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1. 发明授权

KR100248362B1 위상 시프트 마스크 검사장치 및 검사방법 失效
标题翻译：用于检查相移片的装置和方法
公开(公告)号：KR100248362B1
公开(公告)日：2000-06-01
申请号：KR1019970045576
申请日：1997-09-03
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 오노아키라 , 오하시가츠키 , 후지와라다케시
IPC分类号： G03F1/84 , G03F1/26 , G03F7/20
CPC分类号： G03F1/84 , G01B9/02024 , G01B9/02082 , G01B2290/70 , G03F1/26
摘要： 본 발명은 위상 시프트 마스크 검사장치 및 검사방법에 관한 것으로서,
위상 시프트 마스크 검사장치는 UV레이저광을 출력하는 레이저광원과, 이 UV레이저광을 복수의 점광원으로 이루어지는 점광원군의 광으로 변환하는 광변환수단과, 이 변환된 점광원군의 광을 2가지 편광으로 분리하고, 이러한 편광을 위상 시프트 마스크에 옆으로 빗겨나게 하여 조명하는 조사광학계와, 위상 시프트 마스크를 투광한 두가지의 편광을 서로 겹치게 하여 간섭시킨 수단과, 두가지 편광 간의 위상차를 상대적으로 변화시키는 위상변조수단과, 이 위상변조수단에 의해 변화된 간섭광의 강도에 기초하여 위상 시프트 마스크에 있어서 위상 시프터의 위상량을 구하는 위상량 산출수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

2. 发明公开

KR1020120094126A 간섭 거리 측정기에서의 스페클 경감 방법 및 대응하는 거리 측정기 有权
标题翻译：干涉仪距离计和相应距离计的方法
公开(公告)号：KR1020120094126A
公开(公告)日：2012-08-23
申请号：KR1020127018187
申请日：2010-12-13
申请人： 라이카 게오시스템스 아게
发明人： 로너마르셀 , 살바데이브스
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/02 , G01S17/32
CPC分类号： G01B9/02 , G01B9/02082 , G01B2290/45 , G01S17/32
摘要： 간섭 거리 측정기에서의 스페클 경감 방법은, 적어도 하나의 파장 λ을 갖는 광학적 복사(optical radiation; 12)를 관측 타겟(11)에 전송하는 단계; 광축(OA)에서 타겟(11)에 의해 후방 산란된 상기 광학적 복사(12)의 일부를 수신하는 단계로서, 상기 광학적 복사(12)은 스페클 필드(speckle field)를 형성하는, 광학적 복사(12)의 일부를 수신하는 단계; 상기 수신된 광학적 복사(12)를 적어도 하나의 수신된 신호로 변환하는 단계; 및 절대 또는 측정 간섭측정 거리 측정들에 의해 상기 수신된 신호로부터 상기 타겟(11)까지의 실제 거리(true distance)를 결정하는 단계;를 포함한다. 상기 방법에 있어서, 광축(OA)에 대한 상기 실제 포인팅 방향이 결정되고, 여기서 스페클 효과들로 인한 거리 에러가 보정된다.

