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1. 发明授权

KR101416081B1 노의 용량을 활용하기 위한 도가니 및 그 방법 有权
标题翻译：燃烧能力利用的可行性和方法
公开(公告)号：KR101416081B1
公开(公告)日：2014-07-07
申请号：KR1020127024902
申请日：2011-02-25
申请人： 실리코르 머티리얼즈 인코포레이티드
发明人： 니콜스코트 , 스미스댄 , 다스트기리데이먼 , 키르스크프리츠
IPC分类号： F27B14/10
CPC分类号： B22D7/068 , B22D7/08 , C30B11/002 , C30B29/06 , C30B30/00
摘要： 본 발명은 잉곳의 생산에서의 효과적인 노 용량 활용에 관한 것이다. 본 발명은 도가니 및 이 도가니의 사용을 포함한다. 도가니는 잉곳이 생산되는 노의 내부 형상에 대략적으로 부합한다.

2. 发明授权

KR101335761B1 저온열화특성이 없는 지르코니아 단결정과 그 육성 방법 有权
标题翻译： ZIRCONIA的单晶不受低温降解和其生长方法的影响
公开(公告)号：KR101335761B1
公开(公告)日：2013-12-09
申请号：KR1020130036486
申请日：2013-04-03
申请人： 이재건
发明人： 이재건
IPC分类号： C30B7/08 , C30B29/00
CPC分类号： C30B11/003 , C30B11/002 , C30B11/005 , C30B11/007 , C30B11/14 , C30B29/16 , C30B29/22 , C30B30/00 , C30B30/04
摘要： The present invention relates to a zirconia single crystal, and a growing method thereof for enabling a precise mechanic process with excellent physical properties without low temperature degradation. The growing method comprises the steps of: raw material preparation, raw material charging, raw material melting; melted solution stabilization, seed generation, and single crystal growing.
摘要翻译：本发明涉及一种氧化锆单晶及其生长方法，其能够实现具有优异物理性能而没有低温降解的精密机械工艺。生长方法包括以下步骤：原料制备，原料装料，原料熔化; 熔化溶液稳定，种子生成和单晶生长。

3. 发明授权

KR101570685B1 기판 상의 단결정 콜로이드 단층 제조 방법 및 그 기판을 포함하는 디스플레이 소자 有权
标题翻译：在衬底上制备单晶胶体单层的方法和包含衬底的显示装置
公开(公告)号：KR101570685B1
公开(公告)日：2015-11-23
申请号：KR1020130085178
申请日：2013-07-19
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 정운룡 , 명재민 , 이태일 , 박추진
IPC分类号： G09F9/00
CPC分类号： C30B1/12 , B82Y20/00 , B82Y40/00 , C30B5/00 , C30B29/02 , C30B29/16 , C30B29/54 , C30B30/00 , Y10T428/24851
摘要： 본발명에따라서, 기판상에단결정콜로이드단층을제조하는방법이제공되는데, 점착성이있는한 쌍의기판을준비하는단계; 상기기판사이에분말입자를배치하는단계; 상기한 쌍의기판중 하나의기판을소정의일방향으로일축러빙하여, 상기기판사이에서상기입자들을조밀충전시켜단결정의단층을형성하는단계를포함하는것을특징으로한다.

4. 发明公开

KR1020150010858A 기판 상의 단결정 콜로이드 단층 제조 방법 및 그 기판을 포함하는 디스플레이 소자 有权
标题翻译：在衬底上制备单晶胶体单层的方法和包含衬底的显示装置
公开(公告)号：KR1020150010858A
公开(公告)日：2015-01-29
申请号：KR1020130085178
申请日：2013-07-19
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 정운룡 , 명재민 , 이태일 , 박추진
IPC分类号： G09F9/00
CPC分类号： C30B1/12 , B82Y20/00 , B82Y40/00 , C30B5/00 , C30B29/02 , C30B29/16 , C30B29/54 , C30B30/00 , Y10T428/24851 , G09F9/00
摘要： 본 발명에 따라서, 기판 상에 단결정 콜로이드 단층을 제조하는 방법이 제공되는데, 점착성이 있는 한 쌍의 기판을 준비하는 단계; 상기 기판 사이에 분말 입자를 배치하는 단계; 상기 한 쌍의 기판 중 하나의 기판을 소정의 일방향으로 일축 러빙하여, 상기 기판 사이에서 상기 입자들을 조밀 충전시켜 단결정의 단층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：根据本发明，提供了一种在基板上制造单晶胶体单层的方法，其包括以下步骤：制备具有粘合性质的一对基材; 在基板之间布置粉末颗粒; 以及通过在一个方向上单轴摩擦一个基板，通过用颗粒密集地填充基板之间的空间来形成单晶单层。

