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1. 发明公开

KR1020010049800A 물품의 피처를 분류하는 방법 및 이를 위한 명령어들을 내장한 컴퓨터 판독 매체 失效
标题翻译：自动识别和分类缺陷的方法
公开(公告)号：KR1020010049800A
公开(公告)日：2001-06-15
申请号：KR1020000040771
申请日：2000-07-15
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 스테파니,하비 , 레이스,테리
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G05B19/41875 , G05B2219/32221 , G05B2219/37519 , H01L22/20 , H01L2924/0002 , Y02P90/14 , Y02P90/22 , Y02P90/265 , Y02P90/86 , H01L2924/00
摘要： PURPOSE: An identification method is provided to identify causes of defects using a standardized qualitative method during in-process inspection of a wafer, by assigning generalized symbols to attributes of a single subset of a plurality of database objects corresponding to feature attributes, ad storing identifiers corresponding to features in a database. CONSTITUTION: A methodology is provided for qualitatively identifying features of an article, such as defects on the surface of a semiconductor substrate, with a string of symbols, such as numbers, according to relevant defect characteristics and information relating to the processing tools visited by the wafer, including reliability information. The identification sequences of all defects are stored in a database, where they are easily compared with other correspondingly identified defects. The identification sequence also includes a number representative of the wafer's last-visited processing tool, thereby associating the defect with a tool. After the defect is investigated and determined as being caused by a particular fault of the tool, this information is stored and linked to the defect's identification sequence.
摘要翻译：目的：提供一种识别方法，通过将通用符号分配给与特征属性相对应的多个数据库对象的单个子集的属性，广告存储标识符，通过标准化的定性方法来识别晶片的原因，对应于数据库中的功能。规定：提供了一种方法，用于根据相关的缺陷特征以及与所访问的处理工具有关的信息，定性地识别物品的特征，例如半导体衬底的表面上的缺陷，具有一串符号，例如数字晶圆，包括可靠性信息。所有缺陷的识别序列都存储在数据库中，可以方便地与其他相应识别的缺陷进行比较。识别序列还包括表示晶片最后访问的处理工具的数字，从而将缺陷与工具相关联。在缺陷被调查并确定为由工具的特定故障引起之后，该信息被存储并链接到缺陷的识别序列。

2. 发明公开

KR1020090024055A 산업플랜트의 트립원인 추적 시스템 有权
标题翻译：跟踪工业厂房拖车的方法和系统
公开(公告)号：KR1020090024055A
公开(公告)日：2009-03-06
申请号：KR1020080042527
申请日：2008-05-07
申请人： 비앤에프테크놀로지 주식회사 , 한국남동발전 주식회사 , 한국남부발전 주식회사 , 한국동서발전(주) , 한국서부발전 주식회사 , 한국중부발전(주)
发明人： 이순성
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： Y02P90/02 , G05B23/0235 , G05B23/0275 , G05B2219/32221
摘要： A method and a system for tracing trip-cause in an industrial plant are provided to deal with the trip rapidly by finding a signal that is the trip-cause by back-tracing the trip logic. A trip logic unit(204) includes one logic operator or more, receives a logic input signal, and outputs a trip determination signal. A storage unit(206) stores the logic input signal and an internal signal inside the trip logic unit. A tracing unit(208) searches the storage unit when the trip value is confirmed by checking a trip determination signal and detects the logic input signal that causes the trip by checking the input signal for the recently changed trip determination signal before outputting the trip value and the logic input signal reversely step by step.
摘要翻译：提供了用于跟踪工业工厂中的跳闸原因的方法和系统，以通过寻找通过回溯跳闸逻辑的跳闸原因来快速地处理行程。跳闸逻辑单元（204）包括一个逻辑操作器或更多个，接收逻辑输入信号，并输出跳闸判定信号。存储单元（206）将逻辑输入信号和内部信号存储在跳闸逻辑单元内。跟踪单元（208）通过检查跳闸判定信号来确认跳闸值并通过在输出跳闸值之前检查最近改变的跳闸判定信号的输入信号来检测导致跳闸的逻辑输入信号，并且逻辑输入信号反向逐步。

