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1. 发明授权

KR101006423B1 객체 표면의 특성을 결정하기 위한 간섭계 有权
公开(公告)号：KR101006423B1
公开(公告)日：2011-01-06
申请号：KR1020097009642
申请日：2006-01-19
申请人： 지고 코포레이션
发明人： 드레가새비어콜론나 , 드그루트피터
IPC分类号： G01B11/30 , G01B9/02 , G01B11/25
CPC分类号： G01B9/023 , G01B9/02004 , G01B9/02027 , G01B9/02043 , G01B9/02044 , G01B9/02057 , G01B9/02072 , G01B9/02074 , G01B9/02084 , G01B9/02088 , G01B9/0209 , G01B11/0675 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01N21/21 , G01N21/211
摘要： (ⅰ) 테스트 전자기 방사를 테스트 표면(124)으로 향하게 하고 참조 전자기 방사를 참조 표면(122)으로 향하게 하며 이어서 전자기 방사를 결합하여 간섭 패턴을 형성하도록 구성된 간섭계; (ⅱ) 다중 소자 검출기(multi-element detector)(134); 및 (ⅲ) 상기 간섭 패턴을 상기 다중 소자 검출기(134)에 투영하여 상기 다중 소자 검출기(134)의 서로 다른 소자들이 상기 테스트 전자기 방사에 의해 상기 테스트 표면(124)의 서로 다른 조명 각(illumination angles)에 대응하도록 구성된 하나 이상의 광학 기기를 포함하는 시스템(100)에 대해 개시되어 있다. 상기 검출기 소자에 의해 수행된 측정은 상기 테스트 표면(124)에 대한 엘립소메트리/반사측정 데이터를 제공한다. 개시된 시스템(100)은 또한 상기 다중 소자 검출기(134)의 서로 다른 영역이 상기 테스트 표면(124)의 서로 다른 위치에 대응하는 다른 모드(예를 들어, 프로파일링 모드)에서 동작할 수 있다.
전자기 방사, 테스트 표면, 참조 표면, 다중 소자 검출기

2. 发明授权

KR101054786B1 박막 구조체에 관한 정보를 위해 저 코히어런스 간섭 측정 신호를 분석하기 위한 방법 및 시스템 有权
标题翻译：用于分析关于薄膜结构的信息的低相干干涉测量信号的方法和系统
公开(公告)号：KR101054786B1
公开(公告)日：2011-08-05
申请号：KR1020077029677
申请日：2006-05-18
申请人： 지고 코포레이션
发明人： 드그루트피터
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/02
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B9/02084 , G01B9/02087 , G01B9/02088 , G01B9/0209 , G01N21/8422
摘要： 스캐닝 간섭 측정 신호를 분석하기 위한 방법 및 시스템에 대해 개시한다. 시험 물체(test object)(예를 들어, 박막을 갖는 샘플)의 제1 위치에 대해 스캐닝 간섭계에 의해 생성된 스캐닝 간섭 측정 신호를 제공하는 단계; 스캐닝 간섭계에 의해 생성되고 하나 이상의 파라미터 값에 의해 파라미터화되는, 상기 스캐닝 간섭 측정 신호의 모델 함수를 제공하는 단계; 상기 파라미터 값들을 변화시킴으로써 상기 모델 함수와 상기 스캐닝 간섭 측정 신호 사이의 스캔 위치에서의 각각의 일련의 시프트(shift)에 대해, 상기 스캐닝 간섭 측정 신호에 상기 모델 함수를 적합시키는 단계; 및 상기 적합에 기초하여 상기 제1 위치에서의 상기 시험 물체에 관한 정보(시험 물체의 박막에 대한 표면 높이 또는 표면 프로파일, 및/또는 두께 또는 두께 프로파일)를 결정하는 단계를 포함한다.
摘要翻译：公开了一种分析扫描干扰测量信号的方法和系统。提供由扫描干涉仪产生的用于测试对象（例如，具有薄膜的样本）的第一位置的扫描干涉测量信号; 提供由所述扫描干涉仪生成并由一个或多个参数值参数化的所述扫描干涉测量信号的模型函数; 通过改变参数值，在模型函数和扫描干扰测量信号之间的扫描位置处将模型函数拟合用于每一系列位移的扫描干涉测量信号; 并且基于拟合确定第一位置处的信息（测试对象的薄膜的表面高度或表面轮廓和/或厚度或厚度轮廓）。

3. 发明公开

KR1020080070856A 광학적으로 분석되지 않은 표면 형상의 특징을 측정하는방법 및 간섭계 有权
标题翻译：用于测量光学非对称表面特征特征的干涉仪和方法
公开(公告)号：KR1020080070856A
公开(公告)日：2008-07-31
申请号：KR1020087014372
申请日：2006-11-13
申请人： 지고 코포레이션
发明人： 드그루트피터 , 다윈마이클제이. , 스토너로버트 , 갈라틴그레그엠. , 디레가사비에르콜론나
IPC分类号： G01B11/02 , G01B11/00
摘要： Disclosed is an interferometry analysis method that includes comparing information derivable from multiple interferometry signals corresponding to different surface locations of a test object to information corresponding to multiple models of the test object, wherein the multiple models are parametrized by a series of characteristics that relate to one or more under-resolved lateral features of the test object; and outputting information about the under-resolved surface feature based on the comparison.
摘要翻译：公开了一种干涉测量分析方法，其包括将可对应于测试对象的不同表面位置的多个干涉测量信号的信息与对应于测试对象的多个模型的信息相比较，其中多个模型由一系列特征参数化或更多的未解决的测试对象的横向特征; 并基于该比较输出关于未解决的表面特征的信息。

