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1. 发明授权

KR101872995B1 광각 이미션 필터, 이를 갖는 광학센서 어셈블리, 이를 포함하는 피씨알 시스템, 및 그 제조방법 有权
公开(公告)号：KR101872995B1
公开(公告)日：2018-07-02
申请号：KR1020160164825
申请日：2016-12-06
申请人： (주)옵토레인
发明人： 원준호 , 이도영 , 최경학 , 최안식
IPC分类号： G02B5/22 , G03F7/00 , G03F7/20
CPC分类号： G01N21/6428 , B01L3/50851 , C12Q1/686 , G01J1/0252 , G01J1/0488 , G01J3/0286 , G01J3/4406 , G01J3/443 , G01J3/51 , G01J2003/468 , G01N21/21 , G01N2021/6471 , G02B5/22
摘要： 광각이미션필터는베이스매질, 포토레지스트, 및안료를포함한다. 상기베이스매질은평평한형상으로배치되고투명하며여기광에의해형광이나인광을발생시키지않는재질을포함한다. 상기포토레지스트는상기베이스매질내에배치되고, 열경화, 광경화, 및건조로이루어지는그룹에서선택되는어느하나이상의방법에의해고체상태로고정된다. 상기안료는상기베이스매질내에배치되고, 일정한파장의광을흡수한다. 상기포토레지스트에의해상기여기광을 1차적으로필터링하고상기안료에의해상기여기광을 2차적으로필터링하여상기여기광의입사각과무관하게필터링이가능한광학특성을갖는다.

2. 发明公开

KR1020170070120A 플라즈마 처리 장비에서의 내부 표면 컨디셔닝 평가를 위한 시스템들 및 방법들 审中-实审
标题翻译：用于等离子处理设备内部表面处理评估的系统和方法
公开(公告)号：KR1020170070120A
公开(公告)日：2017-06-21
申请号：KR1020177012596
申请日：2015-09-23
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 박,수남 , 주,위페이 , 수아레스,에드윈씨. , 잉글,니틴케이. , 루보미르스키,드미트리 , 황,자인
IPC分类号： H01J37/32 , C23C16/44 , C23C16/452 , C23C16/455 , C23C16/50 , C23C16/52 , G01J3/02
CPC分类号： H01J37/32972 , C23C16/4405 , C23C16/452 , C23C16/45565 , C23C16/50 , C23C16/52 , G01J3/0218 , G01J3/443 , H01J37/32082 , H01J37/32532 , H01J37/3255
摘要： 실시예에서, 플라즈마소스는내부의제1 천공들을통해하나이상의플라즈마소스가스를이송하도록구성된제1 전극; 제1 전극의주변부주위에서제1 전극과접촉하여배치된절연체; 제2 전극 - 제2 전극은, 제1 전극, 제2 전극및 절연체가플라즈마발생공동을정의하도록제2 전극의주변부가절연체에맞닿은상태로배치됨 - 을포함한다. 제2 전극은플라즈마발생공동으로부터제2 전극을통해프로세스챔버를향하여플라즈마생성물들을이동시키도록구성된다. 플라즈마생성물들을생성하기위해플라즈마발생공동내에서하나이상의플라즈마소스가스로플라즈마를점화시키도록전력공급부가제1 전극및 제2 전극에걸쳐전기전력을제공한다. 제1 전극, 제2 전극및 절연체중 하나는플라즈마로부터의광학신호를제공하는포트를포함한다.
摘要翻译：在一个实施例中，等离子体源包括：第一电极，其被配置为通过第一内部穿孔输送一种或多种等离子体源气体; 绝缘体，所述绝缘体被布置为围绕所述第一电极的外围与所述第一电极接触; 第二电极 - 第二电极包括第一电极，第二电极和第二电极的外围部分，使得绝缘体限定等离子体生成腔。第二电极被配置为通过第二电极将等离子体产物从等离子体生成腔移向处理室。电源在第一电极和第二电极上提供电力以利用等离子体产生腔内的至少一个等离子体源气体点燃等离子体以产生等离子体产物。第一电极，第二电极和绝缘体中的一个包括用于从等离子体提供光信号的端口。

