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1. 发明授权

KR101871059B1 단결정 잉곳 성장장치 有权
公开(公告)号：KR101871059B1
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：KR1020160153162
申请日：2016-11-17
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 강인구 , 송도원 , 이성찬 , 정호섭
IPC分类号： C30B15/22 , C30B15/10 , C30B15/14 , C30B35/00 , C30B29/06
CPC分类号： C30B15/10 , C30B15/14 , C30B15/22 , C30B29/06 , C30B35/00
摘要： 본발명은실리콘융액면을따라흐르는불활성기체의유속을균일하게형성하여실리콘융액면에서 Ox 휘발을정확하게제어할수 있는단결정잉곳성장장치에관한것이다. 본발명은실리콘융액이담긴도가니; 상기도가니상측에매달리도록설치되고, 상기도가니의실리콘융액으로부터성장되는단결정잉곳을냉각시키는열차폐부재; 상기단결정잉곳의외주면과상기열차폐부재의내주면사이에형성되고, 불활성기체가수직하게하측으로이동되는제1유로; 및상기열차폐부재의하단과실리콘융액의상면사이에형성되고, 불활성기체가수평하게외측으로이동되는제2유로;을포함하고, 상기제1유로의부피에대한상기제2유로의부피비율에따라단결정내의산소농도를제어하는단결정잉곳성장장치를제공한다.

2. 发明授权

KR101862157B1 단결정 실리콘 잉곳 제조 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR101862157B1
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：KR1020160148655
申请日：2016-11-09
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 정호섭 , 송도원 , 이성찬 , 강인구
IPC分类号： C30B15/20 , C30B15/30 , C30B15/10 , C30B35/00 , C30B29/06
CPC分类号： C30B15/10 , C30B15/20 , C30B15/30 , C30B29/06 , C30B35/00
摘要： 도가니에담긴용융액으로부터단결정실리콘잉곳을육성하여제조하는실시예에의한단결정실리콘잉곳제조방법은, 용융액에가해지는수평자기장의세기, 단결정실리콘잉곳의제1 회전속도또는도가니의온도특성중 적어도하나를이용하여, 용융액의대류특성을나타내는정보를구하는단계와, 구해진정보를이용하여단결정실리콘잉곳의반경방향으로의산소농도구배를구하는단계및 반경반향으로의산소농도구배가목표치에도달할때까지, 수평자기장의세기, 단결정실리콘잉곳의제2 회전속도또는온도특성중 적어도하나를가변시키는단계를포함한다.

3. 发明授权

KR101821340B1 와전류 두께 측정 장치 有权
公开(公告)号：KR101821340B1
公开(公告)日：2018-01-23
申请号：KR1020137006692
申请日：2011-07-18
申请人： 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크.
发明人： 로센,개리,제이. , 싱클레어,프랭크 , 소스코브,알렉산더 , 버프,제임스,에스.
IPC分类号： C30B11/00 , C30B15/20 , C30B30/00 , C30B29/06
CPC分类号： C30B11/00 , B22D11/1206 , B22D11/143 , C30B15/00 , C30B29/06 , C30B29/08 , C30B29/36 , C30B29/406 , C30B29/64 , C30B35/00 , G01B7/105 , G01B7/107 , Y10T117/1004 , Y10T117/1008 , Y10T117/1032 , Y10T117/1044 , Y10T117/1048 , Y10T117/1068 , Y10T117/1088
摘要： 재료의시트는재료의용융물에서설치된다. 하나의사례에서, 시트는냉각판을이용하여형성된다. 여기코일및 센싱코일은냉각판의다운스트림(downstream)에위치된다. 여기코일및 센싱코일은용융물상단의고체시트의두께를결정하기위하여와전류들을이용한다.

4. 发明公开

KR1020170113694A 가스 제트들을 이용한 용융물의 표면으로부터의 시트의 제거 审中-实审
标题翻译：使用气体喷射从熔体表面去除薄片
公开(公告)号：KR1020170113694A
公开(公告)日：2017-10-12
申请号：KR1020177026816
申请日：2011-03-02
申请人： 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크.
发明人： 켈러만,피터,엘. , 쓰론손,그레고리,디. , 선,다웨이
IPC分类号： C30B15/06 , C30B28/10 , C30B29/06 , C30B29/52 , C30B11/02 , C30B15/00 , C30B11/00
CPC分类号： C30B35/00 , C30B9/00 , C30B11/00 , C30B15/00 , C30B15/002 , C30B15/06 , C30B15/22 , C30B15/24 , C30B15/34 , C30B28/10 , C30B29/06 , C30B29/52 , C30B29/64 , Y10T117/1048 , Y10T117/1092
摘要： 하나의실시예에서, 시트제조장치는재료의용융물을수용하도록구성된용기를포함한다. 냉각판은용융물에근접하게배치되고, 용융물위에서재료의시트를형성하도록구성된다. 제 1 가스제트는용기의에지를향해가스를보내도록구성된다. 재료의시트는용융물의표면위에서수평으로병진이동(translate) 되고, 시트는용융물로부터제거된다. 제 1 가스제트는메니스커스로보내질수 있고, 이메니스커스를안정화하거나메니스커스내부의국부압력을증가시킬수 있다.
摘要翻译：在一个实施例中，片材制造设备包括构造成接收材料熔体的容器。冷板邻近熔体设置并构造成在熔体上形成材料片。第一气体射流被配置为朝向容器的边缘发送气体。材料片在熔体表面上水平平移并从熔体中除去片材。第一个气体射流可以发送到弯月面，稳定弯月面或增加弯月面内的局部压力。

