스테펜즈제이슨티
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67369 , H01L21/67366 , H01L21/67373 , H01L21/67383 , H01L21/67386 , H01L21/67379
摘要： 전방개방웨이퍼용기는용기부분그리고용기부분의개방전방부를폐쇄하는크기를갖는도어를갖는다. 용기부분은웨이퍼를보유하고그에의해안착위치를형성하는셸프를갖고, 전방및 후방웨이퍼지지부를안착위치위의운반위치에서그것들사이에웨이퍼를현수하도록갖는다. 충격상태쿠션부분이충격상태중에웨이퍼를보호하도록운반위치에인접하게배열된다. 웨이퍼는박형웨이퍼측면및 캐리어기판측면을갖는접합된웨이퍼일수 있다. 웨이퍼결합패드및 핑거부재가도어상의중심스트립으로부터대향방향들로연장하고그에의해균형웨이퍼결합을제공한다. 도어를폐쇄할때, 1차웨이퍼지지부분이먼저웨이퍼와결합하고, 2차탄성중합체웨이퍼지지부가이어서웨이퍼와결합한다. 웨이퍼지지부내에웨이퍼를수용하는 V자형홈에서는 V자형홈과박형웨이퍼측면사이에형성되는각도가 V자형홈과캐리어기판측면사이에형성되는각도보다크고그에의해접합된웨이퍼를위한향상된보호를제공한다.
摘要翻译：前开式晶片容器具有容器部分和门，该门的尺寸设定为封闭容器部分的敞开的前部。所述容器部分具有保持晶片，从而形成一个休息位置的搁板，该晶片具有在所述晶片支撑静止位置的前部和后部的运输位置在它们之间被暂停。碰撞缓冲部分靠近运输位置布置以在碰撞条件下保护晶片。晶片可以是具有薄晶片侧和载体衬底侧的键合晶片。晶片键合焊盘和手指构件从门上的中心条沿相反的方向延伸，从而提供平衡的晶片键合。当关闭门时，主晶片支撑部首先接合晶片，并且次弹性晶片支撑件随后接合晶片。以及用于在晶片支撑部分容纳的晶片的V形槽的V形槽的侧面和薄晶片之间形成的角度大于V形槽和所述载体基片侧之间形成的角度由他提供了用于晶片接合更大的保护。

6. 发明公开

KR1020170054253A 전면 개구 링 포드 审中-实审
标题翻译：前开环吊舱
公开(公告)号：KR1020170054253A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：KR1020160137496
申请日：2016-10-21
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 웡스콧 , 게네티다몬티론 , 윗카우이키데릭존 , 패터슨알렉스 , 굴드리차드에이치. , 엔고오스틴 , 에스토큐마크
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67167 , H01L21/6719 , H01L21/67196 , H01L21/67201 , H01L21/67303 , H01L21/6732 , H01L21/67369 , H01L21/67379 , H01L21/67383 , H01L21/67386 , H01L21/67389 , H01L21/67742 , H01L21/68707
摘要： 프로세스모듈을사용하여소모성부품들을교환하기위한포드는전면측, 후면측, 및제 1 측방향측면들및 제 2 측방향측면들을갖는베이스플레이트를포함한다. 제 1 지지부컬럼은전면측에근접하여제 1 측방향측면상에배치된다. 제 2 지지부컬럼은전면측에근접하여제 2 측방향측면상에배치된다. 제 3 지지부컬럼이후면측에근접하여제 1 측방향측면상에배치되고, 제 4 지지부컬럼이후면측에근접하여제 2 측방향측면상에배치된다. 지지부컬럼들각각은세로로분포되고내측으로지향된복수의지지핑거들을포함한다. 제 1 강제정지 (hard stop) 컬럼은제 3 지지부컬럼에평행하게배치되고, 제 2 강제정지컬럼은제 4 지지부컬럼에평행하게배치된다. 베이스플레이트에연결된쉘 (shell) 구조는제 1 지지부컬럼, 제 2 지지부컬럼, 제 3 지지부컬럼및 제 4 지지부컬럼, 상단플레이트및 제 1 강제정지컬럼및 제 2 강제정지컬럼을둘러싸도록구성되고, 베이스플레이트의전면측 상에배치된전면개구를포함한다. 도어가전면개구에매이팅되고 (mate), 포드내에소모성부품들이수용될때 포드내에소모성부품들을고정하기위한파지 (retention) 어셈블리를포함한다.
摘要翻译：使用处理模块更换消耗部件的容器包括具有前侧，后侧以及第一侧横向侧和第二侧侧的基板。第一支撑柱设置在靠近前侧的第一侧面上。第二支撑柱设置在靠近前侧的第二侧面上。第三支撑柱设置在靠近后侧的第一侧面上并且第四支撑柱设置在靠近后侧的第二侧面上。每个支撑柱包括多个纵向分布且向内定向的支撑指状物。所述第一硬停栏与所述第三支柱平行设置，所述第二强制停栏与第四支柱平行设置。连接到基板的壳体结构被构造为围绕第一支撑柱，第二支撑柱，第三支撑柱和第四支撑柱，上板，第一强制停止柱和第二强制停止柱，并且设置在基板的前侧上的前开口。以及用于当门与前开口配合并且消耗部件接收在容器内时用于将消耗部件固定在容器内的保持组件。