3. 发明公开

KR1020170029892A 튜브형 렌즈, 그 튜브형 렌즈를 포함한 ＯＥＳ 장치, 그 ＯＥＳ 장치를 포함한 플라즈마 모니터링 시스템 및 그 시스템을 이용한 반도체 소자 제조방법 审中-实审
标题翻译：使用等离子体监测系统和系统包括OES装置，该OES装置包括管状透镜的制造半导体器件的方法，和透镜管
公开(公告)号：KR1020170029892A
公开(公告)日：2017-03-16
申请号：KR1020150127034
申请日：2015-09-08
申请人： 삼성전자주식회사 , 연세대학교 산학협력단
发明人： 김인중 , 윤일구
IPC分类号： G02B3/00 , H01J37/32 , G01J3/443 , H01L21/3213 , H01L21/768
CPC分类号： G01J3/0208 , G01J3/0218 , G01J3/0229 , G01J3/024 , G01J3/443 , G02B5/205 , G02B7/021 , H01J37/32972 , H01J37/3299 , H01L21/67253
摘要： 본발명의기술적사상은플라즈마공정에서의플라즈마상태를정밀하게검출하는데이용할수 있는튜브형렌즈, 그튜브형렌즈를포함한 OES 장치, OES 장치를포함한플라즈마모니터링시스템및 그시스템을이용한반도체제조방법을제공한다. 그튜브형렌즈는원통형튜브; 광이입사하는상기튜브의입구쪽에배치되고, 중심영역으로상기광의투과가차단된제1 렌즈; 및상기광이출사하는상기튜브의출구쪽에배치된제2 렌즈;를포함한다.
摘要翻译：本发明的技术特征提供了一种使用等离子监控系统和包括该OES设备，OES设备，包括等离子处理eseoui等离子体状态的筒状透镜的系统中，并且可用于精确地检测镜头管的半导体制造方法。管状透镜包括圆柱形管; 它被设置在使光入射时，在第一透镜和光透射被阻挡在中央区域中的管的入口; 并且第二透镜设置在光出射的管的出口侧。

4. 发明公开

KR1020160117221A 플라즈마 처리 장치, 플라즈마 처리 방법 및 기억 매체 审中-实审
标题翻译：等离子体加工设备等离子体处理方法和储存介质
公开(公告)号：KR1020160117221A
公开(公告)日：2016-10-10
申请号：KR1020160035390
申请日：2016-03-24
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 미우라,시게히로 , 고바야시,다케시 , 스가와라,가츠아키 , 이토,나오히데
IPC分类号： H01J37/32 , G01N21/25 , G01N21/68 , G01J3/02 , G01J3/443
CPC分类号： H01J37/32972 , C23C16/45536 , C23C16/45551 , C23C16/4584 , C23C16/4586 , C23C16/50 , C23C16/52 , H01J37/321 , H01J37/32935 , H01L21/67115 , H01L21/68764 , H01L21/68771 , H01J37/32944 , G01J3/0202 , G01J3/0264 , G01J3/443 , G01N21/25 , G01N21/68
摘要： 본발명은회전테이블(2)에의해웨이퍼(W)를공전시키면서플라즈마처리하는장치에관한것으로, 히터유닛(7)의광에의해밝게되어있는플라즈마발생영역에서의플라즈마의착화를확실하게검출한다. 진공용기(1)의천장면에투과창(300)을설치하고, 광검출부(301)에의해투과창(300)의하방측의플라즈마발생영역의광을검출한다. 그리고 R, G, B의각 광강도의합계에대한 R, G, B의각각의비율을구하고, 또한안테나(83)에고주파전력을공급하기전후에서의각 비율의변화율을구해서그들을합계한값을평가값으로하고, 평가값과임계값을비교하여, 평가값이임계값보다도크면플라즈마의착화가일어나고, 평가값이임계값이하이면플라즈마의착화가일어나지않았다고판단한다.

5. 发明公开

KR1020140130840A 레이저 유도 붕괴 분광법을 이용한 ＣＩＧＳ 박막의 깊이에 따른 성분 정량분석 방법 无效
标题翻译：使用激光诱发断裂光谱法测量CIGS膜中元素的定量深度剖面分析方法
公开(公告)号：KR1020140130840A
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：KR1020130049310
申请日：2013-05-02
申请人： 광주과학기술원
发明人： 정성호 , 김찬규 , 이석희 , 인정환 , 이학재
IPC分类号： G01N21/71
CPC分类号： G01J3/443 , G01N21/718 , Y02E10/541 , Y02P70/521
摘要： 본 발명의 제1 실시예에 따른 CIGS 박막의 깊이에 따른 성분 정량분석 방법은, CIGS 박막에 레이저 빔을 조사하여 플라즈마를 발생시키고, 상기 플라즈마로부터 발생하는 분광선을 얻는 단계, 상기 CIGS 박막의 특정 원소의 분광선들 중 특성이 유사한 분광선들을 선택하는 단계, 및 상기 선택된 분광선들의 강도를 합한 값을 이용하여 성분 조성을 측정하는 단계를 포함할 수 있다.
摘要翻译：根据本发明的实施例，根据CIGS薄膜的深度定量分析物质的方法包括：通过将激光束照射到CIGS薄膜并获得从等离子体产生的光谱线来产生等离子体的步骤; 在CIGS薄膜的特定元素的谱线中选择具有相似特征的谱线的步骤; 以及使用增加所选谱线强度的值来测量物质组成的步骤。

