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1. 发明授权

KR101222879B1 가스 주입형 크랙커 有权
标题翻译：燃气喷射式破碎机
公开(公告)号：KR101222879B1
公开(公告)日：2013-01-18
申请号：KR1020110045822
申请日：2011-05-16
申请人： 주식회사 제이몬
发明人： 윤종만 , 조유석 , 강영진 , 송혜진
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/04 , H01L21/02
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要： 본 발명의 일실시예에 따른 가스 주입형 크랙커는, 증착 챔버(1)의 하부 영역에 가스 주입형 크랙커(100)를 설치하되 서셉터(3)에 놓여진 기판(5)의 하부 영역에 상기 가스 주입형 크랙커(100)를 설치하여 상기 기판(5)을 향해 셀레늄 혹은 황을 상방으로 상승시킴으로써 상기 기판(5)의 표면에 증착 박막이 형성되도록 하는 가스 주입형 크랙커(100)에 있어서, 상기 셀레늄 혹은 황을 충전시키는 공간으로 그 공간에 충전된 상기 셀레늄 혹은 황을 승화시키는 도가니(10); 상기 도가니(10)의 하부에 설치되고 상기 도가니(10) 속에서 가열되어 승화된 상기 셀레늄 혹은 황을 상기 기판(5)으로 이송하기 위한 이송 가스를 주입하는 가스 주입구간(20); 상기 도가니(10) 내에 설치되고 상기 가스 주입구간(20)에서 주입된 상기 이송 가스를 상방으로 이동시켜 상기 도가니(10)에 도달하도록 하는 가스 이동구간(30); 상기 도가니(10)의 상부에 설치되고 상기 도가니(10) 속에서 가열되어 승화된 상기 셀레늄 혹은 황 및 상기 도가니(10)에 도달한 상기 이송 가스를 상방으로 이동시킴과 동시에 상기 이송 가스에 이송된 상기 셀레늄 혹은 황을 열분해하는 가스 분해구간(50); 및 상기 가스 분해구간(50)의 상부에 설치되고 상기 가스 분해구간(50)에서 열분해된 상기 셀레늄 혹은 황을 상기 이송 가스와 함께 상기 기판(5)으로 배출시키는 가스 배출구간(70)을 포함한다.

2. 发明授权

KR101856327B1 금속박막 증착용 도가니형 증발원 有权
标题翻译：用于蒸发金属薄膜的坩埚
公开(公告)号：KR101856327B1
公开(公告)日：2018-05-10
申请号：KR1020160070362
申请日：2016-06-07
申请人： 주식회사 제이몬
发明人： 윤종만 , 송혜진 , 이완희 , 이혁
IPC分类号： F27B14/10 , F27B14/14 , F27B14/06 , C23C14/24
摘要： 본발명은금속박막을증착하기위한증착장치에사용되며증착물질을가열하여증발시키는금속박막증착용도가니형증발원에관한것으로, 증착물질을담기위한도가니와, 상기도가니외측과상기도가니를감싸는하우징의내측사이에위치하고상기도가니전체를감싸도록열선이구비된발열부및 상기발열부상측에위치하고상기도가니상단부외주측을감싸는를 포함하되, 상기삽입부는, 상기도가니상부로전달되는열 중일부분만전달되도록하여상기도가니상부가기설정온도이상가열되는것을방지함으로써내부금속이도가니벽면을타고오르지않도록하는것을특징으로하는금속박막증착용도가니형증발원을제공한다.

3. 发明公开

KR1020180016150A 스피팅 방지 구조체를 구비한 증착장치용 증발원 有权
标题翻译：一种用于具有防吐结构的沉积设备的蒸发源
公开(公告)号：KR1020180016150A
公开(公告)日：2018-02-14
申请号：KR1020160100215
申请日：2016-08-05
申请人： 주식회사 제이몬
发明人： 윤종만 , 송혜진 , 이완희 , 이혁
IPC分类号： H01L21/203 , H01L21/22 , H01L21/02 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/203 , H01L21/02631 , H01L21/22 , H01L21/67098
摘要： 본발명은도가니에소스물질을담고도가니를가열하여소스물질을기판에증착시키는과정에서용융된소스물질이튀는현상인스피팅(spitting) 현상을방지할수 있도록하는스피팅방지구조체를구비한증착장치용증발원에관한것으로, 내부에는소스물질이수용되도록하며일측에는개구부가형성된도가니와, 상기도가니에열을가할수 있도록상기도가니몸체에위치하는가열원과, 상기도가니몸체의내부에수평하게삽입되는플레이트형상의디스크를포함하는스피팅방지구조체를구비한증착장치용증발원을제공한다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于在坩埚中沉积源材料并且加热坩埚以防止在将源材料沉积在基底上的过程中溅射熔融源材料的喷溅现象的沉积设备涉及一种蒸发源，内部，并且，所述源材料yisuyong形成在坩埚的开口的一侧，并为加热的坩埚不位置到主体热源，并且在板的炉等水平地插入主体盘坩埚并蒸发蒸发源的蒸发源。

