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1. 发明授权

KR101790358B1 설정가능한 능동 저크 제어 有权
标题翻译：可配置的主动加加速度控制
公开(公告)号：KR101790358B1
公开(公告)日：2017-10-26
申请号：KR1020127009342
申请日：2010-09-21
申请人： 이턴 코포레이션
发明人： 게히로프와드엘.
IPC分类号： F15B21/04 , E02F9/22 , F15B21/00 , B62D5/07 , F15B13/02
CPC分类号： E02F9/2207 , F15B21/008 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/7759 , Y10T137/7762
摘要： 기계장치(20)의유압시스템(22)에서저크를제한하기위한방법은최대압력을규정하는것을포함한다. 유압유체의출력압력은유압밸브(28)의작업포트(32)로부터시간에걸쳐지속적으로측정되어출력압력율을결정한다. 측정된출력압력율은최대압력율과비교된다. 측정딘출력압력율이최대압력율보다클 때요청된압력율이조정되어밸브(28)를통한유압유체의흐름율의변화에응해발생되는압력차이를감소시켜, 유압시스템(22)의가속또는감속을제한하여기계장치(20)에서저크를제한한다.
摘要翻译：用于限制机器（20）的液压系统（22）中的急动的方法包括限定最大压力。液压流体的输出压力随着时间从液压阀28的工作端口32连续测量以确定输出压力率。测得的输出压力比与最大压力比进行比较。测量迪安输出压力比大于ttaeyo调整比最大压力率蓝色压力比，以减少在响应中产生通过阀28，液压系统22的加速度中的液压流体的流率的变化的压力差，或限制减速限制机器20中的冲击。

2. 发明授权

KR101685711B1 재료 가스 농도 제어 시스템 有权
标题翻译：源气浓度控制系统
公开(公告)号：KR101685711B1
公开(公告)日：2016-12-12
申请号：KR1020100132410
申请日：2010-12-22
申请人： 가부시키가이샤 호리바 세이샤쿠쇼 , 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 미나미마사카즈 , 이노우에마사키
IPC分类号： C23C16/448 , H01L21/205
CPC分类号： G05D11/138 , Y10T137/0396 , Y10T137/2509 , Y10T137/2708 , Y10T137/7736
摘要： 재료가스의농도를어느설정농도에서일정하게유지하고있을때에있어서, 재료가스의분압이매우낮아지고, 밸브의가동범위내에서는재료가스의분압에대응한전압을달성하지못하여, 재료가스의농도를설정농도에서일정하게유지할수 없게되는상황이발생하는것을방지할수 있도록, 재료기화시스템(100)에이용되는것으로서, 상기도출관(12) 상에마련되는제1 밸브(23)와, 상기혼합가스에있어서상기재료가스의농도를측정하는농도측정부(CS)와, 상기농도측정부(CS)에서측정된상기재료가스의측정농도가미리정해진설정농도로되도록상기제1 밸브(23)의개도를제어하는농도제어부(CC)와, 상기탱크내의온도를설정온도로되도록온도조절하는온도조절기(41)와, 상기온도조절기의설정온도를설정하는온도설정부(42)를구비한다.
摘要翻译：为了防止在控制阀的可移动范围内的源气体的压力的控制的丧失，提供了源气体浓度控制系统。该系统可以包括设置在出口管路上的第一阀，测量混合气体中的源气体浓度的浓度测量部件和控制第一阀门的行程的浓度控制部件，源气体变得等于预定浓度设定。测量浓度可以在浓度测量部分测量。该系统还可以包括温度控制器，其控制罐内的温度以满足温度设定;以及温度设定部分，其设定温度控制器的温度设置。

3. 发明授权

KR101578220B1 재료가스 농도 제어 시스템 有权
标题翻译：材料气体浓度控制系统
公开(公告)号：KR101578220B1
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：KR1020090101616
申请日：2009-10-26
申请人： 가부시키가이샤 호리바 세이샤쿠쇼 , 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 미나미마사카즈 , 하야시다이스케 , 사카구치유헤이 , 니시무라가츠미 , 이노우에마사키 , 다키지리고타로
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/52 , C23C16/448
CPC分类号： G05D11/132 , Y10T137/0396 , Y10T137/2499 , Y10T137/2509 , Y10T137/2708
摘要： 재료가스의분압이변동했다고해도, 혼합가스에있어서의재료가스의농도를일정하게유지할수 있어응답성이좋은재료가스농도제어시스템을제공한다. 재료(L)를수용하는탱크(13)와, 수용된재료(L)를기화시키는캐리어가스를상기탱크(13)에도입하는도입관(11)과, 상기탱크(13)로부터기화한재료가스및 상기캐리어가스의혼합가스를도출하는도출관(12)을구비한재료기화시스템(1)에이용되는것으로서, 상기도출관(12)상에설치된제1 밸브(23)와, 상기혼합가스에있어서의재료가스의농도를측정하는농도측정부(CS)와, 상기농도측정부(CS)에서측정된재료가스의측정농도가미리정한설정농도로되도록상기제1 밸브(23)의개도(開度)를제어하는농도제어부(CC)를구비했다.

