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1. 发明公开

KR1020040074069A 광위상 간섭측정법 및 그 시스템 有权
标题翻译：光学相位干涉测量及其系统
公开(公告)号：KR1020040074069A
公开(公告)日：2004-08-21
申请号：KR1020047008930
申请日：2002-12-04
申请人： 지고 코포레이션
发明人： 덱,레스리,엘
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B11/06 , G01B9/02004 , G01B9/0201 , G01B9/02021 , G01B9/02028 , G01B9/02057 , G01B9/02081 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70
摘要： 광위상간섭측정법은 다중 표면(109)에서 반사된 광학 파두(140)의 다른 부분을 합하여 광학 간섭상을 형성하는 단계; 간섭신호에 다르게 기여하는 다른 광거리 분리를 가지는 다중 표면 쌍을 야기하는 광학 파두의 성질을 변화하는 것에 대하여 광학 간섭상의 다른 위치에서 간섭신호를 기록하는 단계(170); 다중표면쌍 각각에 대응하는 스펙트럼 좌표에서 피크를 가지는 스펙트럼을 만들기 위한 최소한 하나의 위치에 대한 간섭신호를 변환하는 단계(180); 및 선택된 다중표면쌍에 대응하는 피크의 스펙트럼 좌표를 확인하는 단계(190)로 이루어진다.

2. 发明公开

KR1020080042187A 광위상간섭측정법 및 그 시스템 有权
标题翻译：相移干涉法和系统
公开(公告)号：KR1020080042187A
公开(公告)日：2008-05-14
申请号：KR1020087010355
申请日：2002-12-04
申请人： 지고 코포레이션
发明人： 덱,레스리,엘
IPC分类号： G01B9/02 , G01B9/00
摘要： i) forming an optical interference image by combining different portions of an optical wave front (140) reflected from multiple surfaces (109); ii) recording (170) an interference signal at different locations of the optical interference image in response to varying a property of the optical wave front that causes pairs of the multiple surfaces that have different optical path separations to contribute differently to the interference signal; iii) transforming (180) the interference signal for at least one of the locations to produce a spectrum having a peak at a spectral coordinate corresponding to each pair of the multiple surfaces; and iv) identifying (190) the spectral coordinate of the peak corresponding to a selected pair of the multiple surfaces.
摘要翻译： i）通过组合从多个表面（109）反射的光波前面（140）的不同部分来形成光学干涉图像; ii）响应于改变具有不同光路分离的多个表面的对的光波前的属性来响应于干涉信号而对光干涉图像的不同位置处的干扰信号进行记录（170）; iii）对所述位置中的至少一个对所述干扰信号进行变换（180），以产生在对应于每对所述多个表面的频谱坐标处具有峰值的频谱; 以及iv）识别（190）与所选择的多个表面对对应的峰的谱坐标。

3. 发明授权

KR100941928B1 광위상 간섭측정법 및 그 시스템 有权
标题翻译：相移干涉测量方法和系统
公开(公告)号：KR100941928B1
公开(公告)日：2010-02-11
申请号：KR1020047008930
申请日：2002-12-04
申请人： 지고 코포레이션
发明人： 덱,레스리,엘
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B11/06 , G01B9/02004 , G01B9/0201 , G01B9/02021 , G01B9/02028 , G01B9/02057 , G01B9/02081 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70
摘要： 광위상간섭측정법은 다중 표면(109)에서 반사된 광학 파면(140)의 다른 부분을 합하여 광학 간섭상을 형성하는 단계; 간섭신호에 다르게 기여하는 다른 광거리 차를 가지는 다중 표면 쌍을 야기하는 광학 파면의 성질을 변화하는 것에 대하여 광학 간섭상의 다른 위치에서 간섭신호를 기록하는 단계(170); 다중표면쌍 각각에 대응하는 스펙트럼 좌표에서 피크를 가지는 스펙트럼을 만들기 위한 최소한 하나의 위치에 대한 간섭신호를 변환하는 단계(180); 및 선택된 다중표면쌍에 대응하는 피크의 스펙트럼 좌표를 확인하는 단계(190)로 이루어진다.
광위상간섭측정법

4. 发明授权

KR100858447B1 광위상간섭측정법 및 그 시스템 有权
标题翻译：相移干涉测量方法和系统
公开(公告)号：KR100858447B1
公开(公告)日：2008-09-12
申请号：KR1020087010355
申请日：2002-12-04
申请人： 지고 코포레이션
发明人： 덱,레스리,엘
IPC分类号： G01B9/02 , G01B9/00
摘要： 광위상간섭측정법은 다중 표면(109)에서 반사된 광학 파면(140)의 다른 부분을 합하여 광학 간섭상을 형성하는 단계; 간섭신호에 다르게 기여하는 다른 광거리 차를 가지는 다중 표면 쌍을 야기하는 광학 파면의 성질을 변화하는 것에 대하여 광학 간섭상의 다른 위치에서 간섭신호를 기록하는 단계(170); 다중표면쌍 각각에 대응하는 스펙트럼 좌표에서 피크를 가지는 스펙트럼을 만들기 위한 최소한 하나의 위치에 대한 간섭신호를 변환하는 단계(180); 및 선택된 다중표면쌍에 대응하는 피크의 스펙트럼 좌표를 확인하는 단계(190)로 이루어진다.
광위상간섭측정법

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