3. 发明公开

KR1020080045737A 제조 시스템, 제조 방법, 관리 장치, 관리 방법, 및프로그램 失效
标题翻译：制造系统，制造方法，管理装置，管理方法和程序
公开(公告)号：KR1020080045737A
公开(公告)日：2008-05-23
申请号：KR1020087008468
申请日：2005-09-13
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트 , 고쿠리츠 다이가쿠 호진 도호쿠 다이가쿠
发明人： 오카야스토시유키 , 스가와시게토시 , 테라모토아키노부
IPC分类号： H01L21/00 , G05B19/418
CPC分类号： G05B19/41875 , G05B2219/32221 , G05B2219/45031 , H01L22/20 , H01L22/34 , H01L2924/0002 , Y02P90/22 , H01L2924/00
摘要： A manufacturing system for manufacturing an electronic device through manufacturing steps comprises a manufacturing line adapted for manufacturing an electronic device and including manufacturing apparatuses for performing processings corresponding to the manufacturing steps, a manufacturing controller for allowing the manufacturing line to manufacture a wafer having a test circuit including transistors, a measurement unit for measuring the electric characteristics of each of the transistors included in the test circuit, an identifier for identifying a manufacturing step having caused a failure among the manufacturing steps according to the distribution of transistors having electric characteristics not satisfying predetermined criteria on the wafer, and a setting changer for changing the setting of the manufacturing apparatus performing the processing for the failed manufacturing step.
摘要翻译：通过制造步骤制造电子装置的制造系统包括适于制造电子装置的制造线，并且包括用于执行与制造步骤相对应的处理的制造装置，用于允许制造线制造具有测试电路的晶片的制造控制器包括晶体管，用于测量包括在测试电路中的每个晶体管的电特性的测量单元，用于识别根据具有不满足预定标准的电特性的晶体管的分布在制造步骤中引起故障的制造步骤的标识符以及用于改变执行用于失败的制造步骤的处理的制造设备的设置的设置改变器。

4. 发明授权

KR100819190B1 어드밴스드 프로세스 제어(ＡＰＣ) 프레임워크를 사용하여 프로세싱 툴의 결함 검출 및 이의 제어를 위한 방법 및 시스템 有权
标题翻译：使用高级过程控制处理工具和控制的故障检测方法和系统APC框架
公开(公告)号：KR100819190B1
公开(公告)日：2008-04-04
申请号：KR1020037001371
申请日：2001-07-03
申请人： 어드밴스드 마이크로 디바이시즈, 인코포레이티드
发明人： 코스엘피도주니어 , 왕큉수 , 라일리테렌스제이.
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： G05B19/4184 , G05B19/41875 , G05B2219/32209 , G05B2219/32221 , Y02P90/02 , Y02P90/14 , Y02P90/22
摘要： 어드밴스드 프로세스 제어(APC) 프레임워크(135)에 결함 검출을 제공하는 방법 및 시스템에 대해 기재한다. 제1 인터페이스(110)는 프로세싱 피스의 제조와 관련된 프로세싱 툴(105)의 연산 상태 데이터를 수신한다. 상기 상태 데이터는 상기 제1 인터페이스(110)로부터 결함 검출 시스템(120)으로 보내진다. 상기 결함 검출 시스템(120)은 상기 상태 데이터에 기초해서 상기 프로세싱 툴(105)에 결함 상태가 존재하는지를 결정한다. 상기 프로세싱 툴(105) 상에서 결함 상태의 존재에 응답해서 미리 결정된 동작이 실행된다. 일실시예에 따르면, 상기 미리 결정된 동작은 상기 프로세싱 툴(105)을 일시정지시켜 추가의 결함 있는 웨이퍼의 생성을 방지하는 것이다.
프로세싱 피스, 프로세싱 툴, 동작 상태 데이터, 결함 검출 시스템.
摘要翻译：一种用于在高级过程控制（APC）框架中提供故障检测的方法和装置。第一接口接收与制造加工件相关的加工工具的操作状态数据。状态数据从第一接口发送到故障检测单元。故障检测单元基于状态数据确定处理工具是否存在故障状况。响应于故障状况的存在，对处理工具执行预定的动作。根据一个实施例，预定的动作是关闭处理工具，以防止进一步生产故障晶片。

5. 发明授权

KR101461566B1 기판 처리 시스템 및 군 관리 장치 有权
标题翻译：基板加工系统和集团管理装置
公开(公告)号：KR101461566B1
公开(公告)日：2014-11-13
申请号：KR1020127016060
申请日：2011-02-08
申请人： 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키
发明人： 코야마요시타카 , 이와쿠라히로유키 , 조호야스히로
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/00
CPC分类号： G05B19/41875 , G05B2219/32221 , G05B2219/45031 , H01L21/67109 , H01L21/67276 , H01L21/67769 , Y02P90/22
摘要： 기판을 처리하는 기판 처리 장치와, 기판 처리 장치에 접속되는 군 관리 장치와, 구비하는 기판 처리 시스템으로서, 군 관리 장치는, 기판 처리의 진행 상황 또는 기판 처리 장치의 상태를 나타내는 모니터 데이터를 기판 처리 장치로부터 수신하는 통신 수단; 통신 수단이 수신한 모니터 데이터를 생산 정보 데이터에 관련지어서 독출 가능하게 격납하는 데이터베이스부; 데이터베이스부로부터 모니터 데이터 및 생산 정보 데이터를 독출하고, 모니터 데이터를 기초로 대표값 데이터를 생성하고, 모니터 데이터, 생산 정보 데이터 및 대표값 데이터를 포함하는 파일을 작성하여 독출 가능하게 격납하는 파일 아카이브부; 및 소정의 검색 조건의 입력을 접수해서 파일을 검색하고, 검색 조건에 합치하는 상기 파일에 격납되어 있는 데이터를 표시 수단에 표시하는 데이터 검색부;를 구비한다.

