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1. 发明公开

KR1020170107092A 고주파 스퍼터링 장치 및 스퍼터링 방법 审中-实审
标题翻译：高频溅射装置和溅射方法
公开(公告)号：KR1020170107092A
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：KR1020177025057
申请日：2016-03-15
申请人： 가부시키가이샤 알박
发明人： 후지이,요시노리 , 나카무라,신야
IPC分类号： C23C14/50 , C23C14/52 , C23C14/54 , C23C14/34 , H01J37/32 , H01J37/34 , H05H1/46
CPC分类号： H01J37/32697 , C23C14/081 , C23C14/345 , C23C14/35 , C23C14/50 , C23C14/52 , C23C14/542 , H01J37/32715 , H01J37/3405 , H01J37/3426 , H01J37/347 , H01J37/3476 , H05H1/46
摘要： 처리기판에서발생하는역 스퍼터링양을될 수있는대로억제하여효율적으로성막할수 있는고주파스퍼터링장치를제공한다. 진공상태에서타겟(21)에고주파전력을투입하고, 처리기판(W)의단면(Wa)에대해성막처리하는본 발명에따른고주파스퍼터링장치(SM)는처리기판의단면을개방하면서도전기적으로절연된상태로처리기판을유지하는스테이지(4)를포함한다. 스테이지는그 처리기판의유지면에홈부(42)를가지며, 처리기판의외주가장자리가스테이지의유지면(41)과맞닿도록처리기판을유지할때 처리기판의다른면과홈부의윤곽으로구획되는공간(43)에, 처리기판에근접하는방향또는멀어지는방향으로이동가능하게접지에연결되는가동체(44)를마련한다.
摘要翻译：本发明提供一种高频溅射装置，其能够通过尽可能地抑制在被处理基板中产生的反溅射量来有效地形成膜。的高频溅射装置（SM）根据本发明，为了输入在真空状态下靶21自我高频电力，在端面上的基板的（WA）（W）的成膜处理是电绝缘的，同时打开所述衬底的部分以及用于在处理基板被保持的状态下保持处理基板的台4。空间级具有在基板的保持表面上的凹槽42中，在基板的外周缘，以保持所述基板和所述槽与所述阶段冲洗时被分成轮廓保持表面（41）和所述基板的另一侧（43）设置有与地面连接的移动体（44），以能够朝向或远离处理基板移动。

2. 发明公开

KR1020150135516A 처리 장치 및 처리 장치에 있어서의 워크의 온도 계측 방법 审中-实审
标题翻译：处理装置和方法，用于测量处理装置中的工作温度
公开(公告)号：KR1020150135516A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：KR1020157031016
申请日：2014-03-11
申请人： 가부시키가이샤 고베 세이코쇼
发明人： 후지이히로후미
IPC分类号： C23C14/52 , C23C14/54 , C23C14/06 , C23C16/52 , G01K5/50
CPC分类号： G01K5/50 , C23C14/52 , C23C14/541 , C23C16/52 , G01N25/00
摘要： 챔버의내부에수용되고가열되는워크의실체온도를정확하게계측하는것이가능한처리장치(1)와방법이제공된다. 처리장치(1)는, 워크(W)를수용하는챔버(2)와, 챔버(2)의내부에설치되는측정피스(6)와, 계측부(8)를구비한다. 측정피스(6)는, 챔버(2)의내부의온도의영향으로열 신축된다. 계측부(8)는, 측정피스(6)의열 신축량을계측함으로써워크(W)의실체온도를계측한다.