4. 发明公开

KR1020080015018A 박막 구조체에 관한 정보를 위해 저 코히어런스 간섭 측정 신호를 분석하기 위한 방법 및 시스템 有权
标题翻译：用于分析薄膜结构信息的低相干干涉信号的方法和系统
公开(公告)号：KR1020080015018A
公开(公告)日：2008-02-15
申请号：KR1020077029677
申请日：2006-05-18
申请人： 지고 코포레이션
发明人： 드그루트피터
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/02
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B9/02084 , G01B9/02087 , G01B9/02088 , G01B9/0209 , G01N21/8422
摘要： Methods and systems are disclosed for analyzing a scanning interferometry signal. Steps include: providing a scanning interferometry signal produced by a scanning interferometer for a first location of a test object (e.g., a sample having a thin film); providing a model function of the scanning interferometry signal produced by the scanning interferometer, wherein the model function is parametrized by one or more parameter values; fitting the model function to the scanning interferometry signal for each of a series of shifts in scan position between the model function and the scanning interferometry signal by varying the parameter values; and determining information about the test object (e.g., a surface height or height profile, and/or a thickness or thickness profile for a thin film in the test object) at the first location based on the fitting.
摘要翻译：公开了用于分析扫描干涉测量信号的方法和系统。步骤包括：提供由扫描干涉仪产生的用于测试对象（例如，具有薄膜的样本）的第一位置的扫描干涉测量信号; 提供由扫描干涉仪产生的扫描干涉测量信号的模型函数，其中模型函数由一个或多个参数值参数化; 通过改变参数值，在模型函数和扫描干涉测量信号之间的扫描位置的一系列移位中的每一个对拟合扫描干涉测量信号拟合模型函数; 以及基于所述拟合来确定关于所述第一位置处的所述测试对象的信息（例如，表面高度或高度分布，以及/或所述测试对象中的薄膜的厚度或厚度分布）。

5. 发明授权

KR101321861B1 광학적으로 분석되지 않은 표면 형상의 특징을 측정하는방법 및 간섭계 有权
标题翻译：用于测量光学非对称表面特征特征的干涉仪和方法
公开(公告)号：KR101321861B1
公开(公告)日：2013-10-25
申请号：KR1020087014372
申请日：2006-11-13
申请人： 지고 코포레이션
发明人： 드그루트피터 , 다윈마이클제이. , 스토너로버트 , 갈라틴그레그엠. , 디레가사비에르콜론나
IPC分类号： G01B11/02 , G01B11/00
摘要： 시험 물체의 상이한 표면 위치들에 대응하는 복수의 주사 간섭측정 신호로부터 생성 가능한 정보를, 상기 시험 물체에 대한 복수의 모델에 대응하는 정보와 비교하는 단계; 및 상기 비교에 기초하여 상기 분석되지 않은 표면 형상에 관한 정보를 출력하는 단계를 포함하고, 상기 복수의 모델은, 상기 시험 물체의 하나 이상의 분석되지 않은 횡방향 형상과 관련된 일련의 특징에 의해 파라미터화 되어 있는, 방법을 개시한다.

6. 发明公开

KR1020090073221A 객체 표면의 특성을 결정하기 위한 간섭계 有权
标题翻译：用于确定物体表面特征的干涉仪
公开(公告)号：KR1020090073221A
公开(公告)日：2009-07-02
申请号：KR1020097009642
申请日：2006-01-19
申请人： 지고 코포레이션
发明人： 드레가새비어콜론나 , 드그루트피터
IPC分类号： G01B11/30 , G01B9/02 , G01B11/25
CPC分类号： G01B9/023 , G01B9/02004 , G01B9/02027 , G01B9/02043 , G01B9/02044 , G01B9/02057 , G01B9/02072 , G01B9/02074 , G01B9/02084 , G01B9/02088 , G01B9/0209 , G01B11/0675 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01N21/21 , G01N21/211
摘要： (i) an interferometer configured to direct test electromagnetic radiation to a test surface (124) and reference electromagnetic radiation to a reference surface (122) and subsequently combine the electromagnetic radiation to form an interference pattern, the electromagnetic radiation being derived from a common source (102); (ii) a multi-element detector (134); and (iii) one or more optics (13S) configured to image the interference pattern onto the detector (134) so that different elements of the detector (134) correspond to different illumination angles of the test surface (124) by the test electromagnetic radiation. The measurements made by the detector elements provide ellipsometry/ ref lectometry data for the test surface (124). The disclosed system (100) can further be reconfigured to operate in a different mode (e.g., a profiling mode) in which the different elements of the detector (134) correspond to different locations of the test surface (124).
摘要翻译：（i）干涉仪，被配置为将测试电磁辐射引导到测试表面（124）并将电磁辐射引用到参考表面（122），并且随后组合电磁辐射以形成干涉图案，所述电磁辐射是从公共源（102）; （ii）多元件检测器（134）; 以及（iii）被配置为将所述干涉图案成像到所述检测器（134）上的一个或多个光学器件（13S），使得所述检测器（134）的不同元件对应于所述测试表面（124）通过所述测试电磁辐射。由检测器元件进行的测量为测试表面（124）提供椭圆测量/参考测量数据。所公开的系统（100）还可被重新配置为以不同的模式（例如，轮廓模式）操作，其中检测器（134）的不同元件对应于测试表面（124）的不同位置。