7. 发明授权

KR101704341B1 가스 주입 장치, 가스 배출 장치, 가스 주입 방법 및 가스 배출 방법 有权
标题翻译：气体注入装置气体排放装置气体注入方法和气体排放方法
公开(公告)号：KR101704341B1
公开(公告)日：2017-02-07
申请号：KR1020160032540
申请日：2016-03-18
申请人： 신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤
发明人： 나쯔메미쯔오 , 오찌아이미쯔또시 , 미조까와다꾸미
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/673 , H01L21/54 , H01L21/66 , H01L21/68
CPC分类号： H01L21/67775 , B65B31/04 , H01L21/67379 , H01L21/67393 , Y10S414/135 , Y10S414/137 , Y10S414/139
摘要： 본발명의과제는, 용기가적재되는적재대에, 가스를용기내에주입또는용기로부터가스를배출하기위한노즐이탑재되는장치에있어서도, 용기를적재대상에서확실하게위치결정할수 있는가스의주입장치, 배출장치, 주입방법및 배출방법을제공하는것이다. 캐리어베이스(21)에용기인캐리어(10)가적재될때, 키네마틱핀(7)이캐리어(10)의저부(103)에설치된위치결정홈(101)에결합하여캐리어(10)가적재대(2) 상에서위치결정된다. 그리고이 상태로부터, 승강구동유닛(4)에의해주입노즐(5)이캐리어(10)의주입부(102)에접촉한다. 따라서, 캐리어(10)가적재대(2) 상에서위치결정되기전에, 주입노즐(5)이캐리어(10)의주입부(102)에걸린다고하는사태가발생하지않는다. 즉, 캐리어(10)를적재대(2) 상에서확실하게위치결정할수 있다.
摘要翻译：本发明公开了一种装置，其特征在于，包括：被配置为容纳在其中存储物体的容器的台，所述容器包括设置有定位槽的底面，并且包括充气入口，气体通过所述充电入口装入所述容器中; 定位销从工作台伸出并适于与容器的定位槽接合; 喷嘴，被配置为通过所述充气入口将气体充入所述容器; 以及驱动单元，其构造成在所述定位销与所述定位槽接合之后使所述喷嘴移动到与所述容器的所述充电入口接触。

