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1. 发明授权

KR101800935B1 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 有权
标题翻译：基板处理装置及基板处理方法
公开(公告)号：KR101800935B1
公开(公告)日：2017-11-23
申请号：KR1020150130326
申请日：2015-09-15
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 하시모토고지 , 하타노아키토 , 하야시도요히데 , 즈치야게이이치
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/66
CPC分类号： G01B11/26 , B25J11/0095 , G01B11/0608 , G01V8/20 , H01L21/67259 , H01L21/67778
摘要： 센서진퇴이동부에의해캐리어내에맵핑센서를진입시킨상태에서, 센서승강부에의해맵핑센서를상하방향으로이동시킨다. 이동작과함께, 맵핑센서에의해캐리어에기판을넣고빼는전후방향과교차하는수평방향을향해서기판의유무를검출하고, 높이센서에의해맵핑센서의높이를검출한다. 이에따라, 전후방향의서로상이한 2개소이상에서기판높이를검출시킨다. 기판상태취득부는, 그기판높이에의거하여, 전후방향의수평에대한각 기판의기울기를취득한다. 캐리어내에서의각 기판의기울기를사전에취득하므로, 기판반송기구의핸드와기판이접촉함으로써발생하는기판파손을방지할수 있다.
摘要翻译：并且，在通过传感器进退移动部使映射传感器位于载体的状态下，通过传感器升降部使映射传感器在上下方向上移动。借助这种操作，朝向相交刀片减去衬底以通过映射传感器载体的前后方向的水平方向上检测所述底物的存在，并通过高度传感器检测所述映射传感器的高度。因此，在向前和向后方向上的两个或更多个不同位置处检测基板的高度。基板状态取得部根据基板的高度求出各基板相对于前后方向的水平方向的倾斜度。由于预先获得载体中的每个基板的倾斜度，所以可以防止由基板传送机构的手与基板之间的接触引起的基板破损。

2. 发明公开

KR1020170124509A 검사 시스템 및 검사 방법 审中-实审
标题翻译：检查系统和检查方法
公开(公告)号：KR1020170124509A
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：KR1020170143423
申请日：2017-10-31
申请人： 주식회사 고영테크놀러지
发明人： 서승애 , 안원미 , 이혜인 , 이종휘
IPC分类号： G01B11/25 , G01B11/06 , G01B11/02 , G06T7/60 , G06T7/00
CPC分类号： G01B11/2513 , G01B11/02 , G01B11/0608 , G06T7/0004 , G06T7/60
摘要： 검사대상체의양불여부에따라검사대상체의윤곽에대해이미지처리를수행하고, 이미지처리된윤곽을검사대상체의양불여부를판단하기위한기준정보와중첩하여표시하는검사시스템및 검사방법이개시된다. 본발명에따른검사시스템은, 검사대상체에광을조사하여검사대상체의이미지를획득하는측정부와, 검사대상체의이미지에대해상기검사대상체의윤곽을검출하는처리부와, 윤곽을기준정보와중첩하여표시하는출력부를포함하고, 처리부는, 기준정보를바탕으로윤곽에대한양불여부를판단하여양불여부에따라윤곽에대한이미지처리를수행한다.
摘要翻译：一种检查系统和检查方法，用于根据检查对象是否不透明来对检查对象的轮廓执行图像处理，并将图像处理后的轮廓与用于确定检查对象是否不透明的参考信息叠加。根据本发明的检查系统包括：测量单元，用于将光照射到测试对象上以获得测试对象的图像;处理单元，用于检测测试对象的图像上的测试对象的轮廓; 并且处理单元基于参考信息来判断轮廓是正值还是负值，并且根据轮廓是正值还是负值来对轮廓执行图像处理。

3. 发明授权

KR101794641B1 파장 분리를 이용한 높이 및 형상측정이 가능한 경사 분광시스템 有权
标题翻译：倾斜的光谱系统能够使用波长分离进行高度和形状测量
公开(公告)号：KR101794641B1
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：KR1020170099745
申请日：2017-08-07
申请人： 주식회사 엘퓨젼옵틱스
发明人： 박진준
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/06 , G01B11/24 , H04N5/225 , G02B27/10 , G02B27/30 , F21V8/00 , G02B13/22
CPC分类号： G01B9/02044 , G01B11/0608 , G01B11/24 , G02B6/0006 , G02B13/22 , G02B27/1006 , G02B27/30 , H04N5/225
摘要： 본발명은파장분리를이용한높이및 형상측정이가능한경사분광시스템에관한것으로서, 상세하게는분산프리즘(dispersion prism) 혹은회절격자를이용하여백색빔을각 파장의빛으로분산시켜측정물에투사하고, 측정물에투사된분산된빛의위치정보를감지하여높이및 형상을측정할수 있도록하는파장분리를이용한높이및 형상측정이가능한경사분광시스템에관한것이다. 본발명에의하면, 분산프리즘이나회절격자를이용하여조명빔을파장별로분리시켜측정시료에조사하고분광된빛을미러부를이용하여 CCD카메라부(line CCD 카메라)에결상시켜물체의높이및 형상의위치정보를색 정보로통하여측정할수 있는광학식비접촉삼차원형상측정시스템을제공하게된다.
摘要翻译：本发明涉及一种倾斜光谱系统的高度和形状测定用波长可分离，特别是通过由每个波长的光使用或衍射光栅，分光棱镜（分散棱镜）分发白光束投射到工件还有一种能够使用波长分离测量高度和形状的倾斜分光系统，其能够通过检测投射在测量对象上的散射光的位置信息来测量高度和形状。根据本发明，通过对每个波长的照明光束分离使用分散棱镜或衍射光栅是利用反射镜的部分照射所述测量样品的光谱光，以在所述物体的高度和形状的CCD照相机单元上的图像（线阵CCD相机）通过颜色信息可以测量位置信息的接触式三维形状测量系统。

