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    • 5. 发明公开
    • 어드밴스드 금속 패터닝을 갖는 고밀도 정적 랜덤 액세스 메모리 어레이
    • 高密度静态随机访问存储阵列具有高级金属图案
    • KR1020170005005A
    • 2017-01-11
    • KR1020167031716
    • 2015-04-20
    • 퀄컴 인코포레이티드
    • 모줌더,닐라드리송,스탠리승철왕,총제옙,초페이
    • H01L27/11H01L29/40H01L27/02H01L29/161
    • H01L29/401H01L27/0207H01L27/1104H01L29/161
    • 어드밴스드금속패터닝을갖는고밀도 SRAM(static random access memory) 어레이에관한방법들및 장치가제공된다. 일예에서, SRAM을제조하기위한방법이제공된다. 방법은, SADP(self-aligning double patterning) 기술을이용하여, 제 1 층에서제 1 방향으로배향되는복수의실질적으로평행한제 1 금속라인들을형성하는단계를포함한다. 방법은또한, 실질적으로평행한제 1 금속라인들을제 1 방향으로정렬되는제 1 개별면들및 제 2 방향으로정렬되는제 2 개별면들을갖는복수의아일랜드들로분리시키기위해서, 컷트마스크를이용하여, 제 1 방향에실질적으로수직하는제 2 방향으로, 실질적으로평행한제 1 금속라인들을에칭하는단계를포함한다. 방법은또한, 제 2 층에서, 제 1 방향으로배향된복수의제 2 금속라인들을형성하는단계를포함한다.
    • 提供了针对具有高级金属图案化的高密度静态随机存取存储器(SRAM)阵列的方法和装置。 在一个示例中,提供了一种用于制造SRAM的方法。 该方法包括使用自对准双图案化(SADP)技术形成在第一层中沿第一方向定向的多个基本平行的第一金属线。 该方法还包括在基本上垂直于第一方向的第二方向上使用切割掩模蚀刻基本平行的第一金属线,以将基本上平行的第一金属线分离成多个岛,该岛具有在第 第一方向和第二相对侧对准第二方向。 该方法还包括在第二层中形成沿第一方向定向的多个第二金属线。