3. 发明公开

KR1020140058671A 테스트 유리 교환기 및 교환 방법 有权
标题翻译：测试玻璃变化
公开(公告)号：KR1020140058671A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：KR1020147008805
申请日：2012-06-28
申请人： 뷔흘러 알제나우 게엠베하
发明人： 죌러알폰스 , 하게도른하로 , 비르트에크하르트 , 바인리히베르너 , 그로스토비아스
IPC分类号： G01N21/25 , G01N21/88 , G01B11/06 , C23C14/52 , G01N21/84
CPC分类号： G01N21/88 , G01B11/0616 , G01B11/0691 , G01N21/253 , G01N2021/8427 , C23C14/52
摘要： 본 발명은, 진공 코팅 시스템에서 레이어 성질을 광학적으로 측정하기 위한 테스트 유리 교환기로서, 테스트 유리 교환기가, 적어도 하나의 기판을 코팅 재료의 적어도 하나의 스트림을 통하는 경로로 안내하기 위한 이동식 기판 홀더(2)와, 적어도 하나의 테스트 유리 요소를 위해 회전식 스핀들(4)에 견고하게 연결되고 그리고 회전식 스핀들(4)을 중심으로 기판 홀더(2)에 대해 회전될 수 있는 마운트(6)와, 한번에 하나의 테스트 유리 요소를 광학 측정 장치의 광선 경로에 그리고 코팅 재료의 적어도 하나의 스트림에 도입하기 위한 제어 장치를 포함하고, 마운트(6)는 회전식 스핀들(4)에 대해 편심적으로 오프셋되어 있는 적어도 하나의 리세스(7)를 가지며, 마운트(6)의 회전식 스핀들(4)을 중심으로 한 회전 이동이 제어 장치에 의해 유발될 수 있는, 테스트 유리 교환기에 있어서, 리세스들(7) 중 하나의 리세스 내에 배열된 테스트 유리 요소를 광학 측정 장치의 측정 위치로 이동시키기 위해 센터링 장치(10)가 제공되며, 센터링 장치에 의해 토크와 유지 모멘트가 마운트(6)에 인가될 수 있는 것을 특징으로 하는 테스트 유리 교환기에 관한 것이다.
또한, 본 발명은, 테스트 유리 교환기를 이용하여 테스트 유리를 교환하기 위한 방법으로서, 리세스들(7) 중 하나의 리세스 내에 배열된 테스트 유리 요소가 광학 측정 장치의 측정 위치로 이동되기 전에, 제어 장치를 이용하여 마운트(6)의 회전 이동을 유발하는 단계와, 회전 이동에 의해 테스트 유리 요소를 제1 위치로 이동시키는 단계로서, 제1 위치의 측정 위치로부터의 각거리는 리세스들(7) 사이의 각거리보다 작은, 이동 단계와, 센터링 장치(10)를 이용하여 테스트 유리 요소를 측정 위치로 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 유리 교환 방법에 관한 것이다.

4. 发明公开

KR1020120094040A 기판 코팅 기기 및 방법 有权
标题翻译：用于涂覆基材的装置和方法
公开(公告)号：KR1020120094040A
公开(公告)日：2012-08-23
申请号：KR1020127015479
申请日：2010-11-19
申请人： 프라운호퍼-게젤샤프트 추르 푀르데룽 데어 안제반텐 포르슝 에 파우 , 싱귤러스 테크놀러지스 악티엔게젤샤프트
发明人： 쇠프카울리히 , 왹스너리차드 , 페퍼마르쿠스 , 마아스볼프람 , 랑어위르겐 , 오커베르톨트
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： C23C14/52 , C23C14/34
摘要： 내부가 코팅될 기판을 수용하도록 설계되는 진공챔버와 적어도 하나의 스퍼터링 타겟을 구비하고, 상기 스퍼터링 타겟의 마모를 판단하기 위한 디바이스를 더 구비하며, 상기 스퍼터링 타겟은 유전자총에 의해 기기의 동작 동안 삭마되도록 되어 있고, 진공챔버의 벽에 적어도 하나의 윈도우가 배열되어 있으며, 상기 스퍼터링 타겟의 마모를 판단하기 위한 디바이스는 진공챔버 외부에 적어도 하나의 기정의된 위치와 스퍼터링 타겟의 표면에 적어도 하나의 기정의된 지점 간의 거리를 광학적으로 측정하기 위한 측정 디바이스를 가지며, 상기 측정 디바이스는 평가 디바이스를 더 구비하고, 상기 평가 디바이스에 의해 시차 오프세트 및/또는 기하학적 왜곡이 보정될 수 있는 기판 코팅 기기에 관한 것이다. 더욱이, 본 발명은 이에 따른 방법에 관한 것이다.
摘要翻译：用于涂覆基板的设备具有设计成接收基板的真空室和通过粒子轰击在设备操作期间要消融的至少一个溅射靶。至少一个窗口布置在真空室的壁中。一种用于通过光学测量真空室外的至少一个可预定点与溅射靶表面上的至少一个可预定点之间的距离来确定溅射靶的磨损的装置，并且包括校正任何视差偏移的评估装置和/或几何失真。

5. 发明公开

KR1020110060373A 유기박막 증착장치 및 플렉서블 유기전계발광소자의 제조방법 无效
标题翻译：有机薄膜蒸发沉积装置及柔性有机电致发光器件的制造方法
公开(公告)号：KR1020110060373A
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：KR1020090116941
申请日：2009-11-30
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 김종성
IPC分类号： H01L51/56 , C23C14/24
CPC分类号： C23C14/50 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/52 , H01L51/001 , H01L51/0011 , H01L51/56
摘要： PURPOSE: An organic thin film depositing device and a method for manufacturing a flexible organic electroluminescent device are provided to improve the reliability and lifetime of an OLED by improving the deposition precision of the organic thin film deposited on a substrate. CONSTITUTION: A reaction region is defined in a chamber(300). A crucible(320) is installed in the chamber and is filled with organic materials. A substrate mounting unit(340) supports both edges of the substrate on which the organic materials are deposited from the crucible and is comprised of a hand unit and a linear guide. The linear guide slides the hand unit forward and backward.
摘要翻译：目的：提供有机薄膜沉积装置和制造柔性有机电致发光器件的方法，以通过改善沉积在基底上的有机薄膜的沉积精度来提高OLED的可靠性和寿命。构成：在室（300）中限定反应区域。坩埚（320）安装在室内并填充有机材料。衬底安装单元（340）支撑从坩埚沉积有机材料的衬底的两个边缘并且由手单元和线性引导件构成。线性导轨向前和向后滑动手动单元。

