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1. 发明授权

KR101900132B1 광학 코팅 방법, 기기 및 제품 有权
公开(公告)号：KR101900132B1
公开(公告)日：2018-09-18
申请号：KR1020147017206
申请日：2012-11-30
申请人： 코닝 인코포레이티드
发明人： 리,크리스토퍼모르톤 , 루,시아오-펭 , 오우양,마이클수 , 장,준홍
IPC分类号： C03C17/00 , C03C17/42 , C23C14/50 , C23C16/458 , C23C14/54 , C23C14/24
CPC分类号： G02B1/11 , B05C13/00 , B05D5/061 , C03C17/002 , C03C17/42 , C03C2217/73 , C03C2217/734 , C03C2217/76 , C03C2217/78 , C03C2218/151 , C03C2218/32 , C23C14/044 , C23C14/12 , C23C14/24 , C23C14/505 , C23C14/56 , G02B1/115
摘要： 본발명은광학코팅및 상기광학코팅상의이지-투-클린(ETC : easy-to-clean) 코팅을갖는유리물품을만들기위한향상된공정과, 상기공정을사용해만들어진제품과, 상기공정용기기에관한것이다. 특히, 본발명은공정에관한것이고, 상기공정에서광학코팅및 이지-투-클린코팅의도포는단일의기기를사용하여순차적으로도포될수 있다. 본명세서에기재된조합된코팅기기및 기판캐리어를사용하면스크래치저항내구성및 광학성능을향상시킨광학코팅및 이지-투-클린코팅모두를갖는유리물품이초래되고, 그리고더욱이최종물품은 "섀도우가없다".

2. 发明公开

KR20180072300A 필터유닛 및 이를 포함하는 도금장치 有权
公开(公告)号：KR20180072300A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：KR20160175735
申请日：2016-12-21
申请人： 주식회사 포스코
发明人： NAM KYUNG HOON , KIM SANG JOON , KO KYOUNG PIL , KIM TAE YEOB , EOM MUN JONG
IPC分类号： C23C14/56 , C23C14/24
CPC分类号： C23C14/24 , C23C14/56 , C23C14/564 , C23C14/243
摘要： 본발명의일 실시예에따른필터유닛은일측방향에서유체가유입되며, 내부단면이원형인형상으로구비되어상기유체의회전유동을형성하는사이클론바디부재및 상기사이클론바디부재의중앙상단부에구비되며, 적어도일부단면이비원형을형성하여회전유동을저감시켜상기유체를배출하는배출부재를포함할수 있다.

3. 发明公开

KR20180050216A 초저 디펙트 부품 프로세스 审中-公开
公开(公告)号：KR20180050216A
公开(公告)日：2018-05-14
申请号：KR20170138100
申请日：2017-10-24
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： C23C14/22 , C23C14/02 , C23C14/06 , C23C14/56 , C23C16/0209 , C23C16/22 , C23C16/46
摘要： 기판프로세싱챔버의컴포넌트의표면들상의디펙트들을제거하고방지하는방법은진공챔버내로컴포넌트를로딩하는단계, 및진공챔버내에로딩된컴포넌트를사용하여, 컴포넌트의표면들로부터물 및디펙트들을제거하기위해제 1 미리결정된기간동안베이킹온도로컴포넌트를베이킹하고진공챔버로부터디펙트들을제거하기위해적어도한번의제 2 미리결정된기간동안진공챔버내의컴포넌트를퍼지하는단계를포함한다.

4. 发明授权

KR101820584B1 박막 리튬 이온 배터리를 형성하기 위한 시스템, 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于形成薄膜锂离子电池的系统，方法和设备
公开(公告)号：KR101820584B1
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：KR1020157022766
申请日：2014-01-17
申请人： 애플잭 199 엘.피.
发明人： 리,웬밍 , 윤,병훈 , 쿠,앤
IPC分类号： H01M4/134 , H01M4/1395 , H01M10/0585 , H01M10/0562 , H01M10/052 , H01M10/04
CPC分类号： H01M4/1395 , C23C14/56 , C23C14/564 , C23C14/568 , C23C16/54 , H01M4/0423 , H01M4/0426 , H01M4/0428 , H01M4/134 , H01M4/386 , H01M10/0436 , H01M10/052 , H01M10/0525 , H01M10/0562 , H01M10/058 , H01M10/0585 , H01M2004/027 , H01M2220/30 , Y02E60/122 , Y02P70/54 , Y02T10/7011 , Y10T29/49115
摘要： 기판, 상기기판상에형성되는제1 전류컬렉터, 상기제1 전류컬렉터의일부상에형성되는캐소드층, 상기캐소드층상에형성되는전해질재료의고체층, 상기전해질재료의고체층상에형성되는실리콘-금속박막애노드층, 및상기실리콘-금속박막애노드층에전기적으로결합되는제2 전류컬렉터를포함하는, 박막필름배터리를형성하는시스템및 방법. 박막배터리를형성하기위한방법및 시스템이또한기술된다.
摘要翻译：基板，形成在固体层上的硅，在基板，其在所述第一集流器的一部分上形成上形成第一集电体的阴极层的电解质材料的固体层，在形成电解质材料的阴极层上 - 薄金属膜阳极层和电耦合到硅 - 金属薄膜阳极层的第二集电器。还描述了用于形成薄膜电池的方法和系统。

