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热词
    • 1. 发明公开
    • 전자 미소 조작 라이브러리들을 갖춘 기구화된 환경에서 도메인 고유의 애플리케이션을 실행하기 위한 로봇 조작 방법 및 시스템
    • 机器人操作方法和系统,用于在具有电子微操作库的结构化环境中执行领域特定应用程序
    • KR1020170061686A
    • 2017-06-05
    • KR1020177009064
    • 2015-08-19
    • 엠비엘 리미티드
    • 올레이닉,마크
    • B25J9/16B25J9/00B25J11/00B25J13/02B25J19/02B25J3/04B62D57/032
    • B25J9/163B25J3/04B25J9/0018B25J9/0087B25J11/009B25J13/02B25J19/02B62D57/032G05B19/42G05B2219/36184G05B2219/40116G05B2219/40391G05B2219/40395Y10S901/01Y10S901/03Y10S901/28
    • 본개시의실시형태는, 컴퓨터로인코딩된로봇움직임및 액션프리미티브의세트에기초하여휴머노이드에대한움직임, 액션, 및휴머노이드의거동을자동적으로구축하는것에의해, 복잡한로봇휴머노이드움직임, 액션, 및툴 및환경과의상호작용을생성할수 있는능력에관련이있는기술적피쳐를대상으로한다. 프리미티브는, 복잡도에서간단한것으로부터복잡한것까지의범위에이르는연계된자유도의모션/액션에의해정의되며, 직렬/병렬양식으로임의의형태로결합될수 있다. 이들모션프리미티브는미소조작으로칭해지며, 각각은, 소정의기능을달성하도록의도되는, 명확한시간인덱싱된커맨드입력구조, 및출력거동/성능프로파일을갖는다. 미소조작은, 휴머노이드로봇에대한일반적인예제단위로프로그래밍가능한플랫폼을생성하는신규의방식을포함한다. 하나이상의미소조작전자라이브러리는, 요리하기, 병약한사람돌보기, 또는차세대휴머노이드로봇에의해수행되는다른태스크와같은복잡한태스크에대한공통의빌딩블록인더 고레벨의감지및 실행시퀀스의큰 스위트를제공한다.
    • 本公开的实施例中,通过该机械手运动的基础上,并用计算机自动地建立运动,人形为人形,复杂的机器人人形运动,动作,mittul和环境的动作和行为编码的一组原语作用的上 与创建与用户交互的能力相关的技术功能。 基元由相关的运动/动作自由度来定义,其范围从简单到复杂,并且可以以任何形式以串行/并行方式组合。 这些运动原语被称为微笑变为进行操作,其中每一个有一个明确的时间索引命令输入结构,和输出行为/性能曲线,这也是为了实现预定的功能。 微笑操纵涉及一种用于仿人机器人的一般示例单元创建可编程平台的新颖方式。 一个或多个微笑操作电子图书馆,烹饪,提供了大的套件生病的人坐着,或者由下一代人形机器人的和的执行顺序来执行多为复杂的任务,如另一个任务的意义上共同构建块的高电平。
    • 3. 发明公开
    • 더블암형 로봇
    • 双臂机器人
    • KR1020090020556A
    • 2009-02-26
    • KR1020087025875
    • 2007-08-03
    • 가부시키가이샤 야스카와덴키
    • 스에요시사토시타나카켄타로이시카와신이치
    • H01L21/677B25J9/06B65G49/06
    • B25J9/0084B25J9/0087B25J9/042B65G49/067H01L21/67742B25J11/0095H01L21/68707
    • A double arm robot having double arms vertically movable independent of each other, having a compact column achieved by controlling the distance between upper and lower support members to an appropriate range, having a reduced installation area and swing radius, and in which adverse effect to a workpiece by operation of the upper and lower members is minimized. The double arm robot (1) has two support members (101, 102) for individually supporting two multi-joint arms arranged in a top-bottom relationship and also has a movement mechanism (11) for connecting the two support members so that they are independently movable in the top-bottom direction along the column (12). When either or both of the two support members (101, 102) move up and down, the distance between the two support members (101, 102) in the top-bottom direction is increased, and when the distance reaches a first predetermined value, the up-down movement of the two support members (101, 102) is stopped.
    • 具有双臂的双臂机器人可以彼此独立地竖直移动,具有通过将上支撑构件和下支撑构件之间的距离控制在适当范围而实现的紧凑列,具有减小的安装面积和摆动半径,并且其中对 通过操作上下构件的工件被最小化。 双臂机器人(1)具有两个用于分别支撑以上下关系布置的两个多关节臂的支撑构件(101,102),并且还具有用于连接两个支撑构件的运动机构(11),使得它们是 可沿柱(12)在顶下方向独立地移动。 当两个支撑构件(101,102)中的任一个或两者上下移动时,两个支撑构件(101,102)在上下方向上的距离增加,并且当距离达到第一预定值时, 停止两个支撑构件(101,102)的上下运动。
    • 4. 发明公开
    • 기판 이송 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 설비, 그리고상기 장치의 기판 이송 방법
    • 基板传送装置和用于处理基板的设备,以及用于与设备一起处理基板的方法
    • KR1020090012702A
    • 2009-02-04
    • KR1020070076748
    • 2007-07-31
    • 세메스 주식회사
    • 정재정
    • H01L21/677H01L21/683H01L21/67
    • H01L21/67742B25J9/0087B25J9/1682B25J11/0095H01L21/67745H01L21/68707Y10S414/141
    • A substrate transferring apparatus and a facility for treating with the same, and a method for transferring a substrate with the apparatus are provided to increase the throughput of substrate and prevent the contamination of substrate. A substrate transport apparatus(100) comprises a blade(110). The plurality of blades are successively integrated on the substrate transport apparatus. The substrate is settled in the blade. The blade has a substrate support member. The substrate support member is arranged in a plurality of locations on the blade. The substrate support member has the first support block(114), the second support block(116) and a driver. The first support block is arranged in the shear of blade. The second support block is arranged in the backend of blade. The first and second support blocks contact with the substrate.
