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1. 发明授权

KR100808886B1 위치 검출장치 및 방법 有权
标题翻译：位置检测装置和方法
公开(公告)号：KR100808886B1
公开(公告)日：2008-03-03
申请号：KR1020050096983
申请日：2005-10-14
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 이시주카코
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/02
CPC分类号： G01B9/02018 , G01B9/02061 , G01B9/02079 , G01B2290/15 , G01B2290/45 , G01B2290/70
摘要： 본 발명의 위치 검출장치는, 광원의 광속으로부터 평행 광속을 형성하고, 빔 스플리터에 의해 분리된 분리 광속이 기준면 및 측정 대상면 각각에 비스듬한 각도로 입사하도록, 평행 광속을 빔 스플리터에 공급하는 입사 유닛과, 기준면과 측정 대상면에서 반사되어, 빔 스플리터에 의해 광로가 통일된 분리 광속을, 광로를 따라 빔 스플리터에 평행 광속으로서 공급하기 위해 반사하는 반사 유닛을 가지고, 반사 유닛으로부터 공급되고, 빔 스플리터에서 분리되며, 기준면과 측정 대상면에서 반사되고, 빔 스플리터에서 다시 광로가 통일된 광속을 간섭시켜, 분리 광속의 위상차에 대응한 신호를 생성한다.
광로, 스플리터, 위상차, 가간섭성.

2. 发明公开

KR1020110079542A 물체의 각변위를 간섭계에 의해 측정하기 위한 장치 및 방법 失效
标题翻译：旋转干涉仪
公开(公告)号：KR1020110079542A
公开(公告)日：2011-07-07
申请号：KR1020100138019
申请日：2010-12-29
申请人： 미쓰비시덴키 가부시키가이샤
发明人： 예라즈니스윌리엄에스 , 워터스리차드씨
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/26
CPC分类号： G01B9/02018 , G01B9/02056 , G01B9/02081 , G01B11/26 , G01B2290/15 , G01B2290/45 , G01B2290/70
摘要： PURPOSE: Device and method for measuring the angular displacement of an object with an interferometer are provided to reduce weight of a rotary interferometer and increase a range of angle. CONSTITUTION: A device for measuring the angular displacement of an object with an interferometer comprises a laser beam generator(100) and a splitter. The splitter splits the laser beam to a reference beam and a measuring beam. The reference beam directs to a fixed reference retro-reflector and subsequently, a phase shift detector(200). The measuring beam directs to the rotatable reflecting surface of the object and a fixed measuring retro-reflector, returns to the rotatable reflecting surface and directs to the phase shift detector. As a result, the phase shift detector measures the angular displacement of the rotatable reflecting surface when the path length of the measuring beam changes, when the rotatable reflecting surface makes displacement.
摘要翻译：目的：提供用于通过干涉仪测量物体的角位移的装置和方法，以减少旋转干涉仪的重量并增加角度范围。构成：用于用干涉仪测量物体的角位移的装置包括激光束发生器（100）和分离器。分束器将激光束分成参考光束和测量光束。参考光束指向固定的参考反射器，随后指向相移检测器（200）。测量光束指向物体的可旋转反射表面和固定的测量后向反射器，返回到可旋转反射表面并引导到相移检测器。结果，当可旋转反射表面发生位移时，相移检测器测量当测量光束的路径长度改变时可旋转反射表面的角位移。

3. 发明公开

KR1020060054006A 위치 검출장치 및 방법 有权
标题翻译：位置检测装置和方法
公开(公告)号：KR1020060054006A
公开(公告)日：2006-05-22
申请号：KR1020050096983
申请日：2005-10-14
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 이시주카코
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/02
CPC分类号： G01B9/02018 , G01B9/02061 , G01B9/02079 , G01B2290/15 , G01B2290/45 , G01B2290/70
摘要： 본 발명의 위치 검출장치는, 광원의 광속으로부터 평행 광속을 형성하고, 빔 스플리터에 의해 분리된 분리 광속이 기준면 및 측정 대상면 각각에 비스듬한 각도로 입사하도록, 평행 광속을 빔 스플리터에 공급하는 입사 유닛과, 기준면과 측정 대상면에서 반사되어, 빔 스플리터에 의해 광로가 통일된 분리 광속을, 광로를 따라 빔 스플리터에 평행 광속으로서 공급하기 위해 반사하는 반사 유닛을 가지고, 반사 유닛으로부터 공급되고, 빔 스플리터에서 분리되며, 기준면과 측정 대상면에서 반사되고, 빔 스플리터에서 다시 광로가 통일된 광속을 간섭시켜, 분리 광속의 위상차에 대응한 신호를 생성한다.
광로, 스플리터, 위상차, 가간섭성.

