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1. 发明公开

KR1020140056100A 물체의 높이 또는 높이 프로파일을 측정하기 위한 방법 및 광 패턴 有权
标题翻译：用于测量物体的高度或高度剖面的方法和光图
公开(公告)号：KR1020140056100A
公开(公告)日：2014-05-09
申请号：KR1020130130557
申请日：2013-10-30
申请人： 비트로닉 독터 엔지니어 슈타인 빌트페어아르바이퉁스시스테메 게엠베하
发明人： 호프만,뷔르가르트 , 츠쉬츠홀츠디알,인고
IPC分类号： G01B11/25 , G01B11/02
CPC分类号： H04N5/2256 , G01B11/0608 , G01B11/0691 , G01B11/25 , G01B11/2522
摘要： The present invention relates to a method for measuring the height or height profile of an object (2). The method comprises the following steps: projecting a light pattern (12) in the shape of successive coded picture elements (11, 17) by being extended in a direction of a transversal axis (X) onto the object (2) by a light source (5) - each of the picture elements (11, 17) has at least one coding feature, and the picture elements (11, 17) together define a code word (7, 16). Picture element groups from a sequence of a predetermined number of successive picture elements (11) each define individual partial code words (8, 13, 14, 15) existing exactly once within the code word (7, 16) -; capturing the light pattern (12) by a picture sensor (3) arranged off-set to the light source (5); determining the positions of the picture element groups in the direction of the transversal axis (X); and determining the height of the object (2) by comparing the determined position of the picture element groups and a respective reference position.
摘要翻译：本发明涉及一种用于测量物体（2）的高度或高度轮廓的方法。该方法包括以下步骤：通过在横向轴线（X）的方向上通过光源（X）向对象物（2）延伸，将连续的编码图像元素（11,17）形状的光图案（12）（5） - 每个图像元素（11,17）具有至少一个编码特征，并且图像元素（11,17）一起定义码字（7,16）。来自预定数量的连续图像元素（11）的序列的图像元素组各自定义在码字（7,16）内正好存在一次的各个部分码字（8,13,14,15） - ; 通过偏置于光源（5）的图像传感器（3）捕获光图案（12）; 确定像素组在横轴方向上的位置（X）; 以及通过比较确定的像素组的位置和相应的参考位置来确定对象（2）的高度。

2. 发明公开

KR1020140015765A 극판 두께 측정 장치 및 방법 审中-实审
标题翻译： WEB厚度测量设备和方法
公开(公告)号：KR1020140015765A
公开(公告)日：2014-02-07
申请号：KR1020120080637
申请日：2012-07-24
申请人： 삼성에스디아이 주식회사
发明人： 전필구 , 심영철 , 김철홍 , 이준섭
IPC分类号： G01B21/08 , G01B11/06 , G01B7/06
CPC分类号： G01B7/107 , G01B11/026 , G01B11/0608 , G01B11/0691
摘要： An embodiment of the present invention relates to a web thickness measuring equipment and method. The purpose of the present invention is to improve the reliability of measured thickness data by enhancing the uniformity of thickness measurement of a web. To this end, an embodiment of the present invention discloses a web thickness measuring equipment and method comprising: a roller configured to be rotated; a web wound on the roller and moving in a rotating direction of the roller; a detection unit configured to detect an amount of light on an outer peripheral surface of the roller or an external surface of the web wound on the roller, and detect the size of a magnetic field on an internal surface of the web opposite to the external surface thereof; and a processor unit configured to measure the thickness of the web by generating profile data on the outer peripheral surface of the roller using a signal for the amount of light detected on the outer peripheral surface of the roller, generating displacement amount data on a target external surface of the web using a signal for the amount of light detected on the target external surface of the web moving in real-time, generating displacement amount data on a target internal surface of the web using a signal for the magnetic field detected on the internal surface of the web, and comparing the displacement amount data on the target external surface of the web with the displacement amount data on the target internal surface of the web.
摘要翻译：本发明的实施例涉及一种卷材厚度测量设备和方法。本发明的目的是通过提高幅材的厚度测量的均匀性来提高测量厚度数据的可靠性。为此，本发明的实施例公开了一种卷材厚度测量设备和方法，包括：辊，其被配置为旋转; 卷绕在辊上并沿着辊的旋转方向移动的卷筒纸; 检测单元，其被配置为检测所述辊的外周表面上的光量或卷绕在所述辊上的所述幅材的外表面，并且检测所述幅材的与所述外表面相对的内表面的尺寸物; 以及处理器单元，其被配置为通过使用在所述辊的外周表面上检测到的光量的信号在所述辊的外周表面上产生轮廓数据来测量所述幅材的厚度，在所述辊的外周表面上产生位移量数据使用在实时移动的幅材的目标外表面上检测到的光量的信号的纸幅表面，使用在内部检测到的磁场的信号在纸幅的目标内表面上产生位移量数据并且将幅材的目标外表面上的位移量数据与幅材的目标内表面上的位移量数据进行比较。

