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1. 发明公开

KR1020170071426A 가스 유량 감시 방법 및 가스 유량 감시 장치 审中-实审
标题翻译：气体流量监测方法和气体流量监测装置
公开(公告)号：KR1020170071426A
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：KR1020160168414
申请日：2016-12-12
申请人： 시케이디 가부시키가이샤 , 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 나카다아키코 , 니시무라야스노리 , 이토미노루 , 니시카와마사미 , 하야시시게유키 , 이에키아츠시
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67 , F17C13/04 , F17C13/02
CPC分类号： C23C16/52 , C23C16/45561 , G01F1/34 , G01F3/36 , G01F3/38
摘要： 프로세스에영향을미치는일 없이, 프로세스가스의유량을인라인으로감시할수 있는가스유량감시방법및 가스유량감시장치를제공하는것이다. 프로세스가스공급원(130)으로부터의프로세스가스를유량제어하여소정의프로세스챔버(140)에공급하는 MFC(유량제어기기)(10)와, 상기 MFC(10)의상류측에배치되는개시차단밸브(21)와, 상기개시차단밸브(21)와상기 MFC(10) 사이에배치되는압력계(23)를갖고, 상기개시차단밸브(21)를폐쇄하여상기 MFC(10)의상류측에있어서의압력의강하를상기압력계(23)로측정함으로써상기 MFC(10)의유량을측정하고, 그후, 상기개시차단밸브(21)를개방함으로써, 상기 MFC(10)의유량을감시하는가스유량감시방법에있어서, 상기개시차단밸브(21)를개방하기전에, 상기 MFC(10)를온 상태로부터오프상태로한다.
摘要翻译：一种能够在不影响工艺的情况下在线监测工艺气体的流量的气体流量监测方法和气体流率监测装置。处理MFC（流量控制装置），以从气体供给源130流动的工艺气体的速度控制用于提供预定处理腔室140（10），开始被设置在MFC 10，服装ryucheuk关闭阀（21 ）和截止阀21和MFC（10）的开始具有根据MFC（10）服装ryucheuk在关闭所公开的切断阀21的压力设置在降之间的压力计23 根据由测量的气体流率监测方法由压力计23次测量的MFC的流率（10），然后，通过打开所公开的截止阀21，并监测MFC的流率（10），在开始关闭阀21打开之前，MFC10从暖态切断。

2. 发明公开

KR1020040033973A 기계적 동기식 개폐수단을 구비하는 시간식 유량 제어장치 失效
标题翻译：具有机械同步类型打开/关闭单元的流量控制装置
公开(公告)号：KR1020040033973A
公开(公告)日：2004-04-28
申请号：KR1020020063281
申请日：2002-10-16
申请人： 장영철
发明人： 장영철
IPC分类号： G01F1/68
CPC分类号： G01F3/36
摘要： PURPOSE: A flow rate control apparatus having a mechanical synchronous type opening/closing unit is provided to improve reliability of an article by minimizing a control error of the flow rate control apparatus. CONSTITUTION: A flow rate control apparatus includes a plurality of reservoirs(1a), first opening/closing unit(13), a second opening/closing unit(3) and a control section. The flow rate control apparatus also has a pressure adjusting unit, a damping reservoir, and resistance valves. The reservoirs(1a) are aligned in a row. The first opening/closing unit(13) opens/closes an intake port of the reservoir(1a). The second opening/closing unit(3) opens/closes an exhaust port of the reservoir(1a). The first and second opening/closing units(13,3) are operated by means of a motor.
摘要翻译：目的：提供具有机械同步型打开/关闭单元的流量控制装置，以通过使流量控制装置的控制误差最小化来提高制品的可靠性。构成：流量控制装置包括多个储存器（1a），第一打开/关闭单元（13），第二打开/关闭单元（3）和控制部分。流量控制装置还具有压力调节单元，阻尼储存器和电阻阀。储存器（1a）排成一行。第一打开/关闭单元（13）打开/关闭储存器（1a）的进气口。第二打开/关闭单元（3）打开/关闭储存器（1a）的排气口。第一和第二打开/关闭单元（13,3）通过马达操作。