4. 发明公开

KR1020150041145A 펄스-폭-조절 밸브 审中-实审
标题翻译：脉冲宽度调节阀
公开(公告)号：KR1020150041145A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：KR1020157006404
申请日：2013-08-21
申请人： 바이킹 히트 엔진스 에이에스
发明人： 리스라,헤렐드네스
IPC分类号： F01L7/00 , F01B17/04 , F16K31/524
CPC分类号： F16K15/06 , F01L7/026 , F01L15/08 , F01L19/00 , F01L33/00 , F01L35/00 , F01L35/02 , F01L2820/01 , F16K11/22 , F16K15/18 , F16K31/52458 , Y10T137/0396 , Y10T137/7846 , F01L7/00 , F01B17/04 , F16K31/524
摘要： 본발명은유체흐름및/또는유체압력의조절을위한펄스-폭-조절밸브(1)에관한것으로, 상기펄스-폭-조절밸브(1)는유입밸브(lb)에직렬로연결된컷-오프밸브(la)를포함하고, 상기적어도하나의컷-오프밸브(la) 및유입밸브(lb)에는축방향으로제거가능하거나회전가능한밸브요소(10a, 10b)가제공되고, 상기밸브요소(10a, 10b)는상기밸브요소(10a, 10b)의출발위치로부터이격된개방위치및/또는폐쇄위치를갖는다. 또한, 본발명에따른펄스-폭-조절밸브(1)를작동시키기위한방법은적어도 2 개의변위곡선(9a, 9b)에따라밸브싱크로나이저(23)를사용함으로써밸브기어장치(2)를조절하는단계; 및, 하나이상의밸브액츄에이터(20, 20')를사용하여상기펄스-폭-조절밸브(1)에배열된대응하는밸브요소(10a, 10b)를변위시키거나회전시키는단계를포함한다.

5. 发明授权

KR101485887B1 진공 용기의 압력 제어 방법 및 압력 제어 장치 有权
标题翻译：用于控制真空容器压力的方法和装置
公开(公告)号：KR101485887B1
公开(公告)日：2015-01-26
申请号：KR1020107006305
申请日：2008-11-19
申请人： 히다치 조센 가부시키가이샤
发明人： 사이토히데키 , 사에키토시로
IPC分类号： G05D16/20
CPC分类号： G05D16/2013 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/7837
摘要： 진공 용기 가스 배출관에 설치된 진공 밸브, 진공 용기내의 압력을 계측하는 압력계, 진공 밸브의 밸브 개도를 검출하는 개도 검출기이 구비된 진공 처리 장치에 있어서의 진공 용기의 압력을 제어하는 방법으로서, 진공 밸브의 실제 밸브 개도로부터 구해진 추정 배출 가스량과 전회의 연산 주기에서 구해진 추정 유입 가스량의 가스 유량차에 의거하여 가상 진공 용기에서의 압력을 계산에서 구하고, 이 구해진 계산 압력 및 압력계에서 계측된 실제 진공 용기에 있어서의 계측 압력과의 차이에 의거하여 현시점에서의 추정 유입 가스량을 구하고, 이 추정 유입 가스량에 목표로 하는 설정 압력과 계측 압력의 압력 편차에 의거하여 얻어진 보정 가스량을 가산해서 설정 배출 가스량을 구하고, 이 설정 배출 가스량이 되도록 진공 밸브의 밸브 개도를 제어하는 방법이다.

