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1. 发明公开

KR1020150092368A 펄스 가스의 고속 전달 장치 및 그 방법 审中-实审
标题翻译：快速脉冲气体输送装置及方法
公开(公告)号：KR1020150092368A
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：KR1020157020682
申请日：2011-09-28
申请人： 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드
发明人： 딩준후아
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/52 , G05D7/06
CPC分类号： C23C16/52 , C23C16/448 , C23C16/45523 , C23C16/45561 , G05D7/0647 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/2836 , Y10T137/2842 , Y10T137/2863
摘要： 목표로 하는 질량의 가스의 펄스를 프로세스 툴에 전달하기 위한 가스 전달 장치 및 그 방법이 기재되어 있다. 목표로 하는 질량의 가스의 펄스를 프로세스 챔버 또는 툴에 전달하기 위한 가스 전달 장치는, 가스 전달 챔버; 상기 가스 전달 챔버로 유입되는 가스의 흐름을 제어하도록 설치되는 유입 밸브; 가스가 상기 가스 전달 챔버로부터 펄스 상태로 유출되도록 상기 가스 전달 챔버에서 유출되는 가스의 흐름을 제어하고, 상기 가스 전달 챔버 내 가스의 초기 압력과 각 펄스의 지속시간의 함수로서 각각의 선택된 질량을 제어하도록 설치되는 유출 밸브; 및 가스의 펄스를 전달하기 전에 상기 가스 전달 챔버 내 가스의 시작 압력의 변동이 제어되고, 질량 전달의 반복성이 각각의 펄스의 지속시간의 함수로서 향상되도록, 가스의 펄스를 전달하기 전에 상기 가스 전달 챔버 내의 가스를 초기 압력 설정점까지 예비충전하기 위해 상기 가스 전달 챔버에 유입되는 가스의 흐름을 제어하도록 구성되고 설치되는 압력 제어 장치를 포함한다.

2. 发明公开

KR1020130097215A 펄스 가스의 고속 전달 시스템 및 그 방법 无效
标题翻译：脉冲气体快速输送系统及其方法
公开(公告)号：KR1020130097215A
公开(公告)日：2013-09-02
申请号：KR1020137010982
申请日：2011-09-28
申请人： 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드
发明人： 딩준후아
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/52 , G05D7/06
CPC分类号： C23C16/52 , C23C16/448 , C23C16/45523 , C23C16/45561 , G05D7/0647 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/2836 , Y10T137/2842 , Y10T137/2863
摘要： 목표로 하는 질량의 가스의 펄스를 프로세스 툴에 전달하기 위한 시스템 및 그 방법이 기재되어 있다. 목표로 하는 질량의 가스의 펄스를 프로세스 챔버 또는 툴에 전달하기 위한 시스템은, 가스 전달 챔버; 상기 가스 전달 챔버로 유입되는 가스의 흐름을 제어하도록 설치되는 제1 밸브; 가스가 상기 가스 전달 챔버로부터 펄스 상태로 유출되도록 상기 가스 전달 챔버에서 유출되는 가스의 흐름을 제어하고, 상기 가스 전달 챔버 내 가스의 초기 압력과 각 펄스의 지속시간의 함수로서 각각의 선택된 질량을 제어하도록 설치되는 제2 밸브; 및 가스의 펄스를 전달하기 전에 상기 가스 전달 챔버 내 가스의 시작 압력의 변동이 제어되고, 질량 전달의 반복성이 각각의 펄스의 지속시간의 함수로서 향상되도록, 가스의 펄스를 전달하기 전에 상기 가스 전달 챔버 내의 가스를 초기 압력 설정점까지 예비충전하기 위해 상기 가스 전달 챔버에 유입되는 가스의 흐름을 제어하도록 구성되고 설치되는 압력 제어 장치를 포함한다.

3. 发明授权

KR101322188B1 최적화된 성능을 갖는 압력제어시스템 有权
标题翻译：具有优化性能的压力控制系统
公开(公告)号：KR101322188B1
公开(公告)日：2013-10-25
申请号：KR1020087022992
申请日：2007-02-12
申请人： 엠케이에스 인스트루먼츠 인코포레이티드
发明人： 데이비드코비츠블라디스라브 , 힐고든 , 챔버레인데이브 , 루카스폴
IPC分类号： G05D7/00
CPC分类号： G05D16/2013 , Y10T137/2863
摘要： 챔버(105)에서의 유체의 압력을 제어하기 위한 압력제어시스템은 상기 챔버에서의 유체의 압력을 측정하도록 구성되는 압력센서(110)와, 상기 챔버에서 유출는 유체의 유량을 조정하여 상기 챔버에서의 유체의 압력을 제어하도록 구성되는 밸브를 포함한다. 상기 압력제어시스템은 제어기(140)를 더 포함한다. 상기 제어기는 상기 챔버의 체적을 추정하고, 상기 밸브의 펌프속도곡선을 생성하도록 구성된다. 상기 제어기는 적어도 최소 값으로 상기 펌프속도곡선의 기울기를 유지하기 위해 상기 펌프속도곡선을 모니터링하고 변경하며, 상기 챔버의 압력을 요구압력설정값으로 유지하기 위해서 상기 압력센서에 의해 측정된 압력 측정값에 따라 상기 밸브의 위치를 조절하기 위해 상기 변경된 펌프속도곡선을 이용하도록 더 구성된다.
챔버, 펌프, 제어기, 압력센서

