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1. 发明授权

KR102327056B1 광학 센서를 사용하는 펄스형 플라즈마 모니터링 有权
公开(公告)号：KR102327056B1
公开(公告)日：2021-11-15
申请号：KR1020167002573
申请日：2015-02-03
IPC分类号： G01J1/42 , G01J1/04 , G01J3/443
摘要： 펄스형플라즈마의모니터링이광학센서를사용하여설명된다. 일예에서, 본발명은, 반도체플라즈마프로세싱챔버에서펄스형플라즈마에의해방출되는광을수신하는단계, 수신된광을펄스형플라즈마의펄스레이트보다더 높은샘플링레이트로샘플링하는단계―샘플링된광은주기적진폭파형을가지며샘플링레이트는진폭파형의기간보다더 높음―, 다수의샘플링된파형들을축적하여평균파형을형성하는단계및 평균파형의특징들을챔버제어툴에송신하는단계를포함한다.

2. 发明授权

KR102082017B1 에어로졸을 수송하기 위한 장치 및 방법 有权
公开(公告)号：KR102082017B1
公开(公告)日：2020-04-16
申请号：KR1020147020359
申请日：2012-11-01
申请人： 엘레멘탈 사이언티픽 레이저스 엘엘씨
发明人： 오'코노어씨아란존패트릭 , 힐리아드셰인
IPC分类号： G01N35/10 , G01N1/22 , G01N1/44 , G01N1/28 , G01J3/443 , H01J49/04

3. 发明授权

KR102089068B1 레이저 유도붕괴 분광분석을 이용한 금속 분류 시스템 및 그것의 동작 방법 有权
公开(公告)号：KR102089068B1
公开(公告)日：2020-03-16
申请号：KR1020180092251
申请日：2018-08-08
申请人： 광주과학기술원
发明人： 황의석 , 김에덴 , 정성호 , 신성호
IPC分类号： G01N21/71 , G01J3/443 , G01N33/20

4. 发明公开

KR1020170033498A 단일 광원을 이용한 통합 레이저 분광 분석 장치 有权
标题翻译：集成激光光谱仪使用单一光源
公开(公告)号：KR1020170033498A
公开(公告)日：2017-03-27
申请号：KR1020150131200
申请日：2015-09-16
申请人： 서울대학교산학협력단
发明人： 여재익 , 최수진 , 최재준
IPC分类号： G01N21/62 , G01N21/65 , G01N21/71 , G01J3/28 , G01J3/44 , G01J3/443
摘要： 본발명은단일광원을이용한통합레이저분광분석장치에관한것으로, 단일광원을이용하여라만신호및 플라즈마신호를동시에획득하는단일광원을이용한통합레이저분광분석장치에있어서, 측정대상물을향하여광을방출하는광원; 상기광원과상기측정대상물사이에마련되어상기광원으로부터방출되는광 영역을확장시키는광 확장부; 상기광 확장부에의해확장된광 영역상에마련되어광의일부를상기측정대상물상에집속시키는렌즈부; 상기측정대상물에서상기렌즈부에의해조사된제1 영역으로부터반사되는플라즈마신호및 상기제1 영역이외의영역인제2 영역으로부터반사되는라만신호중 적어도어느하나획득하는광 검출부;를포함한다.
摘要翻译：本发明涉及使用单一光源的集成激光光谱仪，更具体地涉及使用单个光源的集成激光光谱仪，其使用单个光源同时获取信号和等离子体信号，光源; 设置在所述光源和所述测量对象之间以扩展从所述光源发射的光区域的光扩展部分; 透镜单元，设置在由光学扩展单元扩展的光学区域上，并将一部分光聚焦到待测量的物体上; 以及光电探测器部分，用于获得从透镜部分照射的第一区域反射的等离子体信号和从测量对象中的第一区域外面的第二区域反射的拉曼信号中的至少一个。

