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    • 9. 发明公开
    • 공정 온도 편차를 낮춘 박막 제조 방법 및 시스템
    • 具有低工艺温度偏差的薄膜的制造方法及其系统
    • KR1020150045554A
    • 2015-04-29
    • KR1020130124657
    • 2013-10-18
    • 엘티박막주식회사
    • 서인자서용운최동규
    • C23C14/22C23C14/58
    • C23C14/22C23C14/58
    • 본발명은박막제조방법및 시스템에관한것으로서, 구체적으로는복수의공정으로나누어박막을형성함으로써박막형성에따른공정온도의편차를낮춘박막제조방법및 시스템에관한것이다. 본발명은 (a) 피처리기판의온도가소정의박막형성시작온도까지올라가도록가열하는단계; (b) 상기피처리기판의온도가소정의공정상한온도에이를때까지박막을형성하는단계; (c) 박막형성을멈추고상기피처리기판의온도를소정의박막형성시작온도까지냉각시키는단계; 및 (d) 필요한두께의박막이형성될때까지상기 (b) 단계와 (c) 단계를반복하는단계를포함하며, 상기박막을형성함에있어, 그박막소스로부터유기되는열에의하여상기피처리기판의온도가상승하는것을특징으로하는박막형성방법을개시하며, 본발명에의하여피처리기판상에박막을형성함에있어복수의공정으로나누어박막을형성함으로써, 박막의형성에따른공정온도의편차를줄이고, 저온소재피처리기판에서도박막형성이가능하며, 고출력박막소스를사용하여잔류불순물의상대적영향을줄여서고품질의박막을제조할수 있는박막제조방법및 시스템을개시하는효과를갖는다.
    • 本发明涉及制造薄膜的方法和系统。 更具体地,本发明涉及制造薄膜的方法和系统,其通过多个分段方法形成薄膜,以减少由薄膜形成导致的加工温度的差异。 本发明包括:(a)增加经受处理的板的温度直至温度达到薄膜形成的预定温度的步骤; (b)在所述板的温度达到预定的上限温度之前形成薄膜的步骤; (c)停止形成薄膜并将所述板冷却到形成薄膜的预定温度的步骤; 和(d)重复步骤(b)和步骤(c)的步骤,直到形成所需厚度的膜。 本发明开始制造薄膜的方法,其特征在于,用来自薄膜源的热进行处理的所述板的温度升高,形成所述薄膜。 根据本发明,通过多个工艺形成薄膜,以减少由薄膜形成引起的加工温度的差异,并且能够在由低温材料制成的板上形成薄膜。 此外,本发明通过使用高功率薄膜源减少残留杂质的相对影响,从而制造高质量薄膜。