4. 发明公开

KR1020170105025A 적응적 홈 포커싱 및 레벨링 장치 및 방법 审中-实审
标题翻译：自适应家庭聚焦和找平设备和方法
公开(公告)号：KR1020170105025A
公开(公告)日：2017-09-18
申请号：KR1020177021035
申请日：2015-12-27
申请人： 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드
发明人： 치,징차오 , 천,페이뱌오
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70641 , G01B11/0608 , G01B11/26 , G03F9/7026 , G03F9/7034 , G03F7/70258 , G03F7/70275 , G03F7/70716
摘要： 측정대상(400)의표면의높이와기울기를측정하기위한, 적응적인홈 포커싱및 레벨링장치가개시된다. 상기측정대상(400)은표면에주기적인홈(401)을포함하고이동식테이블에의해지지된다. 상기포커싱및 레벨링장치는순차적으로조명부, 투영부, 검출부및 검출기(212)를포함하되, 상기측정대상(400)은광 경로를따라투영부와검출부사이에배치되고, 투영부는투영슬릿(203)을구비하고측정대상(400) 상에복수개의측정점(501)을형성하기위해사용되며, 상기복수개의측정점들(501) 각각은적어도세 개의측정용자식광 스팟들(502)을포함하며, 상기적어도세 개의측정용자식광 스팟들(502)은다른간격으로배열됨으로써, 상기복수개의측정점들(501)이측정대상(400)의표면에투영될시, 상기복수개의측정점들(501) 각각의상기적어도세 개의측정용자식광 스팟들(502) 중적어도두 개는홈(401) 바깥에위치게되고측정대상(400)의높이와기울기를측정하게된다.
摘要翻译：公开了一种用于测量测量对象（400）的表面的高度和倾斜的自适应家庭聚焦和水平调整装置。要测量的物体400在其表面上包括周期性凹槽401并且受到可移动台的作用。聚焦和找平装置依次包括照明单元，投影单元，检测单元和检测器212.测量对象400沿着光路布置在投影单元和检测单元之间，并且投影单元包括投影狭缝203 并且用于在测量对象400上形成多个测量点501.多个测量点501中的每一个包括用于测量的至少三个光点502，用于测量光的三个光点502以不同的间隔布置，使得当多个测量点501被投影到测量对象400的表面上时，至少三个测量光斑502中的两个位于凹槽401的外部以测量测量对象400的高度和倾斜度。