4. 发明公开

KR1020010032012A 모노리식 광학조립체 및 빔스프리터 조립체를 가진 관련역반사장치 失效
标题翻译：具有整体式光学组件和分束器组件相关的回射器件
公开(公告)号：KR1020010032012A
公开(公告)日：2001-04-16
申请号：KR1020007005127
申请日：1998-09-08
申请人： 피엘엑스 인코포레이티드
发明人： 블라이어,쯔비 , 비쉬니어,이타이
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01J3/453 , G01B9/02051 , G01B2290/15 , G02B5/122 , G02B27/14
摘要： 본발명에따르면, 모노리식구조체및 역반사장치/빔스프리터조합을가진개선된광학조립체(200)가제공된다. 제 1 및제 2 장착부재들과빔스프리터(130)에의해모노리식구조체내부로연결된상부및 하부판(260,270)이상기모노리식광학조립체에구성된다. 또한빔스프리터(130)와반사관계를형성하는제 1 반사조립체(150)가상기조립체에구성된다. 본발명의선택적실시예에의하여상기 6개의부품들을가진모노리식구조체가모노리식구조의공동구조를가진코너큐브역반사장치(400)로대체되고, 상기역반사장치판넬들중한 개는반사표면(420)이고, (제 1 판넬의반사표면에대해 45도각도에위치한) 또다른판넬이빔스프리터(410)이며, 또다른판넬은지지판넬(430)로서, 공동구조의코너큐브역반사장치(400)의구성을완성하기위해이용된다.

5. 发明公开

KR1020120092613A 마이크로리소그래피 투영 노광 장치의 광학 시스템 有权
标题翻译：光学系统，特别是微波投影曝光装置
公开(公告)号：KR1020120092613A
公开(公告)日：2012-08-21
申请号：KR1020127011154
申请日：2010-09-08
申请人： 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하
发明人： 호프,알브렉트 , 뉴게바우어,디에트마르 , 프레이만,롤프
IPC分类号： G01M11/00 , G03F7/20 , G01B9/02 , G02B13/24
CPC分类号： G03F7/70833 , G01B9/02027 , G01B9/0209 , G01B11/2441 , G01B2290/15 , G03F7/70233 , G03F7/70258
摘要： 본 발명은 특히 광학 시스템에 관한 것으로서, 상기 광학 시스템은 제 1 광학 구성 요소(110,210,910), 제 2 광학 구성 요소(120,220,920), 및 상기 제 1 광학 구성 요소 및 상기 제 2 광학 구성 요소의 상대 위치를 6개의 자유도로 결정하는 측정 장치를 포함하는데, 상기 측정 장치는 6개의 상이한 길이 측정부(131-136; 231-236; 931-936)를 통해 상기 제 1 광학 구성 요소 및 상기 제 2 광학 구성 요소의 상대 위치를 결정하도록 적응되고, 상기 길이 측정부(131-136; 231-236; 931-936)는 상기 제 1 광학 구성 요소(110,210,910)와 상기 제 2 광학 구성 요소(120,220,920) 사이로 직접 연장한다.