3. 发明授权

KR1019920007628B1 막두께 측정방법 失效
标题翻译：薄膜厚度测量方法
公开(公告)号：KR1019920007628B1
公开(公告)日：1992-09-09
申请号：KR1019890005520
申请日：1989-04-26
申请人： 미츠비시덴키 가부시키가이샤
发明人： 도꾸마루마꼬도 , 나가오도시시게 , 아리끼마사유끼 , 나가노히데기
IPC分类号： G01B11/02 , G01B11/06
CPC分类号： G01B11/0691
摘要： 내용 없음.

4. 发明授权

KR101897835B1 극판 두께 측정 장치 및 방법 有权
公开(公告)号：KR101897835B1
公开(公告)日：2018-09-12
申请号：KR1020120080637
申请日：2012-07-24
申请人： 삼성에스디아이 주식회사
发明人： 전필구 , 심영철 , 김철홍 , 이준섭
IPC分类号： G01B21/08 , G01B11/06 , G01B7/06
CPC分类号： G01B7/107 , G01B11/026 , G01B11/0608 , G01B11/0691
摘要： 본발명의일 실시예는극판두께측정장치및 방법에관한것으로, 해결하고자하는기술적과제는극판의두께측정의균일도를향상시켜측정된두께데이터의신뢰성을향상시킬수 있는데 있다. 이를위해본 발명의일 실시예는회전하는회전하는롤러; 상기롤러에감겨져상기롤러의회전방향으로이동하는극판; 상기롤러의외주면또는상기롤러에권취되는극판의외표면에대한광량을검출하고, 상기극판의외표면의반대면인내표면의자계의크기를검출하는검출부; 및상기롤러의외주면의광량검출신호를이용하여상기롤러의외주면의프로파일데이터를형성하고, 실시간으로이동하는극판의타겟외표면의광량검출신호를이용하여상기극판의타겟외표면의변위량데이터를형성하며, 상기극판의내표면의자계검출신호를이용하여상기극판의타겟내표면의변위량데이터를형성하여, 상기극판의타겟외표면의변위량데이터와상기극판의타겟내표면의변위량데이터를비교하여상기극판의두께를연산하는프로세서부;를포함하는극판두께측정장치를개시한다.