3. 发明公开

KR1020100047236A 상이한 체적을 제공할 수 있는 질량 유동 검증기 및 그 방법 有权
标题翻译：提供不同体积的大容量流量验证器及相关方法
公开(公告)号：KR1020100047236A
公开(公告)日：2010-05-07
申请号：KR1020107001937
申请日：2008-06-23
申请人： 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드
发明人： 딩,준후아 , 자카르,카베,에이치.
IPC分类号： G01F25/00 , G01F1/76 , H01L21/66
CPC分类号： G01F3/36 , G01F7/00 , G01F15/002 , G01F25/0038 , G01F25/0053
摘要： Embodiments of the present disclosure are directed to systems, methods, and apparatus, including software implementation, useful for high-precision measurement of mass flow rate over a large range of flows by using multiple volumes, each having a different and selected size. Use of a single manometer can facilitate reduced cost, and the use of multiple chamber volumes that are sized according to sub-flow ranges within the overall range of the mass flow verifier, or a related device under test, can provide high accuracy while reducing deleterious effects of noise in the flow measurement.
摘要翻译：本公开的实施例涉及包括软件实现的系统，方法和装置，其可用于通过使用多个体积（每个具有不同和选择的尺寸）在大范围的流量上高质量流量的高精度测量。单个压力计的使用可以有助于降低成本，并且根据质量流量验证器或相关的被测器件的整个范围内的亚流量范围确定的多腔室体积的使用可以提供高精度，同时减少有害的噪声在流量测量中的影响。

4. 发明授权

KR100446708B1 기계적 동기식 개폐수단을 구비하는 시간식 유량 제어장치 失效
标题翻译： 기계적동기식개폐수단을구비하는시간식유량제어장치
公开(公告)号：KR100446708B1
公开(公告)日：2004-09-01
申请号：KR1020020063281
申请日：2002-10-16
申请人： 장영철
发明人： 장영철
IPC分类号： G01F1/68
CPC分类号： G01F3/36
摘要： A mechanical synchronized time-based flow controller includes at least one reservoir (1a, 1b); at least one inlet valve (13); at least one outlet valve (3); and a control unit controlling opening/closing cycle rates of the inlet valve and the outlet valve and/or mass/volume of a fluid stored and discharged at the reservoir (1a, 1b) per unit opening/closing cycle of the inlet valve and the outlet valve, to control a mass/volume flow rate of the outflow fluid from the reservoir. The inlet valve and the outlet valve is provided at a constant rate with such a amount of a driving force that a periodic time of the opening/closing cycle of the inlet valve (13) equals a periodic time of the opening/closing cycle of the outlet valve (3), and the inlet-open period of the inlet valve and the outlet-open period of the outlet valve come separately from each other such that the inlet valve is opened when the outlet valve is in a closed state and the outlet valve is opened when the inlet valve is in a closed state.
摘要翻译：机械同步的基于时间的流量控制器包括至少一个贮存器（1a，1b）; 至少一个入口阀（13）; 至少一个出口阀（3）; 以及控制单元，其控制所述入口阀和所述出口阀的打开/关闭循环速率和/或在所述入口阀和所述入口阀的每单位打开/关闭循环在所述贮存器（1a，1b）处存储和排出的流体的质量/ 出口阀，以控制来自储存器的流出流体的质量/体积流量。入口阀和出口阀以恒定的速率设置，使得入口阀（13）的打开/关闭周期的周期时间等于该入口阀（13）的打开/关闭周期的周期时间（3），并且进口阀的入口打开时间段和出口阀的出口打开时间段彼此分开，使得当出口阀处于关闭状态时入口阀打开，并且出口阀当进气阀处于关闭状态时阀打开。