5. 发明授权

KR101614972B1 실리콘 덩어리를 파쇄하기 위한 파쇄기 및 이러한 파쇄기를 복수개 구비한 실리콘 파쇄 장치 有权
标题翻译：用于破碎有机硅粉碎机和破碎机的硅粉碎机
公开(公告)号：KR101614972B1
公开(公告)日：2016-04-22
申请号：KR1020117002924
申请日：2009-08-04
申请人： 가부시끼가이샤 도꾸야마
发明人： 콘도우,마나부
IPC分类号： B02C1/14 , B25D9/02 , C01B33/02
CPC分类号： B02C1/005 , B02C1/14 , B25D9/02 , B25D9/08 , B25D2250/371 , C01B33/02 , C30B29/06 , C30B35/00
摘要： 본발명은압축공기에의해서피스톤 (58)에가해지는에너지를실리콘덩어리 (104)에고효율로전달하는것을과제로한다. 본발명에따르면, 에너지를실리콘덩어리 (104)에고효율로전달하기위해서, 로드부재 (66)과해머헤드 (74)를연결하고, 피스톤 (58)에의해서왕복이동시킨다. 압축공기가피스톤 (58)에작용하지않을때에는, 해머헤드 (74)가압축코일스프링 (76)에의해서대기위치로위치하게된다. 압축공기가피스톤 (58)에작용하면, 해머헤드 (74)가대기위치로부터이동하여실리콘덩어리 (104)에충돌한다.

6. 发明授权

KR101569711B1 단결정 제조장치 有权
标题翻译：单晶制造设备
公开(公告)号：KR101569711B1
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：KR1020107025943
申请日：2009-04-24
申请人： 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤
发明人： 아베,타카오 , 요코타,코우조우 , 미즈이시,코우지
IPC分类号： C30B15/00 , C30B15/02 , H01L21/02
CPC分类号： C30B15/14 , C30B15/00 , C30B29/06 , C30B35/00 , Y10T117/1032 , Y10T117/1056 , Y10T117/1068
摘要： 본발명은, 도가니(13)를포함하는핫존부품을수용하는메인챔버(11); 원료융액으로부터인상되는단결정(6)을수납하고꺼내기위한풀 챔버(12); 구비하는쵸크랄스키법에의한단결정제조장치(10)에있어서, 상기단결정제조장치는, 추가로풀 챔버와치환가능한다목적챔버(2)를구비하는것이며, 상기다목적챔버(2)는, 도가니에충진된원료를가열하는가열수단(L), 단결정을인상한후에핫존부품을냉각시키는냉각수단(C)을각각설치할수 있는단결정제조장치(10)이다. 이에따라, 대구경, 예를들면, 약 200mm 이상의단결정의제조에있어서단결정제조장치의가동율을향상시켜, 단결정의생산성을높일수 있는단결정제조장치가제공된다.

7. 发明授权

KR101540933B1 화학적 기상 증착된 실리콘 카바이드 물체들 有权
标题翻译：化学气相沉积碳化硅制品
公开(公告)号：KR101540933B1
公开(公告)日：2015-07-31
申请号：KR1020080022226
申请日：2008-03-10
申请人： 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 , 에이지씨 일렉트로닉스 아메리카
发明人： 피커링마이클에이. , 트리바제이미엘. , 라이스케빈디.
IPC分类号： C04B41/80 , C04B41/85
CPC分类号： C04B37/006 , C04B37/005 , C04B2237/083 , C04B2237/16 , C04B2237/365 , C04B2237/80 , C04B2237/88 , C23C16/325 , C30B35/00 , H01L21/67306 , Y10T428/24174 , Y10T428/26 , Y10T428/292
摘要： 화학적기상증착된실리콘카바이드물체들및 이들을생산하는방법이개시된다. 화학적기상증착된실리콘카바이드물체들은소결된세라믹조인트들에의해함께결합된복수개의파트들로구성된다. 조인트들은물체들의조인트들에서공차를강화하고유지한다. 물체들은반도체공정에사용될수 있다.

