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1. 发明公开

KR1020120096522A 기판 처리 시스템 및 군 관리 장치 有权
标题翻译：基板加工系统和集团管理装置
公开(公告)号：KR1020120096522A
公开(公告)日：2012-08-30
申请号：KR1020127016060
申请日：2011-02-08
申请人： 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키
发明人： 코야마요시타카 , 이와쿠라히로유키 , 조호야스히로
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/00
CPC分类号： G05B19/41875 , G05B2219/32221 , G05B2219/45031 , H01L21/67109 , H01L21/67276 , H01L21/67769 , Y02P90/22
摘要： 기판을 처리하는 기판 처리 장치와, 기판 처리 장치에 접속되는 군 관리 장치와, 구비하는 기판 처리 시스템으로서, 군 관리 장치는, 기판 처리의 진행 상황 또는 기판 처리 장치의 상태를 나타내는 모니터 데이터를 기판 처리 장치로부터 수신하는 통신 수단; 통신 수단이 수신한 모니터 데이터를 생산 정보 데이터에 관련지어서 독출 가능하게 격납하는 데이터베이스부; 데이터베이스부로부터 모니터 데이터 및 생산 정보 데이터를 독출하고, 모니터 데이터를 기초로 대표값 데이터를 생성하고, 모니터 데이터, 생산 정보 데이터 및 대표값 데이터를 포함하는 파일을 작성하여 독출 가능하게 격납하는 파일 아카이브부; 및 소정의 검색 조건의 입력을 접수해서 파일을 검색하고, 검색 조건에 합치하는 상기 파일에 격납되어 있는 데이터를 표시 수단에 표시하는 데이터 검색부;를 구비한다.

2. 发明授权

KR101461566B1 기판 처리 시스템 및 군 관리 장치 有权
标题翻译：基板加工系统和集团管理装置
公开(公告)号：KR101461566B1
公开(公告)日：2014-11-13
申请号：KR1020127016060
申请日：2011-02-08
申请人： 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키
发明人： 코야마요시타카 , 이와쿠라히로유키 , 조호야스히로
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/00
CPC分类号： G05B19/41875 , G05B2219/32221 , G05B2219/45031 , H01L21/67109 , H01L21/67276 , H01L21/67769 , Y02P90/22
摘要： 기판을 처리하는 기판 처리 장치와, 기판 처리 장치에 접속되는 군 관리 장치와, 구비하는 기판 처리 시스템으로서, 군 관리 장치는, 기판 처리의 진행 상황 또는 기판 처리 장치의 상태를 나타내는 모니터 데이터를 기판 처리 장치로부터 수신하는 통신 수단; 통신 수단이 수신한 모니터 데이터를 생산 정보 데이터에 관련지어서 독출 가능하게 격납하는 데이터베이스부; 데이터베이스부로부터 모니터 데이터 및 생산 정보 데이터를 독출하고, 모니터 데이터를 기초로 대표값 데이터를 생성하고, 모니터 데이터, 생산 정보 데이터 및 대표값 데이터를 포함하는 파일을 작성하여 독출 가능하게 격납하는 파일 아카이브부; 및 소정의 검색 조건의 입력을 접수해서 파일을 검색하고, 검색 조건에 합치하는 상기 파일에 격납되어 있는 데이터를 표시 수단에 표시하는 데이터 검색부;를 구비한다.

3. 发明授权

KR101549433B1 기판 처리 시스템, 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치의 데이터 축적 방법 有权
标题翻译：基板处理系统基板处理装置和用于基板处理装置的数据的方法
公开(公告)号：KR101549433B1
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：KR1020147016440
申请日：2012-12-05
申请人： 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키
发明人： 코야마요시타카 , 이와쿠라히로유키
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/02
CPC分类号： G05B23/0208 , G05B23/0264 , G05B2219/2602 , G06F11/3003
摘要： 기판처리장치로부터출력되는복수종류의모니터데이터를수신하고, 일시기억부를기억할수 있는데이터기입상한값과, 수신하는모니터데이터가소정의제1 시간내에소정값이상으로변화한총횟수인모니터데이터레이트에기초하여, 소정의제2 시간내에각 종류의모니터데이터를일시기억부에기입하는횟수를산출하여모니터데이터의종류마다할당하고, 상기할당횟수에기초하여수신한모니터데이터를일시기억부에기억하고, 일시기억부에기억한모니터데이터를소정의제3 시간마다판독하고축적기억부에기입한다.
摘要翻译：基板处理系统包括：受监视数据接收单元，其接收多种类型的监视数据; 周期性地存储所监视的数据的临时存储器单元; 监视数据速率检测单元，作为监视数据速率检测每种类型的监视数据在第一时间段期间改变多于预定量的总次数; 监视数据写入分配单元，基于所监视的数据速率和上限，将存储频率分配给每种类型的监视数据; 监视数据写入单元，基于所述存储频率，在所述第二时间段期间将所监视的数据写入所述临时存储器单元; 累积存储单元，存储多个周期的监视数据; 以及累积数据写入单元，用于每三个时间段读取所监视的数据，并将所监视的数据存储在所述累积存储单元中。

4. 发明公开

KR1020140101377A 기판 처리 시스템, 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치의 데이터 축적 방법 有权
标题翻译：基板处理系统，基板处理装置及用于基板处理装置的数据存储方法
公开(公告)号：KR1020140101377A
公开(公告)日：2014-08-19
申请号：KR1020147016440
申请日：2012-12-05
申请人： 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키
发明人： 코야마요시타카 , 이와쿠라히로유키
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/02
CPC分类号： G05B23/0208 , G05B23/0264 , G05B2219/2602 , G06F11/3003
摘要： 기판 처리 장치로부터 출력되는 복수 종류의 모니터 데이터를 수신하고, 일시 기억부를 기억할 수 있는 데이터 기입 상한값과, 수신하는 모니터 데이터가 소정의 제1 시간 내에 소정값 이상으로 변화한 총횟수인 모니터 데이터 레이트에 기초하여, 소정의 제2 시간 내에 각 종류의 모니터 데이터를 일시 기억부에 기입하는 횟수를 산출하여 모니터 데이터의 종류마다 할당하고, 상기 할당 횟수에 기초하여 수신한 모니터 데이터를 일시 기억부에 기억하고, 일시 기억부에 기억한 모니터 데이터를 소정의 제3 시간마다 판독하고 축적 기억부에 기입한다.
摘要翻译：基板处理系统包括：受监视数据接收单元，其接收多种类型的监视数据; 周期性地存储所监视的数据的临时存储器单元; 监视数据速率检测单元，作为监视数据速率检测每种类型的监视数据在第一时间段期间改变多于预定量的总次数; 监视数据写入分配单元，基于所监视的数据速率和上限，将存储频率分配给每种类型的监视数据; 监视数据写入单元，基于所述存储频率，在所述第二时间段期间将所监视的数据写入所述临时存储单元; 累积存储单元，存储多个周期的监视数据; 以及累积数据写入单元，用于每三个时间段读取所监视的数据，并将所监视的数据存储在所述累积存储单元中。

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