5. 发明公开

KR1020170008793A 포장용 강 스트립의 제조 방법 및 관련 설비 审中-实审
标题翻译：制造用于包装和相关设备的钢带的方法
公开(公告)号：KR1020170008793A
公开(公告)日：2017-01-24
申请号：KR1020167034977
申请日：2014-05-16
申请人： 아르셀러미탈
发明人： 스투프마티아스 , 그리예르다피트 , 마르뀌에티에리 , 레퀴쁘기욤 , 르끌레르띠볼 , 프리드리히마르크
IPC分类号： C23C22/00 , C23C22/05 , C23C22/77 , C23C22/82 , B05C1/08 , G01B11/06 , G01B7/06
CPC分类号： C23C22/73 , B05C1/0817 , B05C1/0834 , B05D1/28 , C23C22/00 , C23C22/30 , C23C22/361 , C23C22/77 , C23C22/78 , C23C22/82 , C23C2222/10 , C23C2222/20 , F26B3/04 , F26B15/10 , G01B7/107 , G01B11/0683 , G01B11/0691
摘要： 패시베이션층으로코팅된포장용강 스트립들의연속제조방법으로서, 두께가 3 ㎛미만이고 20℃에서점도가 1.5·10㎩·s 미만인수성패시베이션용액의층이상기스트립의면들중 하나에퇴적되는, 상기방법이제공된다. 이러한퇴적은전사롤러에의해행해지고, 상기전사롤러는한편으로는상기스트립과접촉하며다른한편으로는제 2 의코팅롤러와접촉하고, 상기코팅롤러의표면은복수의육각형형상의셀들을구비하고, 상기셀들의라인카운트는센티미터당 50 내지 200 라인이고, 상기셀들의총 체적은롤러표면의제곱미터당 5·10내지 10·10㎥이고, 상기코팅롤러는와이핑수단을구비한탱크에침지됨으로서수성패시베이션용액을공급받고, 상기스트립은 400 m/min 이상의속도로주행한다. 본방법을실행하기위한관련장치가제공된다.
摘要翻译：一种用于连续制造用于包装的钢带的方法，其涂覆有钝化层，其中一层钝化水溶液的厚度小于3μm，其粘度小于1.5×10 -3 Pa。在20℃下沉积在所述条的一个面上。另一方面，通过与转印辊接触的转印辊进行沉积，另一方面，涂布辊的表面具有多个六边形形状的泡沫，行数为介于50至200线/厘米之间，其总体积为5×10-6至10×10-6立方米/平方米的辊表面，所述涂布辊通过浸入罐具有擦拭装置，所述带以大于或等于400m / min的速度运行。相关实施设备。

6. 发明公开

KR1020160150004A 필름 제조 장치에서 실시간 필름 두께 측정을 위한 전폭 어레이 영상 센서의 이용 审中-实审
标题翻译：使用全宽阵列成像传感器来测量薄膜制造设备上的实际薄膜厚度
公开(公告)号：KR1020160150004A
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：KR1020160066620
申请日：2016-05-30
申请人： 제록스 코포레이션
发明人： 보니노,폴에스. , 헤로스키,로버트피. , 르페브르,제이슨엠.
IPC分类号： G01B11/06 , G01B9/00 , G01J3/02
CPC分类号： G01B11/0616 , C23C16/52 , G01B11/0633 , G01B11/0683 , G01B11/0691 , G01B11/06 , G01B9/00 , G01J3/0208 , G01J3/0229
摘要： 분광광도계를이용한필름-두께분석제공방법은발광체가기재표면상에적층된필름에광속을방출하는단계, 선형센서가굴절률분포형렌즈및 선형가변필터를통해기재표면상에적층된필름에서반사되는빛을수용하는단계, 및처리기가선형센서로부터수용된필름의분광반사율에기초하여필름두께를결정하는단계를포함한다.
摘要翻译：用分光光度计提供薄膜厚度分析的方法包括配置照射器以在沉积在基板表面上的薄膜上发射光束，配置线性传感器以经由梯度折射率透镜接收从基板表面上沉积的膜反射的光以及线性可变滤波器，并且配置处理器以基于从线性传感器接收的胶片的光谱反射率确定胶片的厚度。

