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热词
    • 3. 发明授权
    • 비금속 기판 절단방법
    • 非金属基材切割方法
    • KR101400708B1
    • 2014-05-30
    • KR1020120060760
    • 2012-06-07
    • 로체 시스템즈(주)
    • 이경원이만진방태원이진화
    • C03B33/02C03B33/09C03B33/037B23K26/38
    • Y02P40/57
    • 절단될 비금속 기판에 항상 일정한 길이의 초기 크랙을 형성할 수 있는 비금속 기판 절단방법이 개시된다. 상기 비금속 기판 절단방법은 카메라를 통해 획득된 영상의 센터에 얼라인 마크가 위치하도록 상기 카메라를 정렬하는 단계와, 금속 기판을 테이블에 세팅한 후 상기 카메라를 통해 얼라인 마크의 영상을 획득하여 제어부를 통해 얼라인 마크 영상의 센터와 카메라 영상 센터와의 일치 여부를 판단하는 단계와, 상기 제어부에 의해 상기 얼라인 마크 영상의 센터와 카메라 영상 센터가 일치하지 않는다고 판단되면 상기 제어부를 통해 초기 크래커를 이동시켜 상기 비금속 기판의 초기 크랙 스타트 위치를 보정하는 단계와, 상기 비금속 기판의 커팅 라인의 절단이 시작되는 부분에 초기 크래커를 이용하여 초기크랙을 형성하는 단계 및, 상기 비금속 기판에 가열 광학기구를 통해 레이저 빔을 조사하여 상기 비금속 기판에 스크라이빙 라인을 형성하여 상기 초기크랙을 시점으로 상기 비금속 기판이 절단되는 단계를 포함한다.
    • 5. 发明公开
    • 비금속 기판 절단용 이니셜 크래커
    • 用于切割非金属基材的初始破碎机
    • KR1020130139030A
    • 2013-12-20
    • KR1020120062703
    • 2012-06-12
    • 로체 시스템즈(주)
    • 박생만이경원장세경
    • C03B33/027C03B33/033C03B33/03B23K26/38
    • Disclosed is an initial cracker for cutting nonmetal substrates with a constant pre-determined speed and force to form an initial crack on nonmetal substrates. The initial cracker comprises: a wheel unit which forms the initial crack on the part of the nonmetal plates where cutting begins; a micro-sliding member which transfers the wheel unit with precision to contact the nonmetal substrates; and a macro-sliding unit wherein the micro-sliding member is installed, and the micro-sliding member is transferred to the side of the nonmetal substrates. The macro-sliding unit comprises a moving block in which the micro-sliding member is installed and a servo cylinder in which a loader is connected to the moving block to transfer the moving block with a pre-determined speed and force.
    • 公开了一种用于以不变的预定速度和力来切割非金属基底的初始裂解器,以在非金属基底上形成初始裂纹。 初始裂解器包括:轮子单元,其在切割开始的非金属板的一部分上形成初始裂纹; 微滑动构件,其精确地传递车轮单元以接触非金属基底; 以及安装有微滑动构件的微滑动单元,并且将微滑动构件转移到非金属基板的侧面。 宏观滑动单元包括其中安装微滑动构件的移动块和伺服缸,其中装载器连接到移动块,以预定的速度和力传递移动块。
    • 6. 发明授权
    • 로드포트
    • 装载端口
    • KR101336582B1
    • 2013-12-05
    • KR1020100122710
    • 2010-12-03
    • 로체 시스템즈(주)
    • 이현석김정주김태웅
    • H01L21/68H01L21/02
    • 본 발명은 로드포트를 반도체 이송장비(EFEM)에 장착하는 작업 및 유지보수를 위해 분리 또는 장착하는 작업의 효율을 향상시킬 수 있는 로드포트에 관한 것이다. 로드포트는 반도체 이송장비(EFEM)와 접하는 베이스 플레이트, 상기 베이스 플레이트의 일면으로부터 돌출되어 웨이퍼 카세트를 지지하는 지지부 및 베이스 플레이트의 배면에 부착된 얼라인부를 포함하고, 상기 얼라인부는 중앙부가 하부를 향해 돌출된 좌우 얼라인 부재 및 상기 배면을 기준으로 외측 하부로 갈수록 좁아지는 전후 얼라인 부재를 구비되어 로드포트를 반도체 이송장비(EFEM)에 장착 할 때 정위치로 유도하도록 하여, 로드포트를 반도체 이송장비(EFEM)에 설치하는 설치작업과 유지보수 및 고장으로 인한 교체를 위해 반도체 이송장비(EFEM)에서 분리하는 분리 작업의 효율성을 대폭 향상시킬 수 있다.