6. 发明公开

KR1020140146104A 위치 제어 및 위치 조정용 공압 액츄에이터 无效
标题翻译：具有位置控制和位置调整的气动执行器
公开(公告)号：KR1020140146104A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：KR1020147028691
申请日：2007-08-08
申请人： 노그렌 게엠베하
发明人： 테슈케,울리히
IPC分类号： F15B13/04 , F15B15/14
CPC分类号： F16K11/0716 , F15B9/12 , F15B13/0402 , Y10T29/49412 , Y10T29/49416 , Y10T137/0396 , Y10T137/7904
摘要： 위치 제어 및 위치 조정을 위해 채용되는 비례 액츄에이터 밸브(110)가 제공된다. 비례 액츄에이터 밸브(110)는 두 개 이상의 챔버(324, 325)를 가지는 밸브 하우징(112)을 포함한다. 챔버들은 하나 또는 둘 이상의 밀봉 부재(322)에 의해 분리된다. 밸브 하우징(112) 내에서 이동가능한 밸브 슬라이더(113)가 제공된다. 하나 또는 둘 이상의 그루브(329)가 밸브 슬라이더(113)에 형성된다. 하나 또는 그 초과의 그루브(329)는 밸브 하우징(112)의 두 개의 챔버(324, 325)와 공기압적으로 연통된다. 하나 또는 둘 이상의 보어(327, 328)는 또한 밸브 슬라이더(113) 내에 형성된다. 하나 또는 둘 이상의 보어(327, 328)는 하나 또는 둘 이상의 그루브(329)와 공기압적으로 연통된다. 밸브 하우징(112)에 대한 밸브 슬라이더(113)의 이동이 공기압 밸브 작용을 제공한다.

7. 发明授权

KR101419312B1 미소유로 구조 및 그것을 사용한 미소입자 제조 방법 有权
标题翻译：微通道结构和微粒生产方法
公开(公告)号：KR101419312B1
公开(公告)日：2014-07-14
申请号：KR1020070087909
申请日：2007-08-30
申请人： 도소 가부시키가이샤
发明人： 야마나카마호 , 카와이아키라 , 카타야마코지 , 타카미야히로키
IPC分类号： B01J2/00 , B01J19/00
CPC分类号： B01F3/0807 , B01F5/0475 , B01F5/0478 , B01F13/0059 , B01F13/1013 , B01F13/1022 , B01J19/0093 , B01J2219/00783 , B01J2219/00822 , B01J2219/00824 , B01J2219/00826 , B01J2219/00828 , B01J2219/00831 , B01J2219/00833 , B01J2219/0086 , B01J2219/00889 , B01J2219/00891 , B01J2219/00903 , Y10T137/0396
摘要： (과제) 미소입자를 균일한 크기로 안정 생성, 및 미소입자의 대량 생성을 실현하기 위한 미소유로 구조 및 미소입자 생성 방법을 제공한다.
(해결수단) 분산상 도입구와 연통한 분산상 도입 유로와, 연속상 도입구와 연통한 연속상 도입 유로와, 배출구와 연통한 배출 유로와, 미소입자 생성 유로와, 복수의 미소유로로 이루어지는 분산상 도입 지유로를 구비한 미소유로 구조로서, 미소입자 생성 유로의 유체 진행방향에 있어서의 한쪽의 끝에서 연속상 도입 유로가 연통됨과 아울러 다른 한쪽의 끝에서 배출 유로가 연통되어 있고, 분산상 도입 유로의 측부와 미소입자 생성 유로의 측부가 분산상 도입 지유로를 통해서 연통된 1세트의 미소유로 구조를 구성하는, 미소유로 구조, 및 이 미소유로 구조를 이용하여 분산상 도입 지유로와 미소입자 생성 유로의 교차부에 있어서 분산상과 연속상을 합류시켜서 분산상을 미소 입자화하는 미소입자 제조 방법을 사용한다.
미소유로, 미소입자

8. 发明授权

KR101410847B1 펌프 시스템, 이산화탄소 공급 시스템, 추출 시스템, 리소그래피 장치 및 디바이스 제조 방법 有权
标题翻译：泵系统，二氧化碳供应系统，提取系统，平面设备和设备制造方法
公开(公告)号：KR101410847B1
公开(公告)日：2014-06-23
申请号：KR1020120149727
申请日：2012-12-20
申请人： 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
发明人： 반데르가그마크레온 , 반덴휴벨레오나르다헨드리카 , 마튼즈아르얀후브레쉬트요셉안나 , 반박스텔프랭크요하네스야코부스
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/00 , G03F7/70341 , Y10T137/0396 , Y10T137/8326 , Y10T137/85986
摘要： 추출 시스템은, 가스를 도관을 따라 특정한 크기를 넘는 상류측 압력에서 개방되도록 구성된 체크 밸브에 펌핑하는 펌프와, 펌프와 체크 밸브 사이의 가스의 압력을 나타내는 신호를 발생하는 압력 센서와, 압력 센서로부터의 신호가 펌프와 체크 밸브 사이의 가스의 압력이 특정한 크기 아래에 있다는 것을 나타내면, 중지 신호를 발생하도록 구성된 컨트롤러를 포함한다.
摘要翻译：一种提取系统，包括泵，其将气体沿导管泵送至配置成在一定大小的上游压力下打开的止回阀;压力传感器，用于产生指示泵和止回阀之间的气体压力的信号; 以及控制器，被配置为如果来自压力传感器的信号指示泵和止回阀之间的气体压力低于一定量值，则产生停止信号。