7. 发明授权

KR101601367B1 물체의 높이 또는 높이 프로파일을 측정하기 위한 방법 및 광 패턴 有权
标题翻译：用于测量物体的高度或高度剖面的方法和光图
公开(公告)号：KR101601367B1
公开(公告)日：2016-03-08
申请号：KR1020130130557
申请日：2013-10-30
申请人： 비트로닉 독터 엔지니어 슈타인 빌트페어아르바이퉁스시스테메 게엠베하
发明人： 호프만,뷔르가르트 , 츠쉬츠홀츠디알,인고
IPC分类号： G01B11/25 , G01B11/02
CPC分类号： H04N5/2256 , G01B11/0608 , G01B11/0691 , G01B11/25 , G01B11/2522
摘要： 물체(2)의높이또는높이프로파일을측정하기위한방법으로서, 이방법은다음의방법단계들: 광원(5)에의해상기물체(2) 상에횡축(X)의방향으로연장하여연속적인코딩된픽처요소들(11, 17)의형태로광 패턴(12)을투영하는단계 - 상기픽처요소들(11, 17) 각각은적어도하나의코딩특징을갖고, 상기픽처요소들(11, 17)은함께코드워드(7, 16)를정의하며, 사전결정된수의연속적인픽처요소들(11)의시퀀스로부터의픽처요소그룹들각각은상기코드워드(7, 16) 내에정확히한 번존재하는개별부분코드워드들(8, 13, 14, 15)을정의하고, 바로이웃하는픽처요소그룹들은부분적으로동일한픽처요소들(11, 17)을포함하며, 각각의픽처요소그룹은기준평면에관하여상기횡축(X)의방향으로특정기준위치에할당됨 - , 상기광원(5)에대해오프셋배열된픽처센서(3)에의해상기광 패턴(12)을캡처하는단계, 상기픽처요소그룹들의상기횡축(X) 방향에서의위치들을결정하는단계, 및상기픽처요소그룹들의상기결정된위치와상기각각의기준위치를비교하여상기물체(2)의상기높이를결정하는단계를 포함하고, 상기픽처요소들(11, 17)은개별광 포인트들이고, 상기코딩특징은상기개별픽처요소들(11, 17)의상기시퀀스의방향에서의상기광 패턴(12)의연장에대해횡 방향에서의상기광 포인트들의위치이고, 상기광 포인트들은상기광 패턴(12)의상기연장을따라여러개의라인으로배열된다.

8. 发明公开

KR1020090009253A 점성물질 처리용 압연장치 无效
标题翻译：用于处理粘度大小的轧制机
公开(公告)号：KR1020090009253A
公开(公告)日：2009-01-22
申请号：KR1020087028496
申请日：2007-03-26
申请人： 뷔흘러 에이지
发明人： 슈투름,아침필립프 , 쿠쿤,안드레아스 , 비볼렛,라이오넬 , 스탈더,베른하드
IPC分类号： B22F1/00 , B22F3/18
CPC分类号： B02C4/36 , A23G1/12 , G01B11/0691
摘要： The invention relates to a rolling mill and a method for treating viscous masses, in particular, for comminution and homogeneous dispersion of suspended solid particles in a binder. The rolling mill comprises at least two rollers, mounted to rotate about the the longitudinal axes thereof. The rotational axle of a first roller has a fixed mounting whilst the rotational axle of a second roller has a displaceable mounting. The rolling mill further comprises a press device for pressing at least one roller against the other roller and is provided with at least one layer thickness sensor device for recording the value of the layer thickness of the treated viscous mass on a roller. During operation of the rolling mill, the layer thickness sensor records the value for the layer thickness of the treated viscous mass on the roller. The recording of the layer thickness can be carried out continuously.
摘要翻译：本发明涉及一种用于处理粘性物质的轧机和方法，特别是用于将悬浮固体颗粒粉碎和均匀分散在粘合剂中的方法。轧机包括至少两个辊，其安装成围绕其纵向轴线旋转。第一辊的旋转轴具有固定的安装，而第二辊的旋转轴具有可移位的安装。轧机还包括用于将至少一个辊压靠在另一个辊上的压力装置，并且设置有至少一个层厚度传感器装置，用于将经处理的粘性物质的层厚度的值记录在辊上。在轧机操作期间，层厚度传感器记录辊上经处理的粘性物质的层厚度的值。层厚的记录可以连续进行。

