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1. 发明公开

KR1020090010633A 웨이퍼 이송 장치 및 이의 구동 방법 有权
标题翻译： WAFER运输装置和驱动装置的方法
公开(公告)号：KR1020090010633A
公开(公告)日：2009-01-30
申请号：KR1020070073899
申请日：2007-07-24
申请人： 세메스 주식회사
发明人： 정충근
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67766 , B25J9/0087 , B25J9/1682 , B25J11/0095 , H01L21/67778 , Y10S414/141
摘要： A wafer transfer device and a driving method thereof are provided to reduce a wafer loading time and a wafer unloading time by loading the wafer on the stage and unloading the wafer on the stage at the same time by using upper tweezers and lower tweezers. Upper tweezers(210) pick up a first wafer loaded on a cassette and transfers the first wafer to a stage. Lower tweezers(310) are positioned in the bottom of the upper tweezers and are connected to the upper tweezers. The lower tweezers pick up a second wafer on the stage and transfer the second wafer to the cassette. A transfer arm(410) is formed in one sides of the upper and lower tweezers and transfers the upper and lower tweezers. A controller(110) is connected to the upper and lower tweezers through the transfer arm and controls the movement of the upper and lower tweezers.
摘要翻译：提供了一种晶片转移装置及其驱动方法，通过使用上镊子和下镊子同时将晶片装载在载物台上并同时卸载台上的晶片来减少晶片加载时间和晶片卸载时间。上镊子（210）拾取装载在盒上的第一晶片并将第一晶片传送到台。下镊子（310）位于上镊子的底部并连接到上镊子上。较低的镊子拾取舞台上的第二个晶片，并将第二个晶片转移到录像带。传送臂（410）形成在上下镊子的一侧，并传送上下镊子。控制器（110）通过传送臂连接到上下镊子，并控制上下镊子的移动。

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