4. 发明公开

KR1020000062259A 유체 이송 시스템, 및 유체 공급 탱크로부터 유체 유출 라인으로 유체를 이송하는 방법 失效
标题翻译：液体转移系统
公开(公告)号：KR1020000062259A
公开(公告)日：2000-10-25
申请号：KR1019997005602
申请日：1997-12-19
申请人： 체만드 코포레이션
发明人： 스켈,다니엘
IPC分类号： F04F10/00
CPC分类号： B67D7/007 , B67D7/0272 , B67D7/78 , F04F10/00 , G01F3/36 , G01F11/28 , Y10T137/0396 , Y10T137/2509 , Y10T137/2733 , Y10T137/2842 , Y10T137/2863 , Y10T137/3124 , Y10T137/469 , Y10T137/4807
摘要： 본발명의유체이송시스템(10)은유체공급탱크(14)와, 적어도두개의가압형유체지지베셀(34,42)을포함한다. 상기유체지지베셀(34,42)은상기공급탱크(14)밑에위치되고, 유체공급라인(20)은상기공급탱크(14)를각 베셀(34,42)에연결시킨다. 상기유체공급라인(20)은탱크(14)로부터유체를각 베셀(34,42)로이동시키기위해탱크(14)로부터각 베셀(34,42)에사이펀효과기능을갖고작동한다. 각베셀(34,42)들은번갈아가면서유체가채워지고, 가압되어유체를유출시키므로서, 하나의베셀에유체가채워지는동안에다른베셀에는유체가유출되어, 일정한제어가능한유체유량을달성할수있다. 양호한실시예에서, 유체순도를높이기위해내부라인필터와, 완전한혼합을이루기위해시스템(10)내에서유체를일정하게이동시키거나재사이클을위해유체리사이클링라인을포함한다.

5. 发明授权

KR101699978B1 소켓 구조 有权
标题翻译：插座结构
公开(公告)号：KR101699978B1
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：KR1020100108019
申请日：2010-11-02
申请人： 사파스고교 가부시키가이샤
发明人： 다카노하시토시유키
IPC分类号： F16L37/34 , B65D47/06 , B65D47/26 , B67D7/02
CPC分类号： B67D7/0294 , Y10T137/2863 , Y10T137/2911 , Y10T137/2917 , Y10T137/314 , Y10T137/598 , Y10T137/8225
摘要： 유체가부착되어고화된고화부착물에의한착탈불량및 밸브기구의동작불량과밀봉불량을방지또는억제한소켓구조를제공한다. 용기의출구개구부에설치된커넥터(1)의플러그부(7)에접속해사용되는소켓(30)이, 유로(31)를내부에형성하여밸브기구(45)를설치한소켓본체(32)와, 축중심을관통해배설된소켓본체(32)의외주면을따라서축방향의슬라이드및 회동을가능하게설치한슬리브(40)를구비하고, 소켓본체(32)의하단부에개구되어있는유로(31)의입구를플러그부(7)의상단부에개구되어있는플러그출구에삽입해접속시킨후, 슬리브(40)를아랫쪽방향으로슬라이드시키면서회전시켜슬리브나사부(39)로소켓암나사부(15)와의나사결합에의해나사고정해고정하도록구성하였다.
摘要翻译：提供一种插座结构，其能够防止或抑制由于流体导致的固体沉积导致的阀机构的不良的附着/脱离以及不良运动和阀机构的不良密封。通过将插座连接到连接器的插头而使用的插座包括：插座主体，其中形成有通道并具有阀机构; 以及套筒，其设置成能够沿其轴向方向滑动并且能够沿着所述插座主体的外周面旋转。插座被构造成通过将在插座主体的下端开口的通道的入口插入并连接到在插头的上端开口的插头出口，并将套筒螺纹部分拧入通过旋转套筒的插座阴螺纹部分。