    • 8. 发明授权
    • 어레이 테스터
    • 阵列测试仪
    • KR101316538B1
    • 2013-10-15
    • KR1020120030124
    • 2012-03-23
    • 로체 시스템즈(주)
    • 김철주박준희김진열야마오카슈지
    • G01R31/28
    • 대기 중에서도 FPD용 글라스 패널의 픽셀 불량 여부를 검출할 수 있으며, 전극 선폭이 미세 피치화된 FPD용 글라스 패널의 픽셀 불량 여부를 무리 없이 검출할 수 있는 어레이 테스터가 개시된다. 상기 어레이 테스터는 글라스 패널 상부에 센서유닛이 격자 형태로 배치된 헤드부를 배치하여 상기 글라스 패널을 단순 스캔하거나 상기 헤드부를 진동시키면서 상기 글라스 패널을 스캔하면서 발생되는 상기 글라스 패널의 전하량을 측정하여 상기 글라스 패널의 각각의 픽셀의 불량 여부를 대기 중에서 검사할 수 있도록 하여 글라스 패널의 픽셀 불량 여부의 검출 시간을 대폭 단축시켜 작업 능률을 향상시킬 수 있고, 장비의 제작비용을 대폭 절감할 수 있으며, 장비의 유지/보수비용 또한 대폭 절감할 수 있는 효과가 있다.
    • 9. 发明公开
    • 비접촉식 어레이형 전극패턴 검사장치
    • 非接触式电极型电极图案检测装置
    • KR1020130090651A
    • 2013-08-14
    • KR1020120011937
    • 2012-02-06
    • 로체 시스템즈(주)
    • 김철주박지군박준희김진열야마오카슈지
    • G01R31/28G01R31/02
    • PURPOSE: A contactless array type electrode pattern testing apparatus is provided to perform an electrical test of an electrode pattern regardless of a pitch distance of the electrode pattern. CONSTITUTION: An electrode pattern testing apparatus comprises a probe (10) and a sensor unit (20). The probe applies an electric signal to an electrode pattern of a glass panel with a contactless method. The sensor unit receives the electric signal which is applied from the probe and is delivered through the electrode pattern with a contactless method and detects the open and short of the electrode pattern. The sensor unit comprises a sensor (220) for open detection and a sensor (230) for short detection. The sensor for the open detection detects the open of the electrode pattern. The sensor for the short detection detects whether the electrode pattern is shorted or not.
    • 目的:提供一种非接触阵列型电极图案测试装置,用于执行电极图案的电测试,而不管电极图案的间距距离如何。 构成:电极图案测试装置包括探针(10)和传感器单元(20)。 探头以非接触方式将电信号施加到玻璃面板的电极图案。 传感器单元接收从探头施加的电信号,并以非接触方式通过电极图案传送,并检测电极图案的开路和短路。 传感器单元包括用于开放检测的传感器(220)和用于短检测的传感器(230)。 用于开路检测的传感器检测电极图案的打开。 用于短路检测的传感器检测电极图案是否短路。
    • 10. 发明授权
    • T형 센서를 가지는 전극패턴 검사장치
    • 具有T型传感器的电极图案检查装置
    • KR101259350B1
    • 2013-04-30
    • KR1020120018991
    • 2012-02-24
    • 로체 시스템즈(주)
    • 김철주박지군박준희김진열야마오카슈지
    • G01R31/28
    • G09G3/006G09G2300/0426
    • PURPOSE: An electrode pattern inspection apparatus having a T-type sensor is provided to improve the efficiency of glass panel production by drastically shortening the electric inspection time of an electrode pattern. CONSTITUTION: An electrode pattern inspection apparatus having a T-type sensor includes a probe(120), a first sensor(130), and a second sensor(140). A probe applies an electric signal to an electric pattern formed in a glass panel. A first sensor detects whether an electric pattern formed in an active area is open or short by moving in the perpendicular direction of the electric pattern and receiving an electric signal transmitted through the electric pattern formed in the active area in a non-contact way. A second sensor detects whether an electric pattern formed in a fan out area is open or short by moving in the perpendicular direction of the electric pattern in connection with the first sensor and receiving an electric signal transmitted through the electric pattern formed in the fan out area in a non-contact way.
    • 目的:提供一种具有T型传感器的电极图案检查装置,通过显着缩短电极图案的电检查时间来提高玻璃面板生产的效率。 构成:具有T型传感器的电极图案检查装置包括探针(120),第一传感器(130)和第二传感器(140)。 探针将电信号施加到形成在玻璃面板中的电图案。 第一传感器通过沿着电图案的垂直方向移动并且以非接触方式接收通过形成在有源区域中的电图案的电信号来检测形成在有源区域中的电图案是开放还是短路。 第二传感器通过与第一传感器相关联的电图案的垂直方向移动来检测形成在扇出区域中的电图案是开放还是短,并且接收通过形成在扇出区域中的电图案传输的电信号 以非接触的方式。