5. 发明公开

KR1020170102347A 조면의 마찰저항 예측방법 및 표면성능 평가장치 审中-实审
标题翻译：粗糙表面和表面评估装置摩擦阻力的估算方法
公开(公告)号：KR1020170102347A
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：KR1020177022006
申请日：2016-01-29
申请人： 주고꾸 도료 가부시키가이샤
发明人： 미에노히로히사
IPC分类号： G01N19/02
CPC分类号： G01N19/02 , G01B11/0608 , G01B11/303 , G01D5/347
摘要： 본발명은간편하고개인차가없으며, 게다가신속하게평가결과가얻어지는조도표면의마찰저항증가율의예측방법을제공하는것을과제로한다. 상기과제를해결하기위해, 본발명의조면의마찰저항예측방법은유속이다른유체와접하는조도파장이다른조면에대해서점성저층두께로부터노출된단위면적당총 노출조도투영면적 A(이하, 「노출조도투영면적 A」라함)를평가하여, 하기식(1)에의해마찰저항증가율 FIR(%) 또는하기식(2)에의해마찰저항증가△τ를산출하는것을특징으로한다.(식(1) 중계수 C는노출조도투영면적 A에의존하는상수로, 사전에조도가다른복수의조면에대해서유속 V를변경하여마찰저항시험을행하고, 마찰저항증가율 FIR(%)을측정하여구한것이다. 또한마찰저항증가율 FIR(%)은조면의마찰저항τ과활면의마찰저항τ의차 τ-τ를τ로나눈백분율이다. 식(2) 중계수 C은유체밀도ρ, 노출조도투영면적 A, 유속 V에의존하는상수로, 사전에조도가다른복수의조면에대해서유속 V를변경하여마찰저항시험을행하고, 마찰저항증가△τ를측정하여식(2)의관계로부터구한것이다. 또한마찰저항증가△τ는조면의마찰저항τ과활면의마찰저항τ의차 τ-τ이다.)
摘要翻译：到没有个体差异，本发明简便，和零，除了速效性是提供所获得的表面粗糙度的摩擦阻力增加率的预测方法。为了解决上述问题，本发明的粗糙度的摩擦估算方法的涂层，所述流率与其他的流体照射波长触点从粘度低暴露，对其他粗单元的总曝光照明投影面积A的厚度（称为“曝光的光强度（1）中，摩擦阻力增加率FIR（％）或摩擦阻力增加ΔT由下式（2）计算。（式1）继电器可以C由预先通过依赖于投影面积露出到照明的常数，照度测量相对于改变的速度V，以进行耐擦性试验的其他多个粗糙表面而获得，所述摩擦阻力增加率FIR（％）。另外，的摩擦阻力增加率FIR（％）摩擦τ和hwalmyeon摩擦τuicha的eunjo平面τ洛娜眼百分比的τ-τ。式（2）中继可能ç隐喻材料密度ρ，曝光用照明投影面积，所述流量V 流速V相对于预先具有不同粗糙度的多个粗糙表面改变，为了执行，它从摩擦阻力增加之间的关系△由式（2）τ测量来确定。此外，该摩擦阻力增大△τ是摩擦阻力和粗糙度hwalmyeon uichaττ-τ的摩擦阻力τ）。

6. 发明授权

KR101774738B1 부피 및 중량 자동 측정 시스템 有权
公开(公告)号：KR101774738B1
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：KR1020160078751
申请日：2016-06-23
申请人： 주식회사 웰텍
发明人： 정연관 , 김대영
IPC分类号： G01G19/00 , G01D21/02 , G01B11/06 , G01B11/14 , G01C17/00 , G01B11/02
CPC分类号： G01G19/002 , G01B11/02 , G01B11/06 , G01B11/0608 , G01B11/14 , G01C17/00 , G01D21/02
摘要： 본발명은부피및 중량자동측정시스템에관한것으로, 소포또는화물의부피및 중량을자동으로측정하는부피및 중량자동측정시스템에관한것이다. 이를위해본 발명의측정시스템은평판형상을가지며, 저면에위치하는베이스, 상기베이스의상단에평판타입으로형성되는측정상판, 일측이상기베이스와연결되며, 일정길이를갖는막대타입으로형성되는연결부재, 상기연결부재의외측에인출된상태에서외부로부터가압되면, 상기연결부재의내측으로인입되는엑츄에이터, 상기엑츄에이터와직접또는간접으로연결되며, 상기엑츄에이터가상기연결부재의외측에인출된상태에서는상기측정상판의하단에위치하며, 상기엑츄에이터가상기연결부재의내측에인입된상태에서는상기측정상판의상단으로이동하는깊이측정센서부를포함한다.

7. 发明公开

KR1020160129728A 검출 장치, 계측 장치, 노광 장치, 및 물품의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：检测装置测量装置光刻装置及其制造方法
公开(公告)号：KR1020160129728A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：KR1020160049077
申请日：2016-04-22
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 마에다히로노리
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/21 , H01S3/225 , G02B13/00 , G02B5/30
CPC分类号： G03F7/70191 , G01B11/0608 , G01B11/14 , G03F9/7026
摘要： 본발명은, 굴절률이서로다른복수의층을갖는기판에광을비스듬히입사시켜, 상기기판에서반사된광을사용하여상기기판의높이를검출하는검출장치를제공하고, 이검출장치는, S편광을감소하기위한편광자를갖고, 상기편광자에의해 S편광이감소된광을 40°내지 55°의범위내에있는입사각도로상기기판에입사시키는, 광학계를구비한다.
摘要翻译：本发明提供了一种检测装置，其使光倾斜地入射在包括折射率彼此不同的多个层的基板（3）上，并且使用从基板反射的光检测基板的高度，该装置包括一种光学系统（41a），包括用于减少s偏振光的偏振器（41a 1），并且被配置成使偏振器已经减少了s偏振光的光以入射角以入射角度入射到基板上范围为40°至55°。