5. 发明授权

KR101801351B1 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 및 이를 이용하여 제조된 유기 발광 표시 장치 有权
标题翻译：一种薄膜沉积设备，使用该薄膜沉积设备制造有机发光显示器的方法以及使用该薄膜沉积设备制造的有机发光显示器
公开(公告)号：KR101801351B1
公开(公告)日：2017-11-27
申请号：KR1020110031288
申请日：2011-04-05
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 송정배 , 최범락 , 이상필 , 송영록
IPC分类号： H01L51/56 , C23C14/24
CPC分类号： H01L51/0004 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/56
摘要： 제조가용이하고, 대형기판양산공정에용이하게적용될수 있으며, 제조수율및 증착효율이향상된박막증착장치, 이를이용한유기발광표시장치의제조방법및 이를이용하여제조된유기발광표시장치를제공하기위하여, 본발명은기판상에박막을형성하기위한박막증착장치에있어서, 상기박막증착장치는복수개의박막증착어셈블리들을포함하고, 상기복수개의박막증착어셈블리들각각은, 증착물질을방사하는증착원; 상기증착원의일 측에배치되며, 제1 방향을따라복수개의증착원노즐들이형성되는증착원노즐부; 상기증착원노즐부와대향되게배치되고, 상기제1 방향을따라복수개의패터닝슬릿들이형성되는패터닝슬릿시트; 및상기증착원노즐부와상기패터닝슬릿시트사이에상기제1 방향을따라배치되어, 상기증착원노즐부와상기패터닝슬릿시트사이의공간을복수개의증착공간들로구획하는복수개의차단판들을구비하는차단판어셈블리;를포함하고, 상기박막증착장치는상기기판과소정정도이격되도록형성되며, 상기박막증착장치와상기기판은, 어느일 측이타 측에대하여상대적으로이동가능하도록형성되고, 상기복수개의박막증착어셈블리들의각 증착원에는적어도적색발광층재료, 녹색발광층재료, 청색발광층재료및 보조층재료가구비되는것을특징으로하는박막증착장치를제공한다.
摘要翻译：这是很容易制造，并且可以被容易地应用到大基板的生产过程中，为了提供一种生产率和沉积效率得到改善的成膜装置，制造有机光使用相同的发光显示装置的方法，以及通过使用该制造时，有机发光二极管显示器本发明提供用于在基板上形成薄膜的成膜装置，所述成膜装置包括多个薄膜沉积组件，每个所述多个薄膜沉积组件的，用于发射的沉积材料的蒸发源; 蒸发源喷嘴单元，其设置在所述蒸发源的一侧并具有沿着第一方向形成的多个蒸发源喷嘴; 图案化缝隙片，所述图案化缝隙片设置成面对所述蒸发源喷嘴单元并且具有沿所述第一方向形成的多个图案化缝隙; 并且在蒸发源喷嘴单元和图案化缝隙片之间沿第一方向设置并且将蒸发源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间分隔成多个蒸发空间的多个挡板其中，薄膜沉积设备和基板形成为使得薄膜沉积设备和基板的一侧相对于另一侧可相对移动，其中，多个薄膜沉积组件中的每个蒸发源至少具有红色发光层材料，绿色发光层材料，蓝色发光层材料和辅助层材料。

