基本信息:
- 专利标题： 레이저 유도 붕괴 분광법을 이용한 ＣＩＧＳ 박막의 깊이에 따른 성분 정량분석 방법
- 专利标题（英）：Method of quantitative depth profile analysis of elements in CIGS film using laser induced breakdown spectroscopy
- 专利标题（中）：使用激光诱发断裂光谱法测量CIGS膜中元素的定量深度剖面分析方法
- 申请号：KR1020130049310 申请日：2013-05-02
- 公开(公告)号：KR1020140130840A 公开(公告)日：2014-11-12
- 发明人： 정성호 , 김찬규 , 이석희 , 인정환 , 이학재
- 申请人： 광주과학기술원
- 申请人地址： 광주광역시 북구 첨단과기로 *** (오룡동)
- 专利权人： 광주과학기술원
- 当前专利权人： 광주과학기술원
- 当前专利权人地址： 광주광역시 북구 첨단과기로 *** (오룡동)
- 代理人： 특허법인우인
- 主分类号： G01N21/71
- IPC分类号： G01N21/71
摘要：
본 발명의 제1 실시예에 따른 CIGS 박막의 깊이에 따른 성분 정량분석 방법은, CIGS 박막에 레이저 빔을 조사하여 플라즈마를 발생시키고, 상기 플라즈마로부터 발생하는 분광선을 얻는 단계, 상기 CIGS 박막의 특정 원소의 분광선들 중 특성이 유사한 분광선들을 선택하는 단계, 및 상기 선택된 분광선들의 강도를 합한 값을 이용하여 성분 조성을 측정하는 단계를 포함할 수 있다.
摘要（中）：
根据本发明的实施例，根据CIGS薄膜的深度定量分析物质的方法包括：通过将激光束照射到CIGS薄膜并获得从等离子体产生的光谱线来产生等离子体的步骤; 在CIGS薄膜的特定元素的谱线中选择具有相似特征的谱线的步骤; 以及使用增加所选谱线强度的值来测量物质组成的步骤。
摘要（英）：
Component quantitative analysis method according to the depth of the CIGS thin film according to the first embodiment of the present invention is irradiated with a laser beam to the CIGS thin film to generate a plasma, to obtain a minute beam generated from the plasma, certain of the CIGS thin film the method comprising the characteristics of the minute light beam of an element selected similar minutes rays, and may include the step of measuring a composition component by using a sum of the intensity of the selected light minutes.
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N21/00 | 利用光学手段，即利用红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料 |
| --------G01N21/01 | .便于进行光学测试的装置或仪器 |
| ----------G01N21/71 | ..热激发的 |