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1. 发明公开

KR1020170071426A 가스 유량 감시 방법 및 가스 유량 감시 장치 审中-实审
标题翻译：气体流量监测方法和气体流量监测装置
公开(公告)号：KR1020170071426A
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：KR1020160168414
申请日：2016-12-12
申请人： 시케이디 가부시키가이샤 , 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 나카다아키코 , 니시무라야스노리 , 이토미노루 , 니시카와마사미 , 하야시시게유키 , 이에키아츠시
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67 , F17C13/04 , F17C13/02
CPC分类号： C23C16/52 , C23C16/45561 , G01F1/34 , G01F3/36 , G01F3/38
摘要： 프로세스에영향을미치는일 없이, 프로세스가스의유량을인라인으로감시할수 있는가스유량감시방법및 가스유량감시장치를제공하는것이다. 프로세스가스공급원(130)으로부터의프로세스가스를유량제어하여소정의프로세스챔버(140)에공급하는 MFC(유량제어기기)(10)와, 상기 MFC(10)의상류측에배치되는개시차단밸브(21)와, 상기개시차단밸브(21)와상기 MFC(10) 사이에배치되는압력계(23)를갖고, 상기개시차단밸브(21)를폐쇄하여상기 MFC(10)의상류측에있어서의압력의강하를상기압력계(23)로측정함으로써상기 MFC(10)의유량을측정하고, 그후, 상기개시차단밸브(21)를개방함으로써, 상기 MFC(10)의유량을감시하는가스유량감시방법에있어서, 상기개시차단밸브(21)를개방하기전에, 상기 MFC(10)를온 상태로부터오프상태로한다.
摘要翻译：一种能够在不影响工艺的情况下在线监测工艺气体的流量的气体流量监测方法和气体流率监测装置。处理MFC（流量控制装置），以从气体供给源130流动的工艺气体的速度控制用于提供预定处理腔室140（10），开始被设置在MFC 10，服装ryucheuk关闭阀（21 ）和截止阀21和MFC（10）的开始具有根据MFC（10）服装ryucheuk在关闭所公开的切断阀21的压力设置在降之间的压力计23 根据由测量的气体流率监测方法由压力计23次测量的MFC的流率（10），然后，通过打开所公开的截止阀21，并监测MFC的流率（10），在开始关闭阀21打开之前，MFC10从暖态切断。

2. 发明公开

KR1020170042227A 유체 제어 밸브 및 그 제어 프로그램을 기록한 기록 매체 审中-实审
标题翻译：流体控制阀及其记录介质记录控制程序
公开(公告)号：KR1020170042227A
公开(公告)日：2017-04-18
申请号：KR1020160124060
申请日：2016-09-27
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 구니타다이치 , 이에키아츠시
IPC分类号： F16K1/34 , F16K31/00 , F16K37/00 , G05D7/06
CPC分类号： F16K37/0083 , F16K1/12 , F16K31/007 , F16K37/0041 , F16K37/0091 , G05D7/0635
摘要： 본발명은, 유저의오해를해소하여사용감을좋게하는것이며, 밸브시트(31)와, 밸브시트(31)에대해서접리가능하게마련된밸브체(32)와, 밸브체(32)를접리방향으로이동시키는액추에이터(33)와, 밸브시트(31)에대한밸브체(32)의상대위치에따른값을검지하는위치정보검지부(7)와, 밸브체(32)의개방시작위치(X)에서위치정보검지부(7)에의해얻어진위치정보에상관없이, 상기개방시작위치를위치제로로하는위치출력부(42)를구비한다.
摘要翻译：阀座（31），以能够相对于阀座（31）折叠的方式设置的阀芯（32），阀体位置信息检测单元7，用于根据阀体32相对于阀座31的位置来检测值; 以及位置输出部分（42），用于将开启开始位置设置为零，而与由信息检测部分（7）获得的位置信息无关。

3. 发明公开

KR1020170135708A 유량 제어 장치 및 유량 제어 장치용 프로그램이 기억된 기억 매체 审中-实审
标题翻译：一种存储用于流量控制装置和流量控制装置的程序的存储介质
公开(公告)号：KR1020170135708A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：KR1020170064905
申请日：2017-05-25
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 다키지리고타로 , 이에키아츠시 , 다나카유키
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： G01F1/6965 , F16K37/005 , F16K37/0091 , G01F15/005 , G05B13/021 , G05D7/0629
摘要： 뛰어난응답성을가지면서도, 경우에따라서는, 기존의유량제어장치와등가인응답성이되도록, 오퍼레이터가용이하게다운튜닝할수 있도록한다. 측정유량이목표유량에가까워지도록, 유체제어밸브(3)를피드백제어하는유량제어장치(100)에있어서, 설정하고싶은응답지연을나타내는값인응답지연설정치를입력하는응답지연입력부(43)와, 상기피드백제어에있어서의응답지연을, 상기응답지연설정치에따라발생시키는응답지연생성부(46)를구비하도록했다.
摘要翻译：在一些情况下，操作员可以容易地调低响应度，使其具有与现有流量控制装置相同的响应度，同时具有出色的响应。接近测量流量的目标流量，流体控制阀（3）的反馈控制流量控制装置（100），其特征在于，用于输入代表一个响应延迟响应延迟设置的设置和值的响应延迟输入部43要在其中一个和值以及响应延迟发生器（46），用于根据响应延迟设定值在反馈控制中产生响应延迟。

4. 发明公开

KR1020160016626A 유량 제어 장치, 유량 제어 장치용 프로그램을 기억한 기억 매체 및 유량 제어 방법 审中-实审
标题翻译：流量控制装置，流量控制装置和流量控制方法的储存中存储程序
公开(公告)号：KR1020160016626A
公开(公告)日：2016-02-15
申请号：KR1020150106070
申请日：2015-07-27
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 다키지리고타로 , 다나카유키 , 이에키아츠시
IPC分类号： H01L21/02 , G05D7/00
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7761
摘要： 압력변동을검지하기위한부가적인센서를마련하지않고, 밸브의상류측에서압력변동이생겼다고하더라도그 영향이상기밸브의하류측에는나타나지않도록하여, 설정유량치로유량을계속안정시킬수 있는유량제어장치를제공하기위해서, 밸브(3)와, 유량센서(2)와, 설정유량치와상기유량센서(2)로측정되는측정유량치사이의편차와, 설정되어있는제어계수에기초하여, 상기편차가작아지도록상기밸브를제어하는밸브제어부(41)와, 상기밸브(3)의상류측에서외란압력상승이생겼을경우에있어서, 개도의감소량에상당하는외란유량감소량과, 상기밸브의전후에있어서의차압의증가량에상당하는외란유량증가량이, 균형을이루도록상기밸브제어부의상기제어계수를설정하는제어계수설정부(44)를구비한다.
摘要翻译：提供了一种没有设置用于检测压力波动的附加传感器的流量控制装置，并且即使在阀的上游侧发生压力波动时，也不会在阀的下游侧产生影响，并且可以将流量连续地稳定到设定的流量值。流量控制装置包括：阀（3）; 流量传感器（2）; 阀控制单元，其根据由流量传感器（2）测量的设定流量值和测量流量值之间的偏差来控制阀门减小偏差;以及预设控制系数; 以及控制系数设定单元（44），其在所述阀（3）的上游侧发生扰动压力上升时，设定所述阀控制单元的控制系数，使得与减少量对应的扰动流量减少量的开度和扰动流量增加量对应于阀门之前和之后的差压增加量可以平衡。

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