6. 发明公开

KR1020170081714A 인-라인 증착 시스템 및 유기 재료를 위한 증발 소스를 작동시키기 위한 방법 审中-实审
标题翻译：在线沉积系统和用于操作有机材料的蒸发源的方法
公开(公告)号：KR1020170081714A
公开(公告)日：2017-07-12
申请号：KR1020177018039
申请日：2014-02-04
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 뱅거트,슈테판 , 슈외클러,우베 , 디에구에츠-챔포,요제마누엘 , 하아스,디에터
IPC分类号： C23C14/56 , C23C14/12 , C23C14/24 , C23C14/50 , C23C14/04 , H01L51/56
CPC分类号： H01L51/56 , B05D1/60 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/246 , C23C14/505 , C23C14/56 , C23C14/562 , C23C14/564 , C23C14/566 , C23C14/568 , H01L21/67173 , H01L21/67196 , H01L21/67271 , H01L21/67712 , H01L21/67718 , H01L21/67727 , H01L21/67742 , H01L21/67748 , H01L21/6776 , H01L51/001 , H01L51/0011 , C23C14/50
摘要： 하나또는그 초과의층들, 특히층들에유기재료들을포함하는층들을증착하기위한시스템이설명된다. 시스템은, 프로세싱될기판을로딩하기위한로드락 챔버, 기판을운송하기위한이송챔버, 이송챔버와로드락 챔버사이에제공된진공스윙모듈, 적어도하나의증착장치― 적어도하나의증착장치는, 적어도하나의증착챔버의진공챔버에서재료를증착하기위한것이고, 적어도하나의증착장치는이송챔버에연결됨―, 프로세싱된기판을언로딩하기위한추가적인로드락 챔버, 기판을운송하기위한추가적인이송챔버, 추가적인이송챔버와추가적인로드락 챔버사이에제공된추가적인진공스윙모듈, 및추가적인진공스윙모듈로부터진공스윙모듈로의캐리어리턴트랙을포함하며, 여기에서, 캐리어리턴트랙은, 진공조건들하에서, 그리고/또는제어되는비활성분위기하에서, 캐리어를운송하도록구성된다.
摘要翻译：描述了用于沉积一个或多个层，特别是层中包含有机材料的层的系统。该系统包括用于装载待处理基板的装载锁定室，用于传送基板的传送室，设置在传送室与装载锁定室之间的真空摆动模块，至少一个沉积装置，至少一个沉积设备连接到传送室，用于卸载处理后的衬底的附加负载锁定室，用于传送衬底的附加传送室，用于传送衬底的附加传送室，在腔室和附加负载锁定腔室之间提供附加的真空摆动模块，以及从附加真空摆动模块到真空摆动模块的载体返回轨道，其中载体返回轨道处于真空条件下和/ 在惰性气氛下运输载体。

7. 发明授权

KR101690321B1 PVD 코팅을 위한 초경인서트 로딩 및 언로딩 장치 有权
标题翻译： PVD硬质金属插件用于PVD涂层的装卸装置
公开(公告)号：KR101690321B1
公开(公告)日：2016-12-27
申请号：KR1020160132548
申请日：2016-10-13
申请人： 주식회사 윈텍오토메이션
发明人： 송일재
IPC分类号： C23C14/56 , C23C14/50 , C23C30/00
CPC分类号： C23C14/56 , C23C14/50 , C23C30/005
摘要： 본발명은 PVD 코팅을위하여초경인서트를샤프트에로딩하거나, 언로딩하는장치에관한것으로서, 육면체모양의프레임, 초경인서트를담는팔레트를이송할수 있도록형성된팔레트이송부, 스페이서를공급할수 있도록형성된스페이서공급부와, 스페이서를회수할수 있도록형성된스페이서회수부로구성된스페이서공급및 회수부, 초경인서트를공급및 회수할수 있도록형성된초경인서트공급및 회수부, 초경인서트가꽂힐수 있는다수개의샤프트를거치하는원통모양의회전체로형성된로딩및 언로딩부, 팔레트이송부와스페이서공급및 회수부및 로딩및 언로딩부의가운데공간에위치하며, 초경인서트와스페이서를번갈아수용하는샤프트를수직으로세워서파지하는로딩및 언로딩샤프트그립부, 로딩및 언로딩샤프트그립부의상부에설치되어초경인서트스테이와스페이서스테이로부터초경인서트와스페이서를샤프트에번갈아꽂아넣는작업과, 샤프트에꽂혀있는초경인서트와스페이서를파지하여초경인서트스테이와스페이서회수부로이동시키는작업을수행하도록형성되는로딩및 언로딩작업부및 컨트롤러를포함하여이루어진것을특징으로하는 PVD 코팅을위한초경인서트로딩및 언로딩장치에관한것이다.