5. 发明授权

KR101425007B1 상이한 체적을 제공할 수 있는 질량 유동 검증기 및 그 방법 有权
标题翻译：提供不同体积的大容量流量验证器及相关方法
公开(公告)号：KR101425007B1
公开(公告)日：2014-08-01
申请号：KR1020107001937
申请日：2008-06-23
申请人： 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드
发明人： 딩,준후아 , 자카르,카베,에이치.
IPC分类号： G01F25/00 , G01F1/76 , H01L21/66
CPC分类号： G01F3/36 , G01F7/00 , G01F15/002 , G01F25/0038 , G01F25/0053
摘要： 본 발명의 실시형태는, 상이한 그리고 선택된 크기를 각각 가지는 복수의 체적들을 이용함으로써 넓은 유동 범위에 걸친 질량 유량의 고정밀 측정을 위하여 유용한 시스템, 방법, 및 장치에 관한 것이다. 단일 마노미터의 이용은 비용 절감을 가능하게 하며, 관련 DUT(device under test) 또는 질량 유동 검증기의 전체 범위 내의 하위-유동 범위에 따른 크기를 가지는 복수의 챔버 체적의 이용은 고정밀도를 제공하는 동시에 유동 측정에 있어서의 노이즈의 유해한 영향을 감소시킨다.

6. 发明授权

KR100494971B1 유체 이송 시스템, 및 유체 공급 탱크로부터 유체 유출 라인으로 유체를 이송하는 방법 失效
标题翻译：液体转移系统以及用于将液体从液体供给罐转移到液体输出管线的方法
公开(公告)号：KR100494971B1
公开(公告)日：2005-06-14
申请号：KR1019997005602
申请日：1997-12-19
申请人： 체만드 코포레이션
发明人： 스켈,다니엘
IPC分类号： F04F10/00
CPC分类号： B67D7/007 , B67D7/0272 , B67D7/78 , F04F10/00 , G01F3/36 , G01F11/28 , Y10T137/0396 , Y10T137/2509 , Y10T137/2733 , Y10T137/2842 , Y10T137/2863 , Y10T137/3124 , Y10T137/469 , Y10T137/4807
摘要： 본 발명의 유체 이송 시스템(10)은 유체 공급 탱크(14)와, 적어도 두 개의 가압 유체 지지 용기(34,42)를 포함한다. 상기 유체 지지 용기(34,42)는 상기 공급 탱크(14) 아래 위치되고, 유체 공급 라인(20)은 상기 공급 탱크(14)를 각각의 상기 용기(34,42)에 연결시킨다. 상기 유체 공급 라인(20)은 탱크(14)로부터 유체를 각각의 상기 용기(34,42)로 이동시키기 위해 탱크(14)로부터 각각의 상기 용기(34,42)에 사이펀 효과 기능을 갖고 작동한다. 각각의 상기 용기(34,42)들은 번갈아가면서 유체가 채워지고, 가압되어 유체를 유출시킴으로써, 하나의 용기에 유체가 채워지는 동안에 다른 용기에는 유체가 유출되어, 일정한 제어가능한 유체 유량을 달성할수 있다. 양호한 실시예에서, 유체 순도를 높이기 위해 내부 라인 필터와, 완전한 혼합을 이루기 위해 시스템(10)내에서 유체를 일정하게 이동시키거나 리사이클을 위해 유체 리사이클링 라인을 포함한다.

7. 发明公开

KR1020100087467A 가스 홀더 운영 방법 및 그 장치 失效
标题翻译：气体保持器及其装置的操作方法
公开(公告)号：KR1020100087467A
公开(公告)日：2010-08-05
申请号：KR1020090006475
申请日：2009-01-28
申请人： 현대제철 주식회사
发明人： 조광희 , 홍규표
IPC分类号： C21C5/40 , F27D17/00 , G01F3/00
CPC分类号： C21C5/40 , C21C2100/06 , F27D17/001 , G01F3/36
摘要： PURPOSE: A method and an apparatus for operating a gas holder are provided to ensure stable operation of a gas holder and efficiently supply by-product gas to a generating station by varying the supply amount of by-product gas. CONSTITUTION: A method for operating a gas holder comprises the steps of: measuring the holder level of a gas holder(10) which temporarily stores the by-product gas, determining the control direction of the holder level by comparing the measured holder level with a set holder level, adjusting the holder level of the gas holder along the determined control direction, calculating the amount of by-product gas provided to a generating station(20) based on the adjusted holder level, and providing information on the by-product gas supply amount.
摘要翻译：目的：提供一种用于操作气体保持器的方法和装置，以确保气体保持器的稳定运行，并且通过改变副产物气体的供给量来有效地向发电站提供副产物气体。构成：用于操作气体保持器的方法包括以下步骤：测量暂时存储副产物气体的气体保持器（10）的保持器水平，通过将所测量的夹持器水平与根据所确定的控制方向调整气体保持器的保持器水平，基于经调整的保持器水平计算提供给发生站（20）的副产物气体量，并提供关于副产物气体的信息供应量