9. 发明授权

KR101679939B1 테스트 유리 교환기 및 교환 방법 有权
标题翻译：测试玻璃变化
公开(公告)号：KR101679939B1
公开(公告)日：2016-11-25
申请号：KR1020147008805
申请日：2012-06-28
申请人： 뷔흘러 알제나우 게엠베하
发明人： 죌러알폰스 , 하게도른하로 , 비르트에크하르트 , 바인리히베르너 , 그로스토비아스
IPC分类号： G01N21/25 , G01N21/88 , G01B11/06 , C23C14/52 , G01N21/84
CPC分类号： G01N21/88 , G01B11/0616 , G01B11/0691 , G01N21/253 , G01N2021/8427
摘要： 본발명은, 적어도하나의기판을코팅재료의적어도하나의스트림을통하는경로로안내하기위한이동식기판홀더(2)를갖는진공코팅시스템에서레이어성질을광학적으로측정하기위한테스트유리교환기로서, 적어도하나의테스트유리요소를위해회전식스핀들(4)에견고하게연결되고그리고회전식스핀들(4)을중심으로기판홀더(2)에대해회전될수 있는마운트(6)와, 한번에하나의테스트유리요소를광학측정장치의광선경로에그리고코팅재료의적어도하나의스트림에도입하기위한제어장치를포함하고, 마운트(6)는각각의경우에하나의테스트유리요소를위해회전식스핀들(4)에대해편심적으로오프셋되어있는적어도하나의리세스(7)를가지며, 마운트(6)의회전식스핀들(4)을중심으로한 회전이동이제어장치에의해유발될수 있는, 테스트유리교환기에있어서, 리세스들(7) 중하나의리세스내에배열된테스트유리요소를광학측정장치의측정위치로이동시키기위해센터링장치(10)가제공되며, 센터링장치에의해토크와유지모멘트가마운트(6)에인가될수 있는것을특징으로하는테스트유리교환기에관한것이다. 또한, 본발명은, 테스트유리교환기를이용하여테스트유리를교환하기위한방법으로서, 리세스들(7) 중하나의리세스내에배열된테스트유리요소가광학측정장치의측정위치로이동되기전에, 제어장치를이용하여마운트(6)의회전이동을유발하는단계와, 회전이동에의해테스트유리요소를제1 위치로이동시키는단계로서, 제1 위치의측정위치로부터의각거리는리세스들(7) 사이의각거리보다작은, 이동단계와, 센터링장치(10)를이용하여테스트유리요소를측정위치로이동시키는단계를포함하는것을특징으로하는테스트유리교환방법에관한것이다.
摘要翻译：一种用于在真空涂层系统中光学测量层性能的测试玻璃变换器，包括用于通过涂料材料引导衬底的可移动衬底保持器; 连接到旋转主轴并且相对于基板保持器围绕旋转主轴可旋转的安装件; 以及控制装置，其将测试玻璃元件引导到光学测量装置的射线路径中并进入涂层材料的流中。在每种情况下，安装件具有至少两个相对于主轴偏心偏移的凹部，用于一个测试玻璃元件。控制装置可以引起安装件围绕主轴的旋转运动。定心装置可以在支架上施加扭矩和保持力矩，以将设置在其中一个凹部中的测试玻璃元件带入测量装置的测量位置。还提供了相关方法。

10. 发明公开

KR1020150007967A 연마 장치 및 연마 상태 감시 방법 审中-实审
标题翻译：抛光装置和抛光状态监测方法
公开(公告)号：KR1020150007967A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：KR1020140085276
申请日：2014-07-08
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 고바야시요이치 , 와타나베가츠히데 , 시오카와요이치 , 야기게이타 , 기노시타마사키
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/66
CPC分类号： B24B37/013 , G01B11/0625 , G01B11/0683 , G01B11/0691
摘要： An objective of the present invention is to provide a polishing apparatus capable of achieving a highly-precise polishing result. The polishing apparatus includes an in-line film-thickness measuring device (80) to measure a film thickness of a substrate in a stationary state, and an in-situ spectral film-thickness monitor (39) having a film thickness sensor (40) disposed in a polishing table (30A). The in-situ spectral film-thickness monitor (39) subtracts an initial film thickness, measured by the in-situ spectral film-thickness monitor (39) before the substrate is polished, from an initial film thickness, measured by the in-line film-thickness measuring device (80) before the substrate is polished, to determine a correction value, adds the correction value to a film thickness measured when the substrate is polished to obtain a monitoring film thickness, and monitors a progress of polishing of the substrate based on the monitoring film thickness.
摘要翻译：本发明的目的是提供能够实现高精度抛光结果的抛光装置。抛光装置包括用于测量静止状态的基板的膜厚的直列式膜厚测量装置（80）和具有膜厚度传感器（40）的原位光谱膜厚监视器（39）设置在抛光台（30A）中。原位光谱膜厚度监测器（39）从原始光谱膜厚度监测器（39）在衬底抛光之前测量的初始膜厚度从初始膜厚度中减去初始膜厚度抛光基板之前的膜厚测量装置（80），以确定校正值，将修正值与抛光基板时测量的膜厚度相加以获得监控膜厚度，并监视基板的抛光进度基于监测膜厚度。

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