6. 发明公开

KR1020080114306A 센서 장치 有权
标题翻译：蒸发器设备传感器设备
公开(公告)号：KR1020080114306A
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：KR1020070063725
申请日：2007-06-27
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사
发明人： 박기주 , 권진환 , 송교준 , 조성재 , 이현기 , 목진일
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/20
CPC分类号： C23C14/545 , C23C14/52 , C23C16/52
摘要： A sensor apparatus is provided to extend the management period by supplying a sensor to a rotation plate by a sensor feeding unit. A sensor apparatus measures the deposition amount or the deposition speed of the deposition apparatus. The sensor apparatus includes a housing(10), a rotation plate(50), a sensor feeding unit(70), and a rotation driving source. The sensor passing hole(14) and a sensing part(15) are formed in the housing to be separated to a circumference direction. The sensing part is formed to be penetrated so that the sensor unit senses the deposition amount supplied through the sensor passing hole. The rotation plate is rotatably installed in the housing. The plurality of sensor receiving groove(71) corresponding to the sensor passing hole and the sensor unit are formed in the rotation plate. A sensor supply unit loads the plurality of sensor units. A sensor supply unit moves and mounts one sensor unit of the plurality of sensor units to a sensor receiving groove positioned to correspond to the sensor passing hole among a plurality of the sensor receiving grooves through sensor passing holes. A rotation driving source rotates the rotation plate to selectively move the sensor receiving groove to positions corresponding to the sensor passing hole and the sensor unit.
摘要翻译：提供一种传感器装置，通过传感器馈送单元向旋转板提供传感器来延长管理周期。传感器装置测量沉积装置的沉积量或沉积速度。传感器装置包括壳体（10），旋转板（50），传感器馈送单元（70）和旋转驱动源。传感器通孔（14）和感测部分（15）形成在壳体中以分开到圆周方向。感测部形成为穿透，使得传感器单元感测通过传感器通过孔提供的沉积量。旋转板可旋转地安装在壳体中。在旋转板上形成有与传感器通过孔对应的多个传感器容纳槽71和传感器单元。传感器供应单元加载多个传感器单元。传感器供给单元将多个传感器单元中的一个传感器单元移动并安装到传感器接收槽，该传感器接收槽通过传感器通过孔而与多个传感器容纳槽中的传感器通过孔对应。旋转驱动源旋转旋转板，以选择性地将传感器容纳槽移动到与传感器通过孔和传感器单元相对应的位置。

7. 发明授权

KR100817339B1 유기 ＥＬ 소자의 유리기판 편평도 측정장치 및 방법 有权
标题翻译：玻璃基板平面度测量装置及方法
公开(公告)号：KR100817339B1
公开(公告)日：2008-03-27
申请号：KR1020070015945
申请日：2007-02-15
申请人： 순천향대학교 산학협력단
发明人： 이상욱 , 엄태준 , 김국원
IPC分类号： H05B33/10
CPC分类号： H01L51/56 , C23C14/24 , C23C14/52 , H01L22/10 , H01L51/0031 , H01L51/0096
摘要： An apparatus and a method for measuring the flatness of a glass substrate are provided to determine a failure of the glass substrate by using a laser emitting unit and a laser receiving unit provided on a side surface of the glass substrate to measure a time of laser being transmitted through the glass substrate. An apparatus for measuring the flatness of a glass substrate(120) includes a laser emitting unit(201), a laser receiving unit(202), and a measurement controlling unit(203). The laser emitting unit and the laser receiving unit are provided on one side of the glass substrate opposed to each other. A laser beam emitted from the laser emitting unit is received in the laser receiving unit. The laser emitting unit and the laser receiving unit are positioned on the same horizontal line as the glass substrate. The measurement controlling unit measures a time of from laser emission from the laser emitting unit and laser reception in the laser receiving unit.
摘要翻译：提供一种用于测量玻璃基板的平坦度的装置和方法，以通过使用激光发射单元和设置在玻璃基板的侧表面上的激光接收单元来测量玻璃基板的故障，以测量激光的时间透过玻璃基板。用于测量玻璃基板（120）的平坦度的装置包括激光发射单元（201），激光接收单元（202）和测量控制单元（203）。激光发射单元和激光接收单元设置在彼此相对的玻璃基板的一侧。从激光发射单元发射的激光束被接收在激光接收单元中。激光发射单元和激光接收单元位于与玻璃基板相同的水平线上。测量控制单元测量来自激光发射单元的激光发射和激光接收单元中的激光接收的时间。