6. 发明公开

KR1020030019635A 어드밴스드 프로세스 제어(ＡＰＣ) 프레임워크를 사용하여 프로세싱 툴의 결함 검출 및 이의 제어를 위한 방법 및 시스템 有权
标题翻译：技术文章（APC）
公开(公告)号：KR1020030019635A
公开(公告)日：2003-03-06
申请号：KR1020037001371
申请日：2001-07-03
申请人： 어드밴스드 마이크로 디바이시즈, 인코포레이티드
发明人： 코스엘피도주니어 , 왕큉수 , 라일리테렌스제이.
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： G05B19/4184 , G05B19/41875 , G05B2219/32209 , G05B2219/32221 , Y02P90/02 , Y02P90/14 , Y02P90/22
摘要： 어드밴스드 프로세스 제어(APC) 프레임워크(135)에 결함 검출을 제공하는 방법 및 장치에 대해 기재한다. 제1 인터페이스(110)는 프로세싱 피스의 제조와 관련된 프로세싱 툴(105)의 연산 상태 데이터를 수신한다. 상기 상태 데이터는 상기 제1 인터페이스(110)로부터 결함 검출 유닛(120)으로 보내진다. 상기 결함 검출 유닛(120)은 상기 상태 데이터에 기초해서 상기 프로세싱 툴(105)에 결함 상태가 존재하는지를 결정한다. 상기 프로세싱 툴(105) 상에서 결함 상태의 존재에 응답해서 미리 결정된 동작이 실행된다. 일실시예에 따르면, 상기 미리 결정된 동작은 상기 프로세싱 툴(105)을 일시정지시켜 추가의 결함 있는 웨이퍼의 생성을 방지하는 것이다.
摘要翻译：一种用于在高级过程控制（APC）框架中提供故障检测的方法和设备。第一接口接收与加工件的制造有关的加工工具的操作状态数据。状态数据从第一个接口发送到故障检测单元。故障检测单元基于状态数据确定处理工具是否存在故障状况。响应于故障状况的存在，在处理工具上执行预定动作。根据一个实施例，预定动作是关闭处理工具以防止进一步产生故障晶片。

7. 发明授权

KR100200480B1 불량 분석 피드백에 의한 반도체 제조공정 제어방법 失效
标题翻译：使用反馈的半导体工艺的控制方法
公开(公告)号：KR100200480B1
公开(公告)日：1999-10-01
申请号：KR1019950053372
申请日：1995-12-21
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이민호
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G05B19/41875 , G05B2219/31426 , G05B2219/32209 , G05B2219/32221 , Y02P90/14 , Y02P90/22
摘要： 본 발명에서는 반도체 제조라인을 온라인 모니터링하여 장비 히스토리를 실시간적으로 데어터 베이스로 구축함과 동시에 불량 분석에 의해 미리 구축된 감시 데이터 베이스를 참조하여 현재 런되는 장비의 비정상적인 상태를 검출하고, 비정상적인 공정조건이 검출될 경우에는 수율하락과 같은 비정상적인 상태로 추정하여 장비의 동작을 중지시킬 수 있어서 장비의 비정상적인 상태에 대해 즉각적으로 조치를 취할 수 있다.
즉, 본 발명에서는 사후처리가 아니라 현장에서 실시간적으로 비정상적인 상태에 대해 즉각적인 조치가 가능하므로 공정 불량을 미연에 방지할 수 있고 따라서 궁극적으로 수율저하를 방지할 수 있다.