6. 发明公开

KR1020080108105A 최적화된 성능을 갖는 압력제어시스템 有权
标题翻译：具有优化性能的压力控制系统
公开(公告)号：KR1020080108105A
公开(公告)日：2008-12-11
申请号：KR1020087022992
申请日：2007-02-12
申请人： 엠케이에스 인스트루먼츠 인코포레이티드
发明人： 데이비드코비츠블라디스라브 , 힐고든 , 챔버레인데이브 , 루카스폴
IPC分类号： G05D7/00
CPC分类号： G05D16/2013 , Y10T137/2863
摘要： A pressure control system for controlling pressure of a fluid in a chamber (105) includes a pressure sensor (110) configured to measure the pressure of the fluid in the chamber, and a valve (120) configured to control the pressure of the fluid in the chamber by regulating flow of the fluid from the chamber. The pressure control system further includes a controller (140). The controller is configured to estimate the volume of the chamber, and to generate a pump speed curve of the valve. The controller is further configured to monitor and modify the pump speed curve so as to maintain a slope of the pump speed curve to at least a minimum value, and to use the modified pump speed curve to adjust the position of the valve in response to pressure measurements by the pressure sensor, so as to maintain the pressure in the chamber at a desired pressure setpoint. ® KIPO & WIPO 2009
摘要翻译：用于控制腔室（105）中的流体压力的压力控制系统包括被配置成测量腔室中的流体的压力的压力传感器（110）和构造成控制流体的压力的阀门（120）该腔室通过调节来自腔室的流体的流动。压力控制系统还包括控制器（140）。控制器被配置为估计室的体积并产生阀的泵速曲线。该控制器还被配置为监测和修改泵速曲线，以将泵速曲线的斜率保持在至少最小值，并且使用改进的泵速曲线来响应于压力来调节阀的位置通过压力传感器进行测量，以便将腔室中的压力保持在期望的压力设定点。 ®KIPO＆WIPO 2009

7. 发明公开

KR1020110049697A 소켓 구조 有权
标题翻译：插座结构
公开(公告)号：KR1020110049697A
公开(公告)日：2011-05-12
申请号：KR1020100108019
申请日：2010-11-02
申请人： 사파스고교 가부시키가이샤
发明人： 다카노하시토시유키
IPC分类号： F16L37/34 , B65D47/06 , B65D47/26 , B67D7/02
CPC分类号： B67D7/0294 , Y10T137/2863 , Y10T137/2911 , Y10T137/2917 , Y10T137/314 , Y10T137/598 , Y10T137/8225 , F16L37/34 , B65D47/06 , B65D47/063 , B65D47/26 , B65D47/261 , B67D7/0266 , F16L37/00 , F16L37/30 , F16L37/32
摘要： PURPOSE: A socket structure is provided to prevent detachment fail by solidified attachments and to suppress fail of the operation and sealing of a valve mechanism. CONSTITUTION: A socket structure comprises a socket(30) connected to a plug unit(7) of a connector(1). The socket comprises a socket body(32) and a sleeve(40). The socket body comprises a flow path(31) inside. A valve mechanism(45) is installed in the socket body. The sleeve slides and rotates in an axial direction along the outer surface of the socket body passing through the center of an axis. An inlet of the lower flow path of the socket body is inserted into a plug outlet on the upper end of the plug unit. The sleeve is thread-coupled with a socket female screw portion(15) by a sleeve screw portion(39).
摘要翻译：目的：提供一种插座结构，以防止固化附件发生脱离，并抑制阀机构的操作和密封失败。构成：插座结构包括连接到连接器（1）的插头单元（7）的插座（30）。插座包括插座主体（32）和套筒（40）。插座主体包括内部的流路（31）。阀机构（45）安装在插座体内。套筒沿着穿过轴心的中心的插座主体的外表面在轴向方向上滑动并旋转。插座主体的下部流路的入口插入到插头单元的上端的插头插座中。套筒通过套筒螺纹部分（39）与插座母螺纹部分（15）螺纹连接。

8. 发明授权

KR100494971B1 유체 이송 시스템, 및 유체 공급 탱크로부터 유체 유출 라인으로 유체를 이송하는 방법 失效
标题翻译：液体转移系统以及用于将液体从液体供给罐转移到液体输出管线的方法
公开(公告)号：KR100494971B1
公开(公告)日：2005-06-14
申请号：KR1019997005602
申请日：1997-12-19
申请人： 체만드 코포레이션
发明人： 스켈,다니엘
IPC分类号： F04F10/00
CPC分类号： B67D7/007 , B67D7/0272 , B67D7/78 , F04F10/00 , G01F3/36 , G01F11/28 , Y10T137/0396 , Y10T137/2509 , Y10T137/2733 , Y10T137/2842 , Y10T137/2863 , Y10T137/3124 , Y10T137/469 , Y10T137/4807
摘要： 본 발명의 유체 이송 시스템(10)은 유체 공급 탱크(14)와, 적어도 두 개의 가압 유체 지지 용기(34,42)를 포함한다. 상기 유체 지지 용기(34,42)는 상기 공급 탱크(14) 아래 위치되고, 유체 공급 라인(20)은 상기 공급 탱크(14)를 각각의 상기 용기(34,42)에 연결시킨다. 상기 유체 공급 라인(20)은 탱크(14)로부터 유체를 각각의 상기 용기(34,42)로 이동시키기 위해 탱크(14)로부터 각각의 상기 용기(34,42)에 사이펀 효과 기능을 갖고 작동한다. 각각의 상기 용기(34,42)들은 번갈아가면서 유체가 채워지고, 가압되어 유체를 유출시킴으로써, 하나의 용기에 유체가 채워지는 동안에 다른 용기에는 유체가 유출되어, 일정한 제어가능한 유체 유량을 달성할수 있다. 양호한 실시예에서, 유체 순도를 높이기 위해 내부 라인 필터와, 완전한 혼합을 이루기 위해 시스템(10)내에서 유체를 일정하게 이동시키거나 리사이클을 위해 유체 리사이클링 라인을 포함한다.

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