    • 提供了一种基板转印装置和用于处理该基板的设备以及用该装置转印基板的方法,以增加基板的生产量并防止基板的污染。 基板输送装置(100)包括叶片(110)。 多个叶片依次集成在基板输送装置上。 基板沉入叶片中。 刀片具有衬底支撑构件。 衬底支撑构件布置在叶片上的多个位置。 衬底支撑构件具有第一支撑块(114),第二支撑块(116)和驱动器。 第一支撑块布置在叶片的剪切中。 第二支撑块布置在叶片的后端。 第一和第二支撑块与基板接触。
    • 5. 发明公开
    • 웨이퍼 이송 장치 및 이의 구동 방법
    • WAFER运输装置和驱动装置的方法
    • KR1020090010633A
    • 2009-01-30
    • KR1020070073899
    • 2007-07-24
    • 세메스 주식회사
    • 정충근
    • H01L21/677
    • H01L21/67766B25J9/0087B25J9/1682B25J11/0095H01L21/67778Y10S414/141
    • A wafer transfer device and a driving method thereof are provided to reduce a wafer loading time and a wafer unloading time by loading the wafer on the stage and unloading the wafer on the stage at the same time by using upper tweezers and lower tweezers. Upper tweezers(210) pick up a first wafer loaded on a cassette and transfers the first wafer to a stage. Lower tweezers(310) are positioned in the bottom of the upper tweezers and are connected to the upper tweezers. The lower tweezers pick up a second wafer on the stage and transfer the second wafer to the cassette. A transfer arm(410) is formed in one sides of the upper and lower tweezers and transfers the upper and lower tweezers. A controller(110) is connected to the upper and lower tweezers through the transfer arm and controls the movement of the upper and lower tweezers.
    • 提供了一种晶片转移装置及其驱动方法,通过使用上镊子和下镊子同时将晶片装载在载物台上并同时卸载台上的晶片来减少晶片加载时间和晶片卸载时间。 上镊子(210)拾取装载在盒上的第一晶片并将第一晶片传送到台。 下镊子(310)位于上镊子的底部并连接到上镊子上。 较低的镊子拾取舞台上的第二个晶片,并将第二个晶片转移到录像带。 传送臂(410)形成在上下镊子的一侧,并传送上下镊子。 控制器(110)通过传送臂连接到上下镊子,并控制上下镊子的移动。
    • 6. 发明公开
    • 웨이퍼 냉각기능을 갖는 이송로봇
    • 用于冷却滚筒的转移机器人
    • KR1020070038256A
    • 2007-04-10
    • KR1020050093358
    • 2005-10-05
    • 삼성전자주식회사
    • 박민오
    • H01L21/68
    • H01L21/67742B25J9/0087B25J11/0095H01L21/67109H01L21/6838H01L21/68707Y10S414/141
    • 본 발명은 반도체 제조설비에서 공정이 완료된 웨이퍼를 이송하면서 냉각시키는 이송로봇에 관한 것이다.
      반도체 제조설비에서 공정이 완료된 웨이퍼를 이송하면서 냉각시킨 후 냉각챔버로 이송하여 급격한 온도하강으로 인한 웨이퍼의 브로큰이나 크랙을 방지하기 위한 웨이퍼 쿨링기능을 갖는 이송로봇은, 로봇몸체와, 상기 로봇몸체에 에 연결되어 웨이퍼를 안착시키는 적어도 하나이상을 갖는 로봇패들을 구비하고,
      상기 로봇패들은 웨이퍼와 접촉되는 돌출부와, 상기 돌출부에 웨이퍼(W)가 얹혀질 때 웨이퍼(W)를 흡착되도록 진공상태를 유지하기 위한 진공홀과, 상기 돌출부의 둘레에 일정간격으로 설치되어 상기 돌출부에 안착된 웨이퍼를 냉각시킬 수 있도록 에어를 공급하는 다수의 에어공급홀을 포함한다.
      로봇패들에 웨이퍼를 냉각시키기위한 다수의 에어공급홀을 형성하여 프로세스 모듈에서 공정이 완료된 고온의 웨이퍼를 이송하면서 에어공급홀을 통해 공급되는 에어에 의해 웨이퍼를 냉각을 시키게 되어 웨이퍼의 브로큰이나 크랙을 방지한다.
      냉각장치, 웨이퍼 쿨링, 핸들러, 로봇패들