8. 发明公开

KR1020120096522A 기판 처리 시스템 및 군 관리 장치 有权
标题翻译：基板加工系统和集团管理装置
公开(公告)号：KR1020120096522A
公开(公告)日：2012-08-30
申请号：KR1020127016060
申请日：2011-02-08
申请人： 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키
发明人： 코야마요시타카 , 이와쿠라히로유키 , 조호야스히로
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/00
CPC分类号： G05B19/41875 , G05B2219/32221 , G05B2219/45031 , H01L21/67109 , H01L21/67276 , H01L21/67769 , Y02P90/22
摘要： 기판을 처리하는 기판 처리 장치와, 기판 처리 장치에 접속되는 군 관리 장치와, 구비하는 기판 처리 시스템으로서, 군 관리 장치는, 기판 처리의 진행 상황 또는 기판 처리 장치의 상태를 나타내는 모니터 데이터를 기판 처리 장치로부터 수신하는 통신 수단; 통신 수단이 수신한 모니터 데이터를 생산 정보 데이터에 관련지어서 독출 가능하게 격납하는 데이터베이스부; 데이터베이스부로부터 모니터 데이터 및 생산 정보 데이터를 독출하고, 모니터 데이터를 기초로 대표값 데이터를 생성하고, 모니터 데이터, 생산 정보 데이터 및 대표값 데이터를 포함하는 파일을 작성하여 독출 가능하게 격납하는 파일 아카이브부; 및 소정의 검색 조건의 입력을 접수해서 파일을 검색하고, 검색 조건에 합치하는 상기 파일에 격납되어 있는 데이터를 표시 수단에 표시하는 데이터 검색부;를 구비한다.

9. 发明授权

KR100973590B1 제조 시스템, 제조 방법, 관리 장치, 관리 방법, 및프로그램 失效
标题翻译：制造系统，制造方法，管理装置，管理方法和程序
公开(公告)号：KR100973590B1
公开(公告)日：2010-08-03
申请号：KR1020087008468
申请日：2005-09-13
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트 , 고쿠리츠 다이가쿠 호진 도호쿠 다이가쿠
发明人： 오카야스토시유키 , 스가와시게토시 , 테라모토아키노부
IPC分类号： H01L21/00 , G05B19/418
CPC分类号： G05B19/41875 , G05B2219/32221 , G05B2219/45031 , H01L22/20 , H01L22/34 , H01L2924/0002 , Y02P90/22 , H01L2924/00
摘要： 복수의 제조 공정에 의해 전자 디바이스를 제조하는 제조 시스템에 있어서, 복수의 제조 공정에 대응하는 처리를 수행하는 복수의 제조 장치를 포함하며 전자 디바이스를 제조하는 제조 라인, 복수의 피측정 트랜지스터를 포함하는 테스트 회로를 가지는 웨이퍼를 제조 라인에 의해 제조시키는 제조 제어부, 테스트 회로에 포함되는 복수의 피측정 트랜지스터의 각각의 전기적 특성을 측정하는 측정부, 전기적 특성이 미리 정해진 기준을 만족하지 않는 피측정 트랜지스터의 웨이퍼 상에서의 분포에 기초하여 복수의 제조 공정 가운데 불량이 생긴 제조 공정을 특정하는 특정부, 및 불량이 생긴 제조 공정에 대응하는 처리를 수행하는 제조 장치의 설정을 변경하는 설정 변경부를 포함한다.
제조 시스템, 복수의 제조 공정, 피측정 트랜지스터, 불량 공정, 전자 디바이스

10. 发明公开

KR1020100013720A ＲＦＩＤ 및 ＭＥＳ를 이용한 공정관리 시스템 및 방법 有权
标题翻译：使用RFID和MES的过程管理系统和方法
公开(公告)号：KR1020100013720A
公开(公告)日：2010-02-10
申请号：KR1020080075352
申请日：2008-07-31
申请人： 재단법인서울대학교산학협력재단
发明人： 조성호 , 나홍범 , 박목민 , 신기태 , 박찬권 , 박진우
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： Y02P90/02 , G05B19/4183 , G05B23/0275 , G05B2219/32221 , Y02P90/10
摘要： PURPOSE: A production control system using an RFID(Radio-Frequency Identification) and a MES(Manufacturing Execution System) and a controlling method thereof are provided to improve the efficiency of a task by automatically giving useful information for process analysis to a manager using collected data. CONSTITUTION: A database(210) stores the state and positional information data about the direct factor of production according to the time unit among different data generating in the process. An application module(170) decides a current operating condition from the status and position information saved in the database. An application module calculates statistical values from status, position information and current operating condition data. A user interface unit(180) displays a simple graphical form so that an operator can easily recognize and deal the problem of a process. Position information data is collected by the RFID and the status information data is collected by the MES. The application module includes a status recognizing unit(230), an analyzing unit(240) and a reason finding unit(250).
摘要翻译：目的：提供使用RFID（射频识别）和MES（制造执行系统）的生产控制系统及其控制方法，以通过自动向管理者提供用于过程分析的有用信息来提高任务的效率，数据。构成：数据库（210）根据在该过程中生成的不同数据中的时间单位存储有关直接生产要素的状态和位置信息数据。应用模块（170）根据保存在数据库中的状态和位置信息来确定当前操作条件。应用模块根据状态，位置信息和当前操作条件数据计算统计值。用户界面单元（180）显示简单的图形形式，使得操作者可以容易地识别和处理处理的问题。位置信息数据由RFID收集，状态信息数据由MES收集。应用模块包括状态识别单元（230），分析单元（240）和原因查找单元（250）。

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