专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

KR1020170054253A 전면 개구 링 포드 审中-实审
标题翻译：前开环吊舱
公开(公告)号：KR1020170054253A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：KR1020160137496
申请日：2016-10-21
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 웡스콧 , 게네티다몬티론 , 윗카우이키데릭존 , 패터슨알렉스 , 굴드리차드에이치. , 엔고오스틴 , 에스토큐마크
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67167 , H01L21/6719 , H01L21/67196 , H01L21/67201 , H01L21/67303 , H01L21/6732 , H01L21/67369 , H01L21/67379 , H01L21/67383 , H01L21/67386 , H01L21/67389 , H01L21/67742 , H01L21/68707
摘要： 프로세스모듈을사용하여소모성부품들을교환하기위한포드는전면측, 후면측, 및제 1 측방향측면들및 제 2 측방향측면들을갖는베이스플레이트를포함한다. 제 1 지지부컬럼은전면측에근접하여제 1 측방향측면상에배치된다. 제 2 지지부컬럼은전면측에근접하여제 2 측방향측면상에배치된다. 제 3 지지부컬럼이후면측에근접하여제 1 측방향측면상에배치되고, 제 4 지지부컬럼이후면측에근접하여제 2 측방향측면상에배치된다. 지지부컬럼들각각은세로로분포되고내측으로지향된복수의지지핑거들을포함한다. 제 1 강제정지 (hard stop) 컬럼은제 3 지지부컬럼에평행하게배치되고, 제 2 강제정지컬럼은제 4 지지부컬럼에평행하게배치된다. 베이스플레이트에연결된쉘 (shell) 구조는제 1 지지부컬럼, 제 2 지지부컬럼, 제 3 지지부컬럼및 제 4 지지부컬럼, 상단플레이트및 제 1 강제정지컬럼및 제 2 강제정지컬럼을둘러싸도록구성되고, 베이스플레이트의전면측 상에배치된전면개구를포함한다. 도어가전면개구에매이팅되고 (mate), 포드내에소모성부품들이수용될때 포드내에소모성부품들을고정하기위한파지 (retention) 어셈블리를포함한다.
摘要翻译：使用处理模块更换消耗部件的容器包括具有前侧，后侧以及第一侧横向侧和第二侧侧的基板。第一支撑柱设置在靠近前侧的第一侧面上。第二支撑柱设置在靠近前侧的第二侧面上。第三支撑柱设置在靠近后侧的第一侧面上并且第四支撑柱设置在靠近后侧的第二侧面上。每个支撑柱包括多个纵向分布且向内定向的支撑指状物。所述第一硬停栏与所述第三支柱平行设置，所述第二强制停栏与第四支柱平行设置。连接到基板的壳体结构被构造为围绕第一支撑柱，第二支撑柱，第三支撑柱和第四支撑柱，上板，第一强制停止柱和第二强制停止柱，并且设置在基板的前侧上的前开口。以及用于当门与前开口配合并且消耗部件接收在容器内时用于将消耗部件固定在容器内的保持组件。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式