5. 发明公开

KR1020170029892A 튜브형 렌즈, 그 튜브형 렌즈를 포함한 ＯＥＳ 장치, 그 ＯＥＳ 장치를 포함한 플라즈마 모니터링 시스템 및 그 시스템을 이용한 반도체 소자 제조방법 审中-实审
标题翻译：使用等离子体监测系统和系统包括OES装置，该OES装置包括管状透镜的制造半导体器件的方法，和透镜管
公开(公告)号：KR1020170029892A
公开(公告)日：2017-03-16
申请号：KR1020150127034
申请日：2015-09-08
申请人： 삼성전자주식회사 , 연세대학교 산학협력단
发明人： 김인중 , 윤일구
IPC分类号： G02B3/00 , H01J37/32 , G01J3/443 , H01L21/3213 , H01L21/768
CPC分类号： G01J3/0208 , G01J3/0218 , G01J3/0229 , G01J3/024 , G01J3/443 , G02B5/205 , G02B7/021 , H01J37/32972 , H01J37/3299 , H01L21/67253
摘要： 본발명의기술적사상은플라즈마공정에서의플라즈마상태를정밀하게검출하는데이용할수 있는튜브형렌즈, 그튜브형렌즈를포함한 OES 장치, OES 장치를포함한플라즈마모니터링시스템및 그시스템을이용한반도체제조방법을제공한다. 그튜브형렌즈는원통형튜브; 광이입사하는상기튜브의입구쪽에배치되고, 중심영역으로상기광의투과가차단된제1 렌즈; 및상기광이출사하는상기튜브의출구쪽에배치된제2 렌즈;를포함한다.
摘要翻译：本发明的技术特征提供了一种使用等离子监控系统和包括该OES设备，OES设备，包括等离子处理eseoui等离子体状态的筒状透镜的系统中，并且可用于精确地检测镜头管的半导体制造方法。管状透镜包括圆柱形管; 它被设置在使光入射时，在第一透镜和光透射被阻挡在中央区域中的管的入口; 并且第二透镜设置在光出射的管的出口侧。

6. 发明公开

KR1020160117221A 플라즈마 처리 장치, 플라즈마 처리 방법 및 기억 매체 审中-实审
标题翻译：等离子体加工设备等离子体处理方法和储存介质
公开(公告)号：KR1020160117221A
公开(公告)日：2016-10-10
申请号：KR1020160035390
申请日：2016-03-24
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 미우라,시게히로 , 고바야시,다케시 , 스가와라,가츠아키 , 이토,나오히데
IPC分类号： H01J37/32 , G01N21/25 , G01N21/68 , G01J3/02 , G01J3/443
CPC分类号： H01J37/32972 , C23C16/45536 , C23C16/45551 , C23C16/4584 , C23C16/4586 , C23C16/50 , C23C16/52 , H01J37/321 , H01J37/32935 , H01L21/67115 , H01L21/68764 , H01L21/68771 , H01J37/32944 , G01J3/0202 , G01J3/0264 , G01J3/443 , G01N21/25 , G01N21/68
摘要： 본발명은회전테이블(2)에의해웨이퍼(W)를공전시키면서플라즈마처리하는장치에관한것으로, 히터유닛(7)의광에의해밝게되어있는플라즈마발생영역에서의플라즈마의착화를확실하게검출한다. 진공용기(1)의천장면에투과창(300)을설치하고, 광검출부(301)에의해투과창(300)의하방측의플라즈마발생영역의광을검출한다. 그리고 R, G, B의각 광강도의합계에대한 R, G, B의각각의비율을구하고, 또한안테나(83)에고주파전력을공급하기전후에서의각 비율의변화율을구해서그들을합계한값을평가값으로하고, 평가값과임계값을비교하여, 평가값이임계값보다도크면플라즈마의착화가일어나고, 평가값이임계값이하이면플라즈마의착화가일어나지않았다고판단한다.

7. 发明公开

KR1020110091209A ＬＥＤ 광특성 평가장치, ＬＥＤ 광특성 평가방법 및 이를 활용한 ＬＥＤ 장치의 제조 방법 有权
标题翻译：用于评估LED的光学性能的装置和方法及使用其制造LED装置的方法
公开(公告)号：KR1020110091209A
公开(公告)日：2011-08-11
申请号：KR1020100010926
申请日：2010-02-05
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 손종락 , 박일우
IPC分类号： G01J3/51 , G01J3/443 , H01L33/58
CPC分类号： G01J3/51 , G01J3/443 , H01L33/58
摘要： PURPOSE: Device and method for evaluating optical characteristic of an LED and a method of manufacturing an LED device are provided to reduce color dispersion of an LED device emitting a particular color of light including white and realize desired color coordinates easily and effectively. CONSTITUTION: A device(100) for evaluating optical characteristic of an LED emits white light through an optical converting filter(151) in a process of evaluating light emitting from an LED bare package(50) and measures color coordinates of the emitted white light. The LED bare package is formed by die bonding of an LED chip(10) to a package body(20) and by connecting of a chip to the lead frame(not shown) of the body by wire bonding if necessary. The LED bare package is an intermediate product before phosphor bearing resin(including a bag) is coated. The package body comprises a reflective cup and an LED chip can be mounted in the reflective cup.
摘要翻译：目的：提供用于评估LED的光学特性的装置和方法以及制造LED装置的方法，以减少发射包括白色的特定颜色的LED的LED装置的色散，并且容易且有效地实现所需的色坐标。构成：用于评估LED的光学特性的装置（100）在评估来自LED裸封装（50）的发光的过程中通过光转换滤光器（151）发射白光并测量所发射的白光的颜色坐标。通过LED芯片（10）与封装主体（20）的裸片接合，并且如果需要，通过引线接合将芯片连接到主体的引线框架（未示出）而形成LED裸封装置。 LED裸露包装是在涂覆荧光体轴承树脂（包括袋子）之前的中间产品。包装体包括反射杯，LED芯片可以安装在反射杯中。