6. 发明授权

KR101386017B1 플라즈마 발생 유도 장치 有权
标题翻译：用于产生等离子体的感应装置
公开(公告)号：KR101386017B1
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：KR1020087008044
申请日：2006-08-30
申请人： 퍼킨엘머, 인크.
发明人： 모리스로에,피터,제이.
IPC分类号： G01N21/73 , G01J3/30
CPC分类号： G01N21/73 , G01J3/443 , G01N21/68 , G01N2201/126 , H01J49/105
摘要： 토치에서 플라즈마를 유지하는 장치가 제공된다. 특정 실시예에서, 장치는 전원에 연결되도록 구성되고, 상기 토치의 방사면을 따라 루프 전류를 제공하도록 구성되고 배열된 제 1 전극을 포함한다. 임의의 실시예에서, 상기 토치의 방사면은 상기 토치의 종축에 실질적으로 수직이다.
플라즈마 발생 장치, 전극, 접지 플레이트, 토치
摘要翻译：提供了一种用于在割炬中维持等离子体的装置。在某些示例中，该装置包括被配置为耦合到电源并被构造和布置成沿着焊炬的径向平面提供回路电流的第一电极。在一些示例中，焊炬的径向平面基本上垂直于焊炬的纵向轴线。

7. 发明公开

KR1020140034835A 유리 유닛 내부에서 가스 성분 농도를 측정하기 위한 방법 및 기기 审中-实审
标题翻译：用于测量玻璃单元内的气体组分浓度的方法和装置
公开(公告)号：KR1020140034835A
公开(公告)日：2014-03-20
申请号：KR1020137033673
申请日：2012-05-18
申请人： 오와이 스파클리케 에이비
发明人： 니라넨카이 , 라우노에르노
IPC分类号： G01N21/39
CPC分类号： G01N21/61 , G01B11/06 , G01J3/443 , G01N21/031 , G01N21/39 , G01N21/55 , G01N21/67 , G01N2021/0396
摘要： 서로에게 떨어져서 위치한 간격 (spacing)을 형성한 적어도 두 개의 유리 시트들을 구비한 유리 유닛의 상기 간격에 포함된 가스 혼합물 내의 가스 성분의 농도를 판별하는 비-침입성 (non-invasive)의 방법이 제공된다. 상기 유리 유닛의 표면에 어떤 각도로 하나 이상의 광 빔 (light beam)들이 인가되며, 이 경우 방사된 광 빔의 파장은 관심대상인 가스 성분의 적어도 하나의 흡수선 (absorption line) 주변에서 또는 그 흡수선을 넘어서 변한다. 상기 간격의 적어도 하나의 표면 또는 반대 측면에 위치한 접촉영역 (interface)을 통한 또는 상기 표면이나 접촉영역으로부터 반사된 상기 광 빔들을 탐지기에 의해서 수집되며 그리고 상기 관심대상 가스 성분의 흡수선에 걸쳐서 상기 전송된 또는 반사된 광 빔들의 강도 (intensity)에서의 비-선형 변이들이 컴포넌트 판별된다. 측정될 상기 가스 성분의 농도는 상기 강도에서의 상기 비-선형 변이들을 기반으로 하여 판별된다.

8. 发明公开

KR1020110133758A 플라즈마 공정 진단 시스템 및 이에 있어서 종료점 검출 방법 및 장치 有权
标题翻译：等离子体工艺诊断系统，检测其端点的方法和装置
公开(公告)号：KR1020110133758A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：KR1020100053331
申请日：2010-06-07
申请人： 명지대학교 산학협력단
发明人： 한승수 , 홍상진 , 전성익 , 김승균 , 김민우
IPC分类号： H01L21/3065 , H01L21/205
CPC分类号： H01J37/32963 , G01J3/443
摘要： PURPOSE: A plasma process diagnosing system, a method for detecting an end point in the same, and a device thereof are provided to detect an end point using a light division analyzing method, a concealing Markov model, and a Viterbi algorithm, thereby accurately detecting whether a plasma process is abnormal and accurately detecting a processing state. CONSTITUTION: A chamber(100) receives a holder(102). A layer made of SiO2 is formed on a wafer(104) arranged on the holder. A positive photo resist or a negative photo resist is formed on the layer. A photo resist layer has a fixed pattern. The photo resist layer is formed on the layer. A sensing unit(110) senses light which is generated during a reaction process.
摘要翻译：目的：提供等离子体处理诊断系统，检测端点的方法及其装置，以使用光分割方法，隐马尔可夫模型和维特比算法来检测终点，由此精确检测等离子体处理是否异常，并准确地检测处理状态。构成：室（100）接收保持器（102）。在设置在保持器上的晶片（104）上形成由SiO 2制成的层。在该层上形成正光阻或负光刻胶。光刻胶层具有固定图案。在该层上形成光刻胶层。感测单元（110）感测在反应过程中产生的光。