4. 发明授权

KR101214368B1 하향식 셀레늄 크랙커 有权
标题翻译：下拉式破碎机
公开(公告)号：KR101214368B1
公开(公告)日：2012-12-21
申请号：KR1020110011029
申请日：2011-02-08
申请人： 주식회사 제이몬
发明人： 윤종만 , 조유석 , 강영진 , 송혜진
IPC分类号： C23C14/24 , H01L31/18 , H01L21/203
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 본발명의일실시예에따른하향식셀레늄크랙커는, 증착챔버내의상부영역에하향식셀레늄크랙커를설치하되서셉터위에올려진기판의상부영역에상기하향식셀레늄크랙커를설치하여상기기판을향해셀레늄을하방으로낙하시킴으로써상기기판의상부표면에증착박막이형성되도록하는하향식셀레늄크랙커에있어서, 상기셀레늄을충전시키는공간으로그 공간에충전된상기셀레늄을승화시키는도가니; 상기도가니의상부와연통하여상기도가니속에서가열되어승화된상기셀레늄을하방으로이동시키는가스이동구간; 상기가스이동구간의하부에설치되고상기가스이동구간을통해공급된상기셀레늄을열분해하는가스분해구간; 및상기도가니, 상기가스이동구간, 및상기가스분해구간을내장하는하우징을포함하되, 상기하우징의상부면에는상기가스분해구간에서열분해된상기셀레늄을상기기판으로이송하기위한이송가스를주입하기위한가스주입용플랜지가구비되고, 상기하우징의하부면에는상기이송가스에이송된상기셀레늄을배출하기위한배출구가구비되는것을특징으로한다.

5. 发明公开

KR1020120066174A 내식 피막이 형성된 고진공용 열선 및 이의 제조방법 无效
标题翻译：具有耐腐蚀膜的高真空热丝及其制造方法
公开(公告)号：KR1020120066174A
公开(公告)日：2012-06-22
申请号：KR1020100127388
申请日：2010-12-14
申请人： 주식회사 제이몬
发明人： 윤종만 , 조유석 , 강영진 , 송혜진
IPC分类号： H05B3/56
CPC分类号： H05B3/145 , H05B3/14 , H05B3/40 , H05B2203/017 , H05B2214/04
摘要： PURPOSE: A high vacuum hot-wire and a manufacturing method thereof are provided to form an uniform film by forming a carbon film on the surface of the high vacuum hot-wire by using a carbon nano-tube of power type, grapheme, and oxidation graphene. CONSTITUTION: A carbon source is prepared(S100). The carbon source is spread on the surface of a hot-wire with prescribed thickness(S110). The hot-wire in which carbon source is spread is settled within a vacuum chamber(S120). The hot-wire in which carbon source is spread is heated through current application(S130). A corrosion-resistant film of tantalum carbide and tungsten carbide is formed on the surface of the hot-wire in which carbon source is spread through carbon decomposition and spreading of carbon source within the hot-wire.
摘要翻译：目的：提供一种高真空热丝及其制造方法，以通过使用动力式，图形和氧化的碳纳米管在高真空热丝的表面上形成碳膜来形成均匀的膜石墨烯。构成：准备碳源（S100）。碳源在规定厚度的热丝的表面上扩散（S110）。将碳源扩散的热丝沉积在真空室内（S120）。碳源扩散的热丝通过电流加热进行加热（S130）。在热丝表面形成碳化钨和碳化钨的耐腐蚀膜，其中碳源通过碳源在热丝内的碳分解和扩散而扩散。

6. 发明授权

KR101112597B1 단일벽 탄소나노튜브 합성용 하이브리드 아크 플라즈마 방전장치 有权
标题翻译：用于合成单壁碳纳米管的混合电弧等离子体放电装置
公开(公告)号：KR101112597B1
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：KR1020090058908
申请日：2009-06-30
申请人： 주식회사 제이몬
发明人： 조유석
IPC分类号： H05H1/32 , H05H1/24
摘要： 본 발명은 단일벽 탄소나노튜브 합성용 하이브리드 아크 플라즈마 방전장치에 관한 것으로, 아크 방전법을 이용하여 단일벽 탄소나노튜브 합성시 챔버 내부의 온도를 조절하여 단일벽 탄소나노튜브의 결정성 및 순도를 제어할 수 있도록 하는 단일벽 탄소나노튜브 합성용 하이브리드 아크 플라즈마 방전장치에 관한 것이다.
본 발명은 반응 챔버; 반응 챔버 내부에서 아크 방전을 일으키는 흑연전극; 방전되는 아크를 보호하고, 흑연전극으로부터 기화된 탄소기체가 냉각 및 응축과정을 거쳐 합성된 탄소나노튜브를 포집하는 포집관; 포집관 내부를 가열 및 보온하여 상기 탄소나노튜브의 성장시간을 지연시키는 히터; 를 포함하여 이루어진다.
이에 따라 본 발명은 탄소기체가 냉각되어 탄소나노튜브로 합성 과정 중 탄소나노튜브의 성장 및 결정화 온도영역으로 유지시켜줄 수 있는 발열체 및 흡열체를 사용하여 탄소나노튜브 합성 물들이 합성 시간 동안 성장 및 결정화 온도로 유지될 수 있도록 하여, 비정질 탄소, 나노 파티클(particle)과 같은 불순물의 생성을 억제할 수 있으며, 탄소나노튜브의 합성 수율과 순도를 높일 수 있고, 합성된 탄소나노튜브의 결정성을 향상시킬 수 있게 된다.
단일벽, 탄소나노튜브, 합성, 아크 방전장치, 온도 제어