6. 发明授权

KR100407007B1 일체형 광조립체 失效
标题翻译： 일체형광조립체
公开(公告)号：KR100407007B1
公开(公告)日：2003-11-28
申请号：KR1020017013694
申请日：2000-04-11
申请人： 피엘엑스 인코포레이티드
发明人： 블라이어,즈비 , 비시나,이타이
IPC分类号： G01J3/45
CPC分类号： G01B9/02051 , G01B9/02056 , G01B9/0209 , G01B2290/15 , G01J3/453 , G02B5/122 , G02B27/14
摘要： In accordance with the invention, an improved optical assembly having a monolithic structure is provided. The monolithic optical assembly is useful in interferometers to achieve a fringe effect in a Fourier transform spectrometer, and comprises top and bottom members which are joined into a monolithic structure by first and second support members and a beamsplitter. The assembly also comprising a first reflecting assembly in reflecting relation with the beamsplitter. An alternate embodiment of the invention has an added reflecting assembly in reflecting relation with the first reflecting assembly and the beamsplitter assembly, which allows for the use of multiple wavelength light sources to achieve a fringe effect in a Fourier transform spectrometer.
摘要翻译：根据本发明，提供了一种具有单片结构的改进的光学组件。单片光学组件在干涉仪中用于在傅立叶变换光谱仪中获得边缘效应，并且包括由第一和第二支撑构件以及分束器连接成单片结构的顶部和底部构件。该组件还包括与分束器反射关系的第一反射组件。本发明的可选实施例具有与第一反射组件和分束器组件反射关系的附加反射组件，其允许使用多个波长光源来实现傅立叶变换光谱仪中的条纹效应。

7. 发明授权

KR101328870B1 마이크로리소그래피 투영 노광 장치의 광학 시스템 有权
标题翻译：光学系统，特别是微波投影曝光装置
公开(公告)号：KR101328870B1
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：KR1020127011154
申请日：2010-09-08
申请人： 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하
发明人： 호프,알브렉트 , 뉴게바우어,디에트마르 , 프레이만,롤프
IPC分类号： G01M11/00 , G03F7/20 , G01B9/02 , G02B13/24
CPC分类号： G03F7/70833 , G01B9/02027 , G01B9/0209 , G01B11/2441 , G01B2290/15 , G03F7/70233 , G03F7/70258
摘要： 본 발명은 특히 광학 시스템에 관한 것으로서, 상기 광학 시스템은 제 1 광학 구성 요소(110,210,910), 제 2 광학 구성 요소(120,220,920), 및 상기 제 1 광학 구성 요소 및 상기 제 2 광학 구성 요소의 상대 위치를 6개의 자유도로 결정하는 측정 장치를 포함하는데, 상기 측정 장치는 6개의 상이한 길이 측정부(131-136; 231-236; 931-936)를 통해 상기 제 1 광학 구성 요소 및 상기 제 2 광학 구성 요소의 상대 위치를 결정하도록 적응되고, 상기 길이 측정부(131-136; 231-236; 931-936)는 상기 제 1 광학 구성 요소(110,210,910)와 상기 제 2 광학 구성 요소(120,220,920) 사이로 직접 연장한다.

8. 发明授权

KR101227763B1 물체의 각변위를 간섭계에 의해 측정하기 위한 장치 및 방법 失效
标题翻译：旋转干涉仪
公开(公告)号：KR101227763B1
公开(公告)日：2013-01-29
申请号：KR1020100138019
申请日：2010-12-29
申请人： 미쓰비시덴키 가부시키가이샤
发明人： 예라즈니스윌리엄에스 , 워터스리차드씨
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/26
CPC分类号： G01B9/02018 , G01B9/02056 , G01B9/02081 , G01B11/26 , G01B2290/15 , G01B2290/45 , G01B2290/70
摘要： 레이저 빔을 참조 빔과 측정 빔으로 분할함으로써 물체의 각변위가 간섭계에 의해 측정된다. 참조 빔은 고정된 참조 재귀반사기로 향하고, 이어서 위상 시프트 검출기로 향한다. 측정 빔은 물체의 회전가능한 반사면으로 향하고, 이어서 고정된 측정 재귀반사기로 향하며, 이어서 회전가능한 반사면으로 되돌아가고, 이어서 위상 시프트 검출기로 향하며, 그 결과 위상 시프트 검출기는, 회전가능한 반사면이 변위될 때 측정 빔의 경로 길이가 변할 때의 회전가능한 반사면의 각변위를 측정한다.

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