8. 发明授权

KR101697202B1 물품의 지지 장치 및 지지 장치에의 2 종류의 물품의 재치 방법 有权
标题翻译： 2在支持设备上安装两种类型的文章支持设备和方法
公开(公告)号：KR101697202B1
公开(公告)日：2017-01-17
申请号：KR1020167010049
申请日：2014-07-17
申请人： 무라다기카이가부시끼가이샤
发明人： 오고하루키 , 이토야스히사
IPC分类号： H01L21/673 , B65G1/04 , H01L21/677 , H01L21/68
CPC分类号： F16M13/02 , H01L21/67379 , H01L21/67769 , H01L21/67775 , H01L21/68 , H01L21/6875 , H01L21/68771
摘要： 크기가상이한 2 종류의물품을, 모두위치결정하여재치할수 있는지지장치를제공한다. 제 1 물품(20)과, 제 1 물품(20)보다저부가큰 제 2 물품(30)을지지장치의재치면에재치한다. 재치면으로부터돌출되고, 제 1 물품(20)의저부를위치결정하는제 1 위치결정부재(10)와, 재치면으로부터돌출되고, 제 2 물품(30)을위치결정하는제 2 위치결정부재(12)를마련한다. 제 1 위치결정부재(10)는, 제 2 위치결정부재(12)에의해제 2 물품(30)을재치면상에위치결정할시, 제 2 물품(30)과간섭하지않는위치에배치되고, 제 2 위치결정부재(12)는, 제 1 위치결정부재(10)에의해제 1 물품(20)을재치면상에위치결정할시, 제 1 물품(20)과간섭하지않는위치에배치되어있다.
摘要翻译：提供了一种支撑装置，其上定位和放置尺寸不同的两种类型的物品。具有比第一制品的底部更大的底部的第一制品和第二制品将被放置在支撑装置的放置表面上。设置从放置面突出的第一定位构件，用于定位第一制品的底部;以及第二定位构件，其从放置表面突出以定位第二制品。第一定位构件布置在当第二制品通过第二定位构件定位在放置表面上时与第二制品的干涉被阻止的位置，并且第二定位构件布置在与第一制品的干涉当第一物品通过第一定位构件定位在放置表面上时防止。

9. 发明公开

KR1020160132104A 퍼지 장치와 퍼지 방법 审中-实审
标题翻译：净化装置和冲洗方法
公开(公告)号：KR1020160132104A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：KR1020167028462
申请日：2015-01-09
申请人： 무라다기카이가부시끼가이샤
发明人： 무라타마사나오 , 야마지타카시
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/677 , H01L21/02 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67393 , H01L21/67379 , H01L21/67775
摘要： 액츄에이터를이용하지않고, 노즐이용기의위치결정을방해하지않도록한다. 위치결정부재보다먼저노즐이용기에접촉했을시, 노즐의가이드면에의해용기를가이드하고, 또한용기로부터의하중에의해노즐을하강시켜위치결정부재와용기를접촉시키고, 위치결정부재에의해용기를위치결정하고, 노즐로부터용기에퍼지가스를주입한다.
摘要翻译：喷嘴不会妨碍容器的对准，而不需要执行器。当喷嘴在对准构件之前接触容器时，容器通过喷嘴的引导表面被引导，喷嘴通过从容器施加的载荷而降低，使得对准构件接触容器以对准容器，并且吹扫气体从喷嘴喷射到容器中。

10. 发明公开

KR1020160056828A 물품 수납 설비 审中-实审
标题翻译：文章存储设施
公开(公告)号：KR1020160056828A
公开(公告)日：2016-05-20
申请号：KR1020150158232
申请日：2015-11-11
申请人： 가부시키가이샤 다이후쿠
发明人： 오모리가즈야 , 아오키히로미치 , 요시오카히데오 , 마쓰키사다토
IPC分类号： B65G1/04 , B66F9/07 , H01L21/677
CPC分类号： B65G1/02 , G05B15/02 , G05B2219/45057 , H01L21/67259 , H01L21/67379 , H01L21/67769 , H01L21/67775
摘要： 본원의물품수납설비는지지체에탑재지지된상태로지지체의경사를계측하는계측용지그를구비한다. 물품반송장치의작동을제어하는제어장치는, 복수의수납부전부또는일부를계측대상수납부로하여, 계측용지그를복수의계측대상수납부에순차적으로반송하도록물품반송장치의작동을제어하는경사계측제어를행한다.
摘要翻译：根据本发明的物品存储设备具有测量夹具，该测量夹具在负载并支撑在支撑体上的状态下测量支撑体的倾斜度。用于控制物品输送装置的操作的控制装置执行用于控制物品输送装置的操作的倾斜测量控制，以通过使用多个接收部的全部或一部分将测量夹具连续地传送到多个测量对象接收部件测量对象接收部分。

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