7. 发明授权

KR101006422B1 객체 표면의 특성을 결정하기 위한 간섭계 有权
标题翻译：用于确定物体表面特征的干涉仪
公开(公告)号：KR101006422B1
公开(公告)日：2011-01-06
申请号：KR1020077019011
申请日：2006-01-19
申请人： 지고 코포레이션
发明人： 드레가새비어콜론나 , 드그루트피터
IPC分类号： G01B11/02 , G01B11/06
CPC分类号： G01B9/023 , G01B9/02004 , G01B9/02027 , G01B9/02043 , G01B9/02044 , G01B9/02057 , G01B9/02072 , G01B9/02074 , G01B9/02084 , G01B9/02088 , G01B9/0209 , G01B11/0675 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01N21/21 , G01N21/211
摘要： (ⅰ) 테스트 전자기 방사를 테스트 표면(124)으로 향하게 하고 참조 전자기 방사를 참조 표면(122)으로 향하게 하며 이어서 전자기 방사를 결합하여 간섭 패턴을 형성하도록 구성된 간섭계; (ⅱ) 다중 소자 검출기(multi-element detector)(134); 및 (ⅲ) 상기 간섭 패턴을 상기 다중 소자 검출기(134)에 투영하여 상기 다중 소자 검출기(134)의 서로 다른 소자들이 상기 테스트 전자기 방사에 의해 상기 테스트 표면(124)의 서로 다른 조명 각(illumination angles)에 대응하도록 구성된 하나 이상의 광학 기기를 포함하는 시스템(100)에 대해 개시되어 있다. 상기 검출기 소자에 의해 수행된 측정은 상기 테스트 표면(124)에 대한 엘립소메트리/반사측정 데이터를 제공한다. 개시된 시스템(100)은 또한 상기 다중 소자 검출기(134)의 서로 다른 영역이 상기 테스트 표면(124)의 서로 다른 위치에 대응하는 다른 모드(예를 들어, 프로파일링 모드)에서 동작할 수 있다.
전자기 방사, 테스트 표면, 참조 표면, 다중 소자 검출기

8. 发明公开

KR1020070104615A 객체 표면의 특성을 결정하기 위한 간섭계 有权
标题翻译：用于确定物体表面特征的干涉仪
公开(公告)号：KR1020070104615A
公开(公告)日：2007-10-26
申请号：KR1020077019011
申请日：2006-01-19
申请人： 지고 코포레이션
发明人： 드레가새비어콜론나 , 드그루트피터
IPC分类号： G01B11/02 , G01B11/06
CPC分类号： G01B9/023 , G01B9/02004 , G01B9/02027 , G01B9/02043 , G01B9/02044 , G01B9/02057 , G01B9/02072 , G01B9/02074 , G01B9/02084 , G01B9/02088 , G01B9/0209 , G01B11/0675 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01N21/21 , G01N21/211
摘要： (i) an interferometer configured to direct test electromagnetic radiation to a test surface (124) and reference electromagnetic radiation to a reference surface (122) and subsequently combine the electromagnetic radiation to form an interference pattern, the electromagnetic radiation being derived from a common source (102); (ii) a multi-element detector (134); and (iii) one or more optics (13S) configured to image the interference pattern onto the detector (134) so that different elements of the detector (134) correspond to different illumination angles of the test surface (124) by the test electromagnetic radiation. The measurements made by the detector elements provide ellipsometry/ ref lectometry data for the test surface (124). The disclosed system (100) can further be reconfigured to operate in a different mode (e.g., a profiling mode) in which the different elements of the detector (134) correspond to different locations of the test surface (124).
摘要翻译：（i）干涉仪，被配置为将测试电磁辐射引导到测试表面（124）并将电磁辐射引用到参考表面（122），并且随后组合电磁辐射以形成干涉图案，所述电磁辐射是从公共源（102）; （ii）多元件检测器（134）; 以及（iii）被配置为将所述干涉图案成像到所述检测器（134）上的一个或多个光学器件（13S），使得所述检测器（134）的不同元件对应于所述测试表面（124）通过所述测试电磁辐射。由检测器元件进行的测量为测试表面（124）提供椭圆测量/参考测量数据。所公开的系统（100）还可被重新配置为以不同的模式（例如，轮廓模式）操作，其中检测器（134）的不同元件对应于测试表面（124）的不同位置。

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