9. 发明公开

KR1020110091209A ＬＥＤ 광특성 평가장치, ＬＥＤ 광특성 평가방법 및 이를 활용한 ＬＥＤ 장치의 제조 방법 有权
标题翻译：用于评估LED的光学性能的装置和方法及使用其制造LED装置的方法
公开(公告)号：KR1020110091209A
公开(公告)日：2011-08-11
申请号：KR1020100010926
申请日：2010-02-05
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 손종락 , 박일우
IPC分类号： G01J3/51 , G01J3/443 , H01L33/58
CPC分类号： G01J3/51 , G01J3/443 , H01L33/58
摘要： PURPOSE: Device and method for evaluating optical characteristic of an LED and a method of manufacturing an LED device are provided to reduce color dispersion of an LED device emitting a particular color of light including white and realize desired color coordinates easily and effectively. CONSTITUTION: A device(100) for evaluating optical characteristic of an LED emits white light through an optical converting filter(151) in a process of evaluating light emitting from an LED bare package(50) and measures color coordinates of the emitted white light. The LED bare package is formed by die bonding of an LED chip(10) to a package body(20) and by connecting of a chip to the lead frame(not shown) of the body by wire bonding if necessary. The LED bare package is an intermediate product before phosphor bearing resin(including a bag) is coated. The package body comprises a reflective cup and an LED chip can be mounted in the reflective cup.
摘要翻译：目的：提供用于评估LED的光学特性的装置和方法以及制造LED装置的方法，以减少发射包括白色的特定颜色的LED的LED装置的色散，并且容易且有效地实现所需的色坐标。构成：用于评估LED的光学特性的装置（100）在评估来自LED裸封装（50）的发光的过程中通过光转换滤光器（151）发射白光并测量所发射的白光的颜色坐标。通过LED芯片（10）与封装主体（20）的裸片接合，并且如果需要，通过引线接合将芯片连接到主体的引线框架（未示出）而形成LED裸封装置。 LED裸露包装是在涂覆荧光体轴承树脂（包括袋子）之前的中间产品。包装体包括反射杯，LED芯片可以安装在反射杯中。

10. 发明授权

KR101010928B1 아크 검출 장치 有权
标题翻译：用于检测ARCS的设备
公开(公告)号：KR101010928B1
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：KR1020090098004
申请日：2009-10-15
申请人： (주)화백엔지니어링
发明人： 이강 , 홍상진 , 이상열 , 안종환
IPC分类号： G01J3/46
CPC分类号： G01N21/25 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0264 , G01J3/443 , G01N21/68
摘要： PURPOSE: An arc detection apparatus is provided to immediately and sensitively check the internal state of a processing chamber, thereby monitoring the abnormality of plasma in the processing chamber in real time. CONSTITUTION: An arc detection apparatus comprises an RGB sensor unit(200), a master board(300), an analog to digital converter(231), a color analysis unit(236) and a comparison unit(237). The RGB sensor unit comprises an RGB module(230) which measures the light generated from plasma in a plasma processing chamber. The master board processes signals outputted from the RGB sensor unit and controls the operation of the processing chamber or displays the processing state to outside. The analog to digital converter changes RGB signals detected by the RGB sensor unit into digital signals. The color analysis unit changes the plasma state into numerically quantized RGB optical data. The comparison unit compares RGB optical data transmitted from the color analysis unit with the RGB optical data obtained from the plasma of steady state.
摘要翻译：目的：提供一种电弧检测装置，用于立即敏感地检查处理室的内部状态，从而实时监测处理室中的等离子体的异常。构成：电弧检测装置包括RGB传感器单元（200），主板（300），模数转换器（231），颜色分析单元（236）和比较单元（237）。 RGB传感器单元包括RGB模块（230），其测量在等离子体处理室中由等离子体产生的光。主板处理从RGB传感器单元输出的信号并控制处理室的操作或将处理状态显示在外部。模数转换器将RGB传感器单元检测到的RGB信号变为数字信号。颜色分析单元将等离子体状态改变为数字量化的RGB光学数据。比较单元将从颜色分析单元发送的RGB光学数据与从稳态等离子体获得的RGB光学数据进行比较。

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