9. 发明公开

KR1020140058362A 압력 저장 시스템 및 압력 저장 시스템의 동작 방법 无效
标题翻译：压力储存系统和操作压力储存系统的方法
公开(公告)号：KR1020140058362A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：KR1020130132749
申请日：2013-11-04
申请人： 마그나 스티어 파르초이크테시닉 아게 운트 코. 카게
发明人： 바르틀록귀도 , 마이어프란츠
IPC分类号： F17C13/02 , F17C13/04
CPC分类号： F15B1/04 , F17C5/06 , F17C2205/0134 , F17C2205/0335 , F17C2205/037 , F17C2221/012 , F17C2221/033 , F17C2221/035 , F17C2223/0123 , F17C2223/0153 , F17C2223/0161 , F17C2223/033 , F17C2223/036 , F17C2225/0123 , F17C2225/036 , F17C2227/04 , F17C2250/01 , F17C2265/065 , F17C2270/0178 , F17C2270/0184 , Y02E60/321 , Y10T137/0396 , Y10T137/7808 , Y10T137/8733
摘要： A method of operating a pressure accumulator system, whereby at least two pressure accumulator vessels (S, S1, S2, S3) having different admissible operating pressures via a tank neck (265) are simultaneously filled, at least one of the pressure accumulator vessels has an admissible operating pressure lower than a maximum applicable pressure at the tank neck (265), and at least one upstream device having a shut-off pressure defined by the lower admissible operating pressure protects an inadmissible pressure rise in the at least one of the pressure accumulator vessels (S, S1, S2, S3) having the lower admissible operating pressure. A pressure accumulator system comprising a tank neck (265), at least two pressure accumulator vessels (S, S1, S2, S3), pressure lines, and at least one withdrawal point (255), whereby at least one of the pressure accumulator vessels (S, S1, S2, S3) has an admissible operating pressure lower than a maximum applicable pressure at the tank neck (265), and at least one upstream device having a shut-off pressure defined by the lower admissible operating pressure protects an inadmissible pressure rise in the at least one of the pressure accumulator vessels (S, S1, S2, S3), wherein the upstream device is a shut-off valve (SV, 210) and/or pressure shut-off valve unit (PSV, 200).
摘要翻译：一种操作压力蓄能器系统的方法，由此至少两个经由罐颈（265）具有不同允许工作压力的蓄压容器（S，S1，S2，S3）同时被填充，所述蓄压器容器中的至少一个具有容纳操作压力低于罐颈（265）处的最大适用压力，并且具有由较低允许操作压力限定的切断压力的至少一个上游装置保护所述至少一个压力下的不允许的压力升高具有较低允许工作压力的蓄能器容器（S，S1，S2，S3）。一种压力蓄能器系统，包括罐颈部（265），至少两个压力容器（S，S1，S2，S3），压力管线和至少一个提取点（255），由此至少一个压力容器（S，S1，S2，S3）具有低于罐颈（265）处的最大适用压力的允许操作压力，并且具有由较低允许操作压力限定的切断压力的至少一个上游装置保护不允许至少一个蓄压容器（S，S1，S2，S3）中的压力升高，其中上游装置是截止阀（SV，210）和/或压力截止阀单元（PSV，200 ）。

10. 发明公开

KR1020130141428A 공정 챔버 압력 제어 시스템 및 방법 有权
标题翻译：过程室压力控制系统及方法
公开(公告)号：KR1020130141428A
公开(公告)日：2013-12-26
申请号：KR1020137002002
申请日：2010-07-14
申请人： 에스피티에스 테크놀러지스 리미티드
发明人： 베스티크,다니엘,제이.
IPC分类号： C23C16/455 , H01L21/311 , H01L21/67 , F17C13/00
CPC分类号： F17C13/002 , C23C16/45557 , H01L21/31116 , H01L21/67017 , H01L21/67253 , Y10T137/0396 , Y10T137/86002 , C23C16/455 , C23C16/52
摘要： 연속적인 가스 유입 및 연속적인 가스 유출을 갖는 공정 챔버 내의 압력을 제어하는 방법으로서, 가스 출구에 있는 펄스 밸브, 압력 게이지, 프로그램가능한 제어기를 마련하는 단계; 및 펄스 밸브의 펄스 레이트를 가변시키는 단계를 포함하며, 개방 시간 또는 폐쇄 시간 중 어느 하나, 또는 개방 시간 및 폐쇄 시간 둘 모두는 게이지 압력이 프로그래밍된 설정값보다 높거나 낮음에 따라서 길어지거나 짧아진다.

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