8. 发明公开

KR1020080089000A 중량센서를 구비한 유량측정장치 无效
标题翻译：配有重量传感器的质量流量计
公开(公告)号：KR1020080089000A
公开(公告)日：2008-10-06
申请号：KR1020070031944
申请日：2007-03-30
申请人： 서의섭 , 정재형
发明人： 정재형 , 서의섭
IPC分类号： G01F3/36 , G01F11/28
CPC分类号： G01F9/003 , G01F3/36 , G01F11/28 , G01G11/003
摘要： A flow meter employing a weight sensor is provided to measure the amount of oil accurately by measuring the weight of oil excluding gas included in the oil. A flow meter employing a weight sensor comprises a cabinet(100) and a measuring unit(200). The measuring unit measures the weight of oil excluding gas included in the oil. The measuring unit includes an inlet part(210), a storage part(220), a blocking valve, an outlet part(250), a gas removing part(260), a weight sensor(230), a control part(270), and an output part(280) outputting information to the control part. The blocking valve opens and closes an outlet pipe to block discharge of oil. The gas removing part removes gas introduced with the oil. The control part controls the gas removing part and the blocking valve by receiving a signal from the weight sensor.
摘要翻译：提供采用重量传感器的流量计，通过测量除油中所含的气体之外的油的重量来精确测量油量。采用重量传感器的流量计包括机壳（100）和测量单元（200）。测量单位测量油中包含的气体的重量。测量单元包括入口部分（210），存储部分（220），截止阀，出口部分（250），气体去除部分（260），重量传感器（230），控制部分（270），以及向控制部输出信息的输出部（280）。阻塞阀打开和关闭出口管以阻止油排放。气体除去部分除去导入油的气体。控制部通过接收来自重量传感器的信号来控制气体去除部和截止阀。

9. 发明公开

KR1020000062259A 유체 이송 시스템, 및 유체 공급 탱크로부터 유체 유출 라인으로 유체를 이송하는 방법 失效
标题翻译：液体转移系统
公开(公告)号：KR1020000062259A
公开(公告)日：2000-10-25
申请号：KR1019997005602
申请日：1997-12-19
申请人： 체만드 코포레이션
发明人： 스켈,다니엘
IPC分类号： F04F10/00
CPC分类号： B67D7/007 , B67D7/0272 , B67D7/78 , F04F10/00 , G01F3/36 , G01F11/28 , Y10T137/0396 , Y10T137/2509 , Y10T137/2733 , Y10T137/2842 , Y10T137/2863 , Y10T137/3124 , Y10T137/469 , Y10T137/4807
摘要： 본발명의유체이송시스템(10)은유체공급탱크(14)와, 적어도두개의가압형유체지지베셀(34,42)을포함한다. 상기유체지지베셀(34,42)은상기공급탱크(14)밑에위치되고, 유체공급라인(20)은상기공급탱크(14)를각 베셀(34,42)에연결시킨다. 상기유체공급라인(20)은탱크(14)로부터유체를각 베셀(34,42)로이동시키기위해탱크(14)로부터각 베셀(34,42)에사이펀효과기능을갖고작동한다. 각베셀(34,42)들은번갈아가면서유체가채워지고, 가압되어유체를유출시키므로서, 하나의베셀에유체가채워지는동안에다른베셀에는유체가유출되어, 일정한제어가능한유체유량을달성할수있다. 양호한실시예에서, 유체순도를높이기위해내부라인필터와, 완전한혼합을이루기위해시스템(10)내에서유체를일정하게이동시키거나재사이클을위해유체리사이클링라인을포함한다.

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