8. 发明授权

KR101685061B1 기판 처리 방법 有权
标题翻译：基板处理方法
公开(公告)号：KR101685061B1
公开(公告)日：2016-12-09
申请号：KR1020127003026
申请日：2010-07-15
申请人： 가부시키가이샤 알박
发明人： 나카무라신야 , 후지이요시노리 , 나가시마히데토
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/203 , C23C14/56
CPC分类号： C23C14/0641 , C23C14/0036 , C23C14/56 , C23C14/568
摘要： 처리실의상태를회복시키는회복처리의시간이처리실에서행해지는소정처리의시간보다긴 경우에도처리량을향상시킬수 있는기판처리방법을제공한다. 2개의성막실(C, D)에기판을교대로반송하고, 성막실(C, D)에서기판에대해동일한성막처리를병행하여행하고, 성막실(C)에서의처리매수가규정매수(11매)에이르면, 성막실(C)에서더미스퍼터처리를개시함과아울러, 더미스퍼터처리가종료할때까지의동안, 성막실(D)에제1 로트의 23매째~25매째를반송하여성막처리를행한다. 성막실(C)에서의더미스퍼터처리가종료하면, 성막실(D)에서더미스퍼터처리를개시함과아울러, 더미스퍼터처리가종료할때까지의동안, 성막실(C)에제2 로트의제1매째~제3매째를반송하여성막처리를행한다. 성막실(D)에서의더미스퍼터처리가종료하면, 교대의반송을재개한다.
摘要翻译：提供了一种基板处理方法，其中即使在用于恢复处理室的状态的恢复处理的时间比在处理室中进行预定处理的时间长的情况下也可以提高吞吐量。基板交替地传送到两个处理室C，D，并且在处理室C，D中的基板上彼此平行地执行相同的成膜处理。当处理室C中处理的基板的数量达到预定数量（11个基板）时，成膜室C中的虚拟溅射处理开始，第一批次的第23至25个基板被转印到成膜室D 从而进行成膜处理，直到虚拟溅射处理结束。

9. 发明授权

KR101665748B1 패턴화된 유기 박막의 침착을 위한 방법 및 시스템 有权
标题翻译：用于沉积有形薄膜的方法和系统
公开(公告)号：KR101665748B1
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：KR1020127009070
申请日：2010-09-03
申请人： 유니버셜 디스플레이 코포레이션
发明人： 버로우스폴이. , 실버네일제프리 , 브라운줄리에제이.
IPC分类号： C23C14/12 , C23C14/56
CPC分类号： C23C14/12 , C23C14/228 , C23C14/56 , C23C14/564 , Y10T137/85954 , Y10T137/87249 , Y10T137/877
摘要： 본발명은상이한전도도를갖는복수의흐름통로를이용할수 있어비교적짧은지연시간으로침착을가능하게하는고 처리량 OVJP 시스템및 방법을제공한다. 고처리량 OVJP 시스템은공급원물질이침착동안배출될수 있는하나이상의개구의직경보다훨씬더 큰단면적을갖는흐름관을포함할수 있다. 그러한구성의용도는감소된지연시간으로침착을허용할수 있다.

10. 发明公开

KR1020160098333A 유기 재료를 위한 증발 소스, 진공 챔버에서 유기 재료를 증착하기 위한 증착 장치, 및 유기 재료를 증발시키기 위한 방법 审中-实审
标题翻译：有机材料的蒸发源，有机材料蒸发源的装置，有机材料蒸发源的蒸发沉积装置的系统，以及有机材料的蒸发源操作方法
公开(公告)号：KR1020160098333A
公开(公告)日：2016-08-18
申请号：KR1020167018445
申请日：2013-12-10
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 뱅거트,슈테판 , 슈외쓸러,우베 , 디에구에츠-챔포,요제마누엘 , 하아스,디에터
IPC分类号： H01L51/56 , H01L51/00 , C23C14/24 , C23C14/56 , C23C14/12 , C23C14/04
CPC分类号： C23C14/243 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/246 , C23C14/50 , C23C14/56 , C23C14/562 , C23C14/564 , C23C14/566 , H01L51/001 , H01L51/0011 , H01L51/56
摘要： 유기재료를위한증발소스가설명된다. 증발소스는, 증발도가니― 증발도가니는유기재료를증발시키도록구성됨―; 하나또는그 초과의배출구들을갖는분배파이프― 분배파이프는증발도가니와유체소통하고, 분배파이프는, 증발동안에, 축을중심으로회전가능함―; 및분배파이프를위한지지부를포함하며, 지지부는제 1 드라이브에연결가능하거나, 또는제 1 드라이브를포함하고, 제 1 드라이브는분배파이프및 지지부의병진이동에대해구성된다.
摘要翻译：描述了有机材料的蒸发源。蒸发源包括蒸发坩埚，其中蒸发坩埚构造成蒸发有机材料; 具有一个或多个出口的分配管，其中所述分配管与所述蒸发坩埚流体连通，并且其中所述分配管可以在蒸发期间围绕轴线旋转; 以及对所述分配管的支撑件，其中所述支撑件可连接到第一驱动器或包括所述第一驱动器，其中所述第一驱动器构造成用于所述支撑件和所述分配管的平移运动。

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