5. 发明授权

KR101840319B1 광 여기 프로세스용 장치 및 방법 有权
公开(公告)号：KR101840319B1
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：KR1020157029257
申请日：2014-02-24
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 모팻,스티븐
IPC分类号： H01L21/02 , C23C16/48 , C23C16/28 , C23C16/455 , C30B25/02 , C30B25/16 , C30B30/00
CPC分类号： C23C16/483 , C23C16/28 , C23C16/45504 , C30B25/02 , C30B25/165 , C30B30/00 , H01L21/02521 , H01L21/0262
摘要： 본발명의실시예들은기판상에층을증착하는방법및 장치를제공한다. 일실시예에서, 이방법은프로세싱챔버내에배치된기판의표면을유체전구체에노출하는단계, 재료층이형성되는기판의표면에걸쳐전자기방사가편향및 스캔되도록방사원으로부터생성된전자기방사를광 스캐닝유닛으로지향시키는단계, 기판의표면상에재료층을증착하도록유체전구체의광분해해리를위해선택된파장을갖는전자기방사를사용하여증착프로세스를개시하는단계를포함한다. 방사원은레이저소스, 휘도(bright) 발광다이오드(light emitting diode; LED) 소스, 또는열 소스를포함할수 있다. 일예에서, 방사원은자외선(UV) 파장범위에서출력을발생시키는광섬유레이저이다.

6. 发明公开

KR1020120134130A 노의 용량을 활용하기 위한 도가니 및 그 방법 有权
标题翻译：燃烧能力利用的可行性和方法
公开(公告)号：KR1020120134130A
公开(公告)日：2012-12-11
申请号：KR1020127024902
申请日：2011-02-25
申请人： 실리코르 머티리얼즈 인코포레이티드
发明人： 니콜스코트 , 스미스댄 , 다스트기리데이먼 , 키르스크프리츠
IPC分类号： F27B14/10
CPC分类号： B22D7/068 , B22D7/08 , C30B11/002 , C30B29/06 , C30B30/00
摘要： 본 발명은 잉곳의 생산에서의 효과적인 노 용량 활용에 관한 것이다. 본 발명은 도가니 및 이 도가니의 사용을 포함한다. 도가니는 잉곳이 생산되는 노의 내부 형상에 대략적으로 부합한다.

7. 发明公开

KR1020130103623A 단결정 기판의 제조 방법 및 내부 개질층 형성 단결정 부재의 제조 방법 无效
标题翻译：单晶衬底的生产方法及其形成改性层的单晶构件的生产方法
公开(公告)号：KR1020130103623A
公开(公告)日：2013-09-23
申请号：KR1020137021347
申请日：2011-02-10
申请人： 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 , 고쿠리츠다이가쿠호진 사이타마 다이가쿠
发明人： 구니시요스케 , 스즈키히데키 , 마츠오리카 , 이케노준이치
IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/02 , B23K26/08
CPC分类号： C30B30/00 , B23K26/0665 , B28D5/0011 , C30B29/36 , C30B33/04 , C30B33/06 , H01L21/02532 , H01L21/02678 , H01L21/02686 , H01L21/268 , H01L21/304 , H01L31/18 , H01L31/1848 , H01L31/1852 , H01L31/1892 , Y02E10/544 , Y02P70/521
摘要： 비교적 크고 얇은 단결정 기판을 용이하게 제조할 수 있는 단결정 기판 제조 방법 및 내부 개질층 형성 단결정 부재를 제공하는 것을 과제로 한다. 레이저 광(B)을 출사함과 아울러 단결정 부재(10)의 굴절률에 기인하는 수차를 보정하는 집광 렌즈(15)를 단결정 부재(10) 상에 비접촉으로 배치하는 공정과, 단결정 부재(10)의 표면(10t)에 레이저 광을 조사하여 단결정 부재 내부에 레이저 광을 집광하는 공정과, 집광 렌즈(15)와 단결정 부재(10)를 상대적으로 이동시켜 단결정 부재(10)의 내부에 2차원상의 개질층(12)을 형성하는 공정과, 개질층(12)에 의해 분단되어 이루어지는 단결정층을 개질층(12)으로부터 박리함으로써 단결정 기판을 형성하는 공정을 가진다.