8. 发明公开

KR1020160117415A 무접촉식 광학 거리 측정용 장치 审中-实审
标题翻译：无连续光学距离测量装置
公开(公告)号：KR1020160117415A
公开(公告)日：2016-10-10
申请号：KR1020167016852
申请日：2014-11-12
申请人： 마이크로-엡실론 메세테크니크 게엠베하 앤체오. 카게
发明人： 그로스헤르베르트 , 메세르슈미트베른하르트 , 종민이 , 쿤체마르셀
IPC分类号： G01B11/02 , G01B11/06
CPC分类号： G01B11/0608 , G01B11/026 , G01B2210/50 , G02B13/18
摘要： 무접촉식광학거리측정용장치가설명되는데, 이장치는다색광원(3), 광분석유닛(4) 및측정헤드(5)를포함하고, 측정헤드(5)는조리개개구(6) 및종방향색 수차를갖는광학렌즈시스템(12)을갖는다. 광학렌즈시스템(12)은제1 굴절렌즈(1) 및제2 굴절렌즈(2)로이루어지고, 굴절렌즈(1, 2) 중적어도하나는적어도하나의비구면곡면렌즈면(11)을갖고, 제1 굴절렌즈(1) 및/또는제2 굴절렌즈(2)는아베수 20 ≤ν≤ 41을갖는광학재료를갖는다. 광학렌즈시스템(12)은파장 450 nm 내지 700 nm의광학렌즈시스템(12)의축방향초점시프트에동일한측정영역(measurement region: MR)이 0.2 mm(포함) 내지 10 mm(포함)인종방향색 수차를갖는다.
摘要翻译：非接触式光学距离测量装置包括多色光源，光分析单元和测量头。测量头具有孔径开口和具有彩色纵向像差的光学透镜系统。光学透镜系统包括第一折射透镜元件和第二折射透镜元件。折射透镜元件中的至少一个具有至少一个非球面透镜表面，并且第一折射透镜元件和/或第二折射透镜元件具有阿贝数20←V d←41的光学材料。光学透镜系统具有这样的彩色纵向像差，其测量区域等于450nm和700nm波长之间的光学透镜系统的轴向焦点偏移在0.2mm和10mm之间。

9. 发明授权

KR101650817B1 프리즘을 이용한 3차원 형상 측정장치 有权
标题翻译： 3三维图像测量设备使用PRISM
公开(公告)号：KR101650817B1
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：KR1020140123864
申请日：2014-09-17
申请人： 주식회사 고영테크놀러지
发明人： 홍종규
IPC分类号： G01B11/24 , G01B11/06
CPC分类号： G01B11/24 , G01B9/02022 , G01B11/06 , G01B11/0608 , G02B5/04
摘要： 본명세서는프리즘을이용하여측정대상물의높이정보를획득하는 3차원형상측정장치에대한것으로, 상기 3차원형상측정장치는상기측정대상물로광을조사하는조명부, 상기측정대상물로부터반사된반사광을수신하여결상렌즈로상기반사광을진행시키는프리즘부, 상기프리즘부로부터상기반사광을수신하여촬상하는촬상부및 상기촬상부에촬상된이미지를기초로상기측정대상물의높이를측정하는높이측정부를포함할수 있다.

10. 发明授权

KR101645279B1 두께 및 높이 측정장치 및 이를 이용한 측정방법 有权
标题翻译：厚度和高度测量装置及其测量方法
公开(公告)号：KR101645279B1
公开(公告)日：2016-08-04
申请号：KR1020150031935
申请日：2015-03-06
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 이상윤 , 강민구 , 이현민
IPC分类号： G01B11/06 , G01B11/25
CPC分类号： G01B11/0608 , G01B11/25
摘要： 본발명은 x축방향으로상호나란하게배치되는제1측벽과제2측벽및 상기제1측벽과제2측벽의양측단부를연결하도록 y축방향으로배치되는제3측벽및 제4측벽을포함하는피검체의두께및 높이를측정하기위한측정장치및 이를이용한측정방법이개시된다. 본발명은두 쌍의조명부와결상부를피검체의상부에배치하는간단한구성만으로피검체의두께및 높이를정확하게측정할수 있으며, 피검체가라운드지게형성되거나, 피검체가직각방향으로배치된경우라도피검체의형상에관계없이한번세팅된장비를이용하여피검체의두께및 높이를측정할수 있는두께및 높이측정장치및 이를이용한측정방법에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于测量被检查物体的厚度和高度的装置，包括：第一侧壁和第二侧壁，其设置成沿x轴方向彼此对准; 以及设置在y轴方向上的第三侧壁和第四侧壁，以连接第一侧壁和第二侧壁的两侧的端部，以及使用其的测量方法。根据本发明，只要将两对照明部和摄像部配置在被检体的上部的简单结构即可精确地测定被检查体的厚度和高度。此外，即使被检查物体在垂直方向上球形地设置，也可以使用预先设定的方式来测量待检查物体的厚度和高度，而与被检查体的形状无关。

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