7. 发明授权

KR101074676B1 후면전극 및 기판으로 철을 이용한 화합물 반도체 박막형 태양전지 失效
标题翻译：复合半导体薄膜太阳能电池使用Fe层用于反接触和基板
公开(公告)号：KR101074676B1
公开(公告)日：2011-10-19
申请号：KR1020090058941
申请日：2009-06-30
申请人： 주식회사 제이몬
发明人： 조유석
IPC分类号： H01L31/04 , H01L31/0224
CPC分类号： Y02E10/50
摘要： 구체적으로는기존태양전지의후면전극(back contact)으로서 Mo(몰리브데늄) 박막층을유리기판및 금속기판상에증착하여이용하던공정기술을대신하여고순도의 Fe(99.5% 이상)를후면전극층이나기판으로이용함으로써 CIGS(CuInGaSe; 0

8. 发明授权

KR101846692B1 스피팅 방지 구조체를 구비한 증착장치용 증발원 有权
公开(公告)号：KR101846692B1
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：KR1020160100215
申请日：2016-08-05
申请人： 주식회사 제이몬
发明人： 윤종만 , 송혜진 , 이완희 , 이혁
IPC分类号： H01L21/203 , H01L21/22 , H01L21/02 , H01L21/67
摘要： 본발명은도가니에소스물질을담고도가니를가열하여소스물질을기판에증착시키는과정에서용융된소스물질이튀는현상인스피팅(spitting) 현상을방지할수 있도록하는스피팅방지구조체를구비한증착장치용증발원에관한것으로, 내부에는소스물질이수용되도록하며일측에는개구부가형성된도가니와, 상기도가니에열을가할수 있도록상기도가니몸체에위치하는가열원과, 상기도가니몸체의내부에수평하게삽입되는플레이트형상의디스크를포함하는스피팅방지구조체를구비한증착장치용증발원을제공한다.

9. 发明授权

KR101839220B1 플라즈마 활성화 장치가 구비된 증착장치 有权
公开(公告)号：KR101839220B1
公开(公告)日：2018-03-15
申请号：KR1020160104694
申请日：2016-08-18
申请人： 주식회사 제이몬
发明人： 윤종만 , 송혜진 , 이완희 , 이혁
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/06 , C23C14/26 , C23C14/52 , C23C14/56 , H01L31/0392
CPC分类号： C23C14/06 , C23C14/24 , C23C14/26 , C23C14/52 , C23C14/56 , H01L31/0392 , Y02E10/50
摘要： 본발명은공정챔버의하부일측에결합되어서시편의표면에증착박막을형성하기위해상기공정챔버내부에놓여진상기시편을향해분산되는셀레늄또는황 기체를분해하여반응성을높일수 있는크래커를포함한플라즈마활성화장치가구비된증착장치에관한것으로, 상기셀레늄또는황을저장하고상기셀레늄또는황을기체로증발시키는저장부및 상기저장부의상부와연통되도록연결되고증발된상기셀레늄또는황을플라즈마에너지를이용해분해및 활성화시키는크래커부를포함하되, 상기저장부외부를감싸며설치되는저장부히터와, 상기크래커부하단일측에형성되어상기셀레늄또는황 기체의분해를촉진하기위한반응가스가주입되는가스주입구를더 포함하는것을특징으로하는플라즈마활성화장치가구비된증착장치를제공한다.

10. 发明公开

KR1020150020974A 알루미늄 용융용 도가니 및 이의 제조방법 审中-实审
标题翻译：铝熔炼坩埚及其制造方法
公开(公告)号：KR1020150020974A
公开(公告)日：2015-02-27
申请号：KR1020130098189
申请日：2013-08-19
申请人： 주식회사 제이몬
发明人： 윤종만 , 조유석 , 강영진 , 송혜진
IPC分类号： F27B14/10
CPC分类号： F27B14/10 , C23C14/067 , C23C14/18 , F27B2014/104 , F27D1/0006 , F27D1/16
摘要： 본 발명은 알루미늄 용융용 도가니 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 알루미늄 용융용 도가니는 알루미늄이 수용되는 본체; 및 상기 본체 내벽에 형성되는 타이타늄 붕소화물 코팅층;을 포함함으로써, 내구성, 내부식성 및 고온 안정성이 우수하여 향상된 수명을 가지는 장점이 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于熔化铝的坩埚及其制造方法。根据本发明的用于熔化铝的坩埚包括：其中含有铝的主体; 和形成在主体内壁上的硼化钛涂层。以这种方式，耐久性，耐腐蚀性，高温稳定性优异，寿命延长。

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