3. 发明授权

KR101527764B1 레이저 간섭계를 이용한 3차원 형상 검사장치 有权
标题翻译： 3尺寸图像测量装置使用激光干涉仪
公开(公告)号：KR101527764B1
公开(公告)日：2015-06-11
申请号：KR20150021175
申请日：2015-02-11
申请人： NEXSTAR TECHNOLOGY CO LTD
发明人： KIM JEONG DUCK
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/24
CPC分类号： G01B9/02096 , G01B9/02082 , G01B11/2441
摘要： 본발명은레이저간섭계를이용한 3차원형상검사장치에관한것으로, 제1 및제2 레이저간섭계(10a, 10b)는광경로차가λ/4 씩순차로커지는간섭무늬를발생시켜서로다른위치에서검사대상체(101)에조사한다. 검사부(20)는제1 및제2 레이저간섭계(10a, 10b)에서발생된광경로차가λ/4 씩순차로커지는간섭무늬가검사대상체(101)에반사되어발생되는간섭무늬영상을획득하여메인영상처리부(30)로출력한다. 메인영상처리부(30)는검사부(20)에서입력되는광경로차가λ/4 씩순차로커지는간섭무늬영상을위상처리기법으로처리하여검사대상체(101)의 3차원형상을획득하여검사하도록구성됨으로써정밀도와노이즈에대한저항력이좋은 3차원형상을얻을수 있다.
摘要翻译：本发明涉及使用激光干涉仪的三维形状检查装置。第一和第二激光干涉仪（10a，10b）通过产生其中光程差依次增加λ/ 4的干涉图案将检查对象（101）照射在不同位置。检查部件（20）通过获得通过反射干涉图案而产生的干涉图案图像，将干涉图案图像输出到主图像处理部分，其中光路差依次增加λ/ 4，并从第一和检查对象（101）中的第二激光干涉仪（10a，10b）。主图像处理部（30）通过处理光程差依次增加λ/ 4的干涉图案，并从检查部（20）输入的干涉图案，通过处理检查对象（101）的三维形状，相位处理方法。因此，可以获得具有优异的精度和抗噪声的三维形状。

4. 发明授权

KR101418832B1 간섭 거리 측정기에서의 스페클 경감 방법 및 대응하는 거리 측정기 有权
标题翻译：干涉测距仪和对应测距仪中散斑减轻的方法
公开(公告)号：KR101418832B1
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：KR1020127018187
申请日：2010-12-13
申请人： 라이카 게오시스템스 아게
发明人： 로너마르셀 , 살바데이브스
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/02 , G01S17/32
CPC分类号： G01B9/02 , G01B9/02082 , G01B2290/45 , G01S17/32
摘要： 간섭 거리 측정기에서의 스페클 경감 방법은, 적어도 하나의 파장 λ을 갖는 광학적 복사(optical radiation; 12)를 관측 타겟(11)에 전송하는 단계; 광축(OA)에서 타겟(11)에 의해 후방 산란된 상기 광학적 복사(12)의 일부를 수신하는 단계로서, 상기 광학적 복사(12)은 스페클 필드(speckle field)를 형성하는, 광학적 복사(12)의 일부를 수신하는 단계; 상기 수신된 광학적 복사(12)를 적어도 하나의 수신된 신호로 변환하는 단계; 및 절대 또는 측정 간섭측정 거리 측정들에 의해 상기 수신된 신호로부터 상기 타겟(11)까지의 실제 거리(true distance)를 결정하는 단계;를 포함한다. 상기 방법에 있어서, 광축(OA)에 대한 상기 실제 포인팅 방향이 결정되고, 여기서 스페클 효과들로 인한 거리 에러가 보정된다.

5. 发明授权

KR101893948B1 다채널 광간섭 측정 장치 有权
公开(公告)号：KR101893948B1
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：KR1020170059111
申请日：2017-05-12
申请人： 휴멘 주식회사
发明人： 박재석 , 유정수
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/24
CPC分类号： G01B9/02096 , G01B9/02082 , G01B11/2441
摘要： 다채널광간섭측정장치이개시된다. 본발명의일실시예에따른다채널광간섭측정장치는광대역광원과, 광대역광원으로부터출력된광을측정광과기준광으로분배하는광 분배기와, 광분배기에의해분배된측정광을복수의측정광으로분배하는측정광분배기와, 광분배기에의해분배된기준광을복수의기준광으로분배하는기준광분배기와, 측정광분배기와기준광분배기로부터한 쌍의측정광과기준광이서로대향하는방향으로각각입사되고, 입사된각 한쌍의측정광과기준광에대하여측정광이측정대상물에반사된광에기준광이간섭한간섭광을각각출력하는복수의광 간섭계와, 복수의광 간섭계로부터출력된각 간섭광을촬영하는복수의카메라및 복수의카메라에의해촬영된각 영상데이터를이용하여측정대상물의표면을판단하는제어기를포함한다.