8. 发明授权

KR101494521B1 추락방지형 열차단구조체 有权
标题翻译：隔热结构
公开(公告)号：KR101494521B1
公开(公告)日：2015-02-17
申请号：KR1020130048392
申请日：2013-04-30
申请人： 웅진에너지 주식회사
发明人： 이상준 , 이영민 , 김재민
IPC分类号： C30B15/14 , C30B15/20 , C30B35/00 , C30B29/06
CPC分类号： C30B29/06 , C30B15/14 , C30B35/00
摘要： 본 발명은 잉곳 성장 장치에 사용되는 열차단구조체에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 내부 리플렉터를 지지하는 외부 리플렉터를 상부 리플렉터와 하부 리플렉터로 구성하고 하부 리플렉터가 내부 리플렉터와 결합되도록 함으로써 크랙에 의해 외부 리플렉터의 하부가 분리되어 도가니 내로 낙하하는 것을 미연에 방지할 수 있는 추락방지형 열차단구조체에 관한 것이다.
본 발명은 잉곳 성장 장치에 설치되는 열차단구조체에 있어서, 상기 열차단구조체는 상,하부가 개방된 중공형의 내부 리플렉터 및 외부 리플렉터를 포함하고, 상기 외부 리플렉터는 상부 리플렉터와, 상기 상부 리플렉터의 하부에 배치되고 하부단이 상기 내부 리플렉터의 하부측과 결합되어 상기 상부 리플렉터를 지지하는 하부 리플렉터를 포함하는 것을 특징으로 하는 추락방지형 열차단구조체를 제공한다.

9. 发明授权

KR101473789B1 단결정 제조장치 有权
标题翻译：单晶生产设备
公开(公告)号：KR101473789B1
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：KR1020107015315
申请日：2008-12-18
申请人： 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤
发明人： 호시,료지 , 타카노,키요타카
IPC分类号： C30B15/00 , C30B29/06
CPC分类号： C30B29/06 , C30B15/14 , C30B15/20 , C30B35/00 , Y10T117/1068
摘要： 본발명은적어도원료융액을수용하는도가니및 상기원료융액을가열하는히터를격납하는메인챔버와, 이메인챔버의상부에연설(連設)되어성장한단결정이인상되어수용되는인상챔버와, 상기인상중의단결정을둘러싸도록상기메인챔버의적어도천장부에서원료융액의표면을향해연신되고, 냉각매체로강제냉각되는냉각통을가진쵸크랄스키법에의해단결정을육성하는단결정제조장치로, 적어도상기냉각통의내측에감합(嵌合)되는냉각보조통을가지며, 이냉각보조통은축방향으로관통하는틈을가지며, 상기원료융액의표면을향해연신되어있는것을특징으로하는단결정제조장치이다. 이에의해성장중의단결정을효율이좋게냉각함으로써단결정의성장속도의고속화를도모할수 있는단결정제조장치가제공된다.

10. 发明授权

KR101439023B1 잉곳 성장 장치용 배기 슬리브 有权
标题翻译：排风筒用于高空作业
公开(公告)号：KR101439023B1
公开(公告)日：2014-09-05
申请号：KR1020130048408
申请日：2013-04-30
申请人： 웅진에너지 주식회사
发明人： 한두만 , 이헌철 , 김광훈
IPC分类号： C30B31/16 , C30B15/20 , C30B35/00
CPC分类号： C30B35/00 , C30B15/00
摘要： The present invention relates to a sleeve used for discharging gas in an ingot growing apparatus and, more specifically, to an exhaust sleeve for an ingot growing apparatus which removes oxide deposited inside of a main body of the sleeve via exchanging film members by connecting an attaching film member inside of the main body of the sleeve. The exhaust sleeve for the ingot growing apparatus comprises a hollow type sleeve main body which opens the upper part and the lower part and has a certain length; film members on which oxide of the gas is deposited by being attached, detached and connected to the inner surface of the main body of the sleeve. The film members surround the upper end of the main body of the sleeve by the upper part being folded toward outside from inside of the main body of the sleeve.
摘要翻译：本发明涉及一种用于在铸锭生长装置中排出气体的套筒，更具体地说，涉及一种用于铸锭生长装置的排气套管，其通过连接附接件来除去沉积在套筒主体内的氧化物，薄膜构件内部的主体的袖子。用于铸锭生长装置的排气套管包括：中空型套筒主体，其打开上部和下部并具有一定的长度; 通过安装，拆卸和连接到套筒主体的内表面而沉积气体的氧化物的膜构件。膜部件通过上部从套筒主体的内部向外侧折叠而围绕套筒主体的上端。

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