8. 发明公开

KR1020130100289A 와전류 두께 측정 장치 审中-实审
标题翻译： EDDY电流厚度测量装置
公开(公告)号：KR1020130100289A
公开(公告)日：2013-09-10
申请号：KR1020137006692
申请日：2011-07-18
申请人： 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크.
发明人： 로센,개리,제이. , 싱클레어,프랭크 , 소스코브,알렉산더 , 버프,제임스,에스.
IPC分类号： C30B11/00 , C30B15/20 , C30B30/00 , C30B29/06
CPC分类号： C30B11/00 , B22D11/1206 , B22D11/143 , C30B15/00 , C30B29/06 , C30B29/08 , C30B29/36 , C30B29/406 , C30B29/64 , C30B35/00 , G01B7/105 , G01B7/107 , Y10T117/1004 , Y10T117/1008 , Y10T117/1032 , Y10T117/1044 , Y10T117/1048 , Y10T117/1068 , Y10T117/1088 , C30B15/06 , C30B15/20 , C30B30/00 , G01B7/06
摘要： 재료의 시트는 재료의 용융물에서 설치된다. 하나의 사례에서, 시트는 냉각 판을 이용하여 형성된다. 여기 코일 및 센싱 코일은 냉각 판의 다운스트림(downstream)에 위치된다. 여기 코일 및 센싱 코일은 용융물 상단의 고체 시트의 두께를 결정하기 위하여 와전류들을 이용한다.

9. 发明公开

KR1020130049192A 다결정 실리콘 잉곳 제조 장치, 다결정 실리콘 잉곳의 제조 방법 및 다결정 실리콘 잉곳 有权
标题翻译：聚硅氧烷制造设备，多晶硅制造方法和多晶硅硅酸盐
公开(公告)号：KR1020130049192A
公开(公告)日：2013-05-13
申请号：KR1020137001557
申请日：2011-07-21
申请人： 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 , 미쓰비시마테리알덴시카세이가부시키가이샤
发明人： 츠즈키하시고지 , 와키타사부로 , 이케다히로시 , 가나이마사히로
IPC分类号： C01B33/02 , C30B28/06 , C30B29/06 , H01L31/04
CPC分类号： C30B30/00 , C01B33/02 , C30B11/003 , C30B28/06 , C30B29/06
摘要： A polycrystalline silicon ingot manufacturing apparatus, a polycrystalline silicon ingot manufacturing method, and a polycrystalline silicon ingot are provided. The apparatus comprises: a crucible having a rectangular shape in a cross-section; an upper heater provided above the crucible; and a lower heater provided below the crucible. A silicon melt stored in the crucible is solidified from a bottom surface of the crucible upward unidirectionally. The apparatus further comprises an auxiliary heater that heats at least a bottom-surface-side portion of a sidewall of the crucible. The production yield can be improved by using the apparatus and by reducing the oxygen concentration at the location where the oxygen concentration tends to be high locally at the bottom part of the ingot.

10. 发明公开

KR20180030256A 광 여기 프로세스용 장치 및 방법 审中-公开
标题翻译：用于光激励过程的装置和方法
公开(公告)号：KR20180030256A
公开(公告)日：2018-03-21
申请号：KR20187007125
申请日：2014-02-24
申请人： APPLIED MATERIALS INC
发明人： MOFFATT STEPHEN
IPC分类号： H01L21/02 , C23C16/28 , C23C16/455 , C23C16/48 , C30B25/02 , C30B25/16 , C30B30/00
CPC分类号： C23C16/483 , C23C16/28 , C23C16/45504 , C30B25/02 , C30B25/165 , C30B30/00 , H01L21/02521 , H01L21/0262
摘要： 본발명의실시예들은기판상에층을증착하는방법및 장치를제공한다. 일실시예에서, 이방법은프로세싱챔버내에배치된기판의표면을유체전구체에노출하는단계, 재료층이형성되는기판의표면에걸쳐전자기방사가편향및 스캔되도록방사원으로부터생성된전자기방사를광 스캐닝유닛으로지향시키는단계, 기판의표면상에재료층을증착하도록유체전구체의광분해해리를위해선택된파장을갖는전자기방사를사용하여증착프로세스를개시하는단계를포함한다. 방사원은레이저소스, 휘도(bright) 발광다이오드(light emitting diode; LED) 소스, 또는열 소스를포함할수 있다. 일예에서, 방사원은자외선(UV) 파장범위에서출력을발생시키는광섬유레이저이다.
摘要翻译：本发明的实施例提供了用于在衬底上沉积层的方法和设备。在一个实施例中，该方法包括将布置在处理室内的衬底的表面暴露于流体前体，将从辐射源产生的电磁辐射引导至光扫描单元，使得电磁辐射偏转并扫描穿过在其上将形成材料层的基板，并且利用具有选定的波长的电磁辐射来引发沉积过程，以便使流体前体光解离解以将材料层沉积到基板的表面上。辐射源可以包括激光源，明亮的发光二极管（LED）源或热源。在一个示例中，辐射源是在紫外（UV）波长范围内产生输出的光纤激光器。

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