8. 发明授权

KR100908135B1 Digital gamma ray spectroscopy method using a semiconductor detector 无效
公开(公告)号：KR100908135B1
公开(公告)日：2009-07-16
申请号：KR20070108137
申请日：2007-10-26
IPC分类号： G01J1/44 , G01J3/443
摘要： 본 발명은 반도체 검출기를 사용한 감마선 분광학 방법을 제공한다. 상기 분광학 방법은 반도체 검출기의 감마선 반응에 의하여 발생된 전류 신호의 파형을 디지털 신호로 측정하여 기록하는 신호 기록 단계와, 상기 측정된 디지털 신호로부터 상기 감마선의 반응 에너지를 취득하는 반응 에너지 취득 단계와, 상기 측정된 디지털 신호로부터 상기 감마선의 반응 위치 및 반응 시간을 취득 하는 반응 위치/시간 취득 단계를 포함함으로써, 단일 전극을 사용하여 아날로그의 신호 처리과정 없이 감마선의 분광학적 반응 에너지와 위치 및 시간과 같은 반응 정보를 용이하게 도출할 수 있다.

9. 发明授权

KR100809629B1 조합화학적 기법에 의한 신촉매, 재료 및 바이오분자구조분석용 공초점 라만／자외선-가시광／형광 분광기 失效
标题翻译：新型催化剂，材料和生物分子的组合拉曼/ UV-VIS /荧光光谱分析
公开(公告)号：KR100809629B1
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：KR1020060083697
申请日：2006-08-31
申请人： 한국과학기술원
发明人： 우성일 , 노점임 , 김기웅 , 박용기 , 서영덕 , 김동현
IPC分类号： G01J3/443 , G01J3/42 , G01J1/42
摘要： A confocal Raman/UV-Vis/fluorescence spectroscopy for combinatorial structural analysis of novel catalysts, materials, and biomolecules is provided to effectively perform structure analysis and quantitative analysis of samples. A confocal Raman/UV-Vis/fluorescence spectroscopy for combinatorial structural analysis of novel catalysts, materials, and biomolecules includes an argon laser(101), a diode laser(134), an XYZ stage(132), a sample chamber(133), three monochrome light devices(123), an optical amplification tube(131), and a CCD detector(106). The argon laser has a wavelength of 488 to 514nm. The diode laser has a wavelength of 785nm. The XYZ stage is automatically controlled by a computer. The sample chamber includes an objective lens having various magnifications. The optical amplification tube and the CCD detector detect the signals.
摘要翻译：提供了一种用于组合结构分析新型催化剂，材料和生物分子的共焦拉曼/ UV-Vis /荧光光谱，有效地进行了样品的结构分析和定量分析。用于新型催化剂，材料和生物分子的组合结构分析的共焦拉曼/ UV-Vis /荧光光谱包括氩激光（101），二极管激光器（134），XYZ级（132），样品室（133），三个单色光装置（123），光放大管（131）和CCD检测器（106）。氩激光器的波长为488〜514nm。二极管激光器的波长为785nm。 XYZ平台由计算机自动控制。样品室包括具有各种放大率的物镜。光放大管和CCD检测器检测信号。

10. 发明公开

KR860001343A 화염성분 분석기 失效
公开(公告)号：KR860001343A
公开(公告)日：1986-02-26
申请号：KR850004833
申请日：1985-07-05
IPC分类号： G01J1/42 , G01J1/04 , G01J3/02 , G01J3/28 , G01J3/443 , G01J5/00 , G01J5/60
摘要： 내용없음

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