6. 发明公开

KR1020130069474A 다파장 간섭계를 포함하는 계측 장치 无效
标题翻译：包括多波长干涉仪的测量装置
公开(公告)号：KR1020130069474A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：KR1020120145940
申请日：2012-12-14
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 하타다아키히로 , 구라모토요시유키
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02096 , G01B9/02002 , G01B9/02007 , G01B9/02027 , G01B9/02061 , G01B9/02067 , G01B9/02068 , G01B9/02082 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/50 , G01B2290/70 , G01B9/02
摘要： PURPOSE: A measuring device with a multi-wavelength interferometer is provided to measure an object by using a measurement result after measuring a position or a shape of a target surface, thereby enabling to process the target surface to have a desired surface shape coinciding with design. CONSTITUTION: A measuring device with a multi-wavelength interferometer comprises a control unit(7). The multi-wavelength interferometer utilizes a plurality of fluxes which frequencies are different. The control unit obtains a position and a shape of a target object by using coherent light signals detected by the multi-wavelength interferometer. The multi-wavelength interferometer includes an optical system, a spectral unit(18), and optical members(21a,21b). The optical system makes target lights and reference lights which are incident into the target surface and reflected by the target surface coherent each other. The spectral unit splits the coherent lights of the target lights and the reference lights into each wavelength. [Reference numerals] (AA) Surface to inspected
摘要翻译：目的：提供具有多波长干涉仪的测量装置，通过在测量目标表面的位置或形状之后使用测量结果来测量物体，从而能够将目标表面处理成具有与设计一致的期望的表面形状。构成：具有多波长干涉仪的测量装置包括一个控制单元（7）。多波长干涉仪利用频率不同的多个通量。控制单元通过使用由多波长干涉仪检测出的相干光信号来获得目标物体的位置和形状。多波长干涉仪包括光学系统，光谱单元（18）和光学构件（21a，21b）。光学系统使入射到目标表面并被目标表面反射的目标光和参考光相互相干。光谱单元将目标光和参考光的相干光分为每个波长。（附图标记）（AA）要检查的表面

7. 发明公开

KR1020130045189A 다파장 간섭계, 측정 장치, 및 측정 방법 无效
标题翻译：多波长干涉仪，测量装置和测量方法
公开(公告)号：KR1020130045189A
公开(公告)日：2013-05-03
申请号：KR1020120117694
申请日：2012-10-23
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 야마다아키히로
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02007 , G01B9/02002 , G01B9/02061 , G01B9/02067 , G01B9/0207 , G01B9/02082 , G01B2290/45 , G01B2290/50 , G01B2290/70
摘要： PURPOSE: A multi-wavelength interferometer, a measuring device, and a measuring method are provided to obtain the multi-wavelength interferometer which does not decrease measurement accuracy even though a measurement surface is tilted. CONSTITUTION: A multi-wavelength interferometer comprises beam splitters(12,13), a frequency shifter(9), an optical system, a dividing unit, and a detection unit. The beam splitters spit light fluxes into reference beams and measurement beams. The frequency shifter shifts frequencies of the reference beams or measurement beams or makes the frequencies of the reference beams and measurement beams different by shifting the frequencies of the reference beams and measurement beams. The optical system makes the measurement beams incident into the measurement surface and the measurement beams reflected by the measurement surface coherent with the reference beams, thereby obtaining coherent lights. The dividing unit divides the coherent beams into a plurality of optical beams. The detection unit detects the optical beams divided into the dividing unit per each wavelength. [Reference numerals] (23) Computing device; (7) Laser control unit; (9) Frequency shifter; (AA) Measurement surface
摘要翻译：目的：提供多波长干涉仪，测量装置和测量方法以获得即使测量表面倾斜也不降低测量精度的多波长干涉仪。构成：多波长干涉仪包括分束器（12,13），变频器（9），光学系统，分割单元和检测单元。分束器将光束喷射到参考光束和测量光束中。移相器移动参考光束或测量光束的频率，或通过移动参考光束和测量光束的频率使得参考光束和测量光束的频率不同。光学系统使测量光束入射到测量表面，并且由测量表面反射的测量光束与参考光束相干，从而获得相干光。分割单元将相干光束分为多个光束。检测单元检测每个波长分割成分割单元的光束。（附图标记）（23）计算装置; （7）激光控制单元; （9）变频器; （AA）测量面

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