8. 发明公开

KR1020180044578A 분리형 구동축을 갖는 박막 증착 장치의 자동 정렬 장치 有权
公开(公告)号：KR1020180044578A
公开(公告)日：2018-05-03
申请号：KR1020160138263
申请日：2016-10-24
申请人： 주식회사 선익시스템
发明人： 최지현
IPC分类号： H01L51/56 , H01L51/00 , C23C14/50 , C23C14/04 , C23C14/52
CPC分类号： H01L51/56 , C23C14/042 , C23C14/505 , C23C14/52 , H01L21/682 , H01L21/68742 , H01L21/68764 , H01L51/0011
摘要： 본발명은분리형구동축을갖는박막증착장치의자동정렬장치에관한것으로, 보다상세하게는박막증착장치의자동정렬장치에있어마그넷플레이트를승강시킴과동시에, 기판과마스크를정렬시키기위해회전하는구동축을벨로즈의상측및/또는하측에서분리형으로제작함으로써, 벨로즈의유지보수시에종래와같이전체구동축을분리하지않고도구동축의상측분리부를하측분리부로부터간단히분리할수 있도록되어작업시간이대폭단축되고보다효율적인작업이가능한분리형구동축을갖는박막증착장치의자동정렬장치에관한것이다.

9. 发明授权

KR101839220B1 플라즈마 활성화 장치가 구비된 증착장치 有权
公开(公告)号：KR101839220B1
公开(公告)日：2018-03-15
申请号：KR1020160104694
申请日：2016-08-18
申请人： 주식회사 제이몬
发明人： 윤종만 , 송혜진 , 이완희 , 이혁
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/06 , C23C14/26 , C23C14/52 , C23C14/56 , H01L31/0392
CPC分类号： C23C14/06 , C23C14/24 , C23C14/26 , C23C14/52 , C23C14/56 , H01L31/0392 , Y02E10/50
摘要： 본발명은공정챔버의하부일측에결합되어서시편의표면에증착박막을형성하기위해상기공정챔버내부에놓여진상기시편을향해분산되는셀레늄또는황 기체를분해하여반응성을높일수 있는크래커를포함한플라즈마활성화장치가구비된증착장치에관한것으로, 상기셀레늄또는황을저장하고상기셀레늄또는황을기체로증발시키는저장부및 상기저장부의상부와연통되도록연결되고증발된상기셀레늄또는황을플라즈마에너지를이용해분해및 활성화시키는크래커부를포함하되, 상기저장부외부를감싸며설치되는저장부히터와, 상기크래커부하단일측에형성되어상기셀레늄또는황 기체의분해를촉진하기위한반응가스가주입되는가스주입구를더 포함하는것을특징으로하는플라즈마활성화장치가구비된증착장치를제공한다.

10. 发明公开

KR1020170117308A 박막의 성막 방법 审中-实审
标题翻译：薄膜沉积法
公开(公告)号：KR1020170117308A
公开(公告)日：2017-10-23
申请号：KR1020167029277
申请日：2016-01-25
申请人： 닛토덴코 가부시키가이샤
发明人： 구니시마겐타로우 , 슈토슌스케 , 미쿠리노고우이치
IPC分类号： H01L21/02 , H01J37/32 , C23C14/52 , C23C14/54 , G01N21/67
CPC分类号： C23C14/52 , C23C14/54 , G01N21/67
摘要： (과제) 플라즈마광을발하는물질의종류의제약을받지않고 PEM 제어를실시할수 있는박막의성막방법. (해결수단) 본발명은, 구성물질에포함되는특정물질을선택하는스텝과, 특정물질의플라즈마가발하는광의스펙트럼에포함되는특정피크를선택하는스텝과, 특정피크를포함하는플라즈마광을취득하는스텝과, 플라즈마광을스펙트럼으로분해하는스텝과, 특정피크파장이포함되고특정피크강도의검출을저해하는노이즈가배제되도록검출파장범위를설정하는스텝과, 특정피크강도를검출하는스텝과, 특정피크강도를참조하여가스의유량을조정하는스텝을포함한다.
摘要翻译：（问题）一种形成能够进行PEM控制的薄膜的方法，而不受发射等离子光的材料的种类的限制。该方法包括以下步骤：选择构成材料中包含的特定材料;选择特定材料的等离子体将被挥发的光谱中包括的特定峰值;以及获取包含特定峰值的等离子体光将等离子体光分解成光谱的步骤;设定检测波长范围以排除包含特定峰值波长的噪声并且禁止检测特定峰值强度的步骤;检测特定峰值强度的步骤; 并参照峰值强度调整气体流量。

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