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1. 发明公开

KR1020170134151A 패턴 묘화 장치 및 패턴 묘화 방법 审中-实审
标题翻译：图案装置和图案绘制方法
公开(公告)号：KR1020170134151A
公开(公告)日：2017-12-06
申请号：KR1020160100144
申请日：2016-08-05
申请人： 비아 메카닉스 가부시키가이샤
发明人： 나카지마에리코
IPC分类号： G03F7/20 , G03F9/00
CPC分类号： G03F9/7046 , G03F7/2053 , G03F9/00
摘要： 본발명은, 얼라인먼트마크의판독위치를기준으로해서워크가탑재되는테이블과광학헤드간의상대이동을제어함에있어서, 설계치에대한위치어긋남을정밀도좋게검출할수 있게하는것을목적으로한다. 얼라인먼트마크를판독하는제1 촬상부로써위치어긋남검출용의제1 패턴화상을판독하는것과, 상기제1 패턴화상을판독하는제2 촬상부로써테이블과광학헤드간의상대이동을행하면서상기광학헤드로부터의조사광에의해묘화한위치어긋남검출용의제2 패턴화상을판독하는것과, 상기제1 촬상부의판독화상에따라해당제1 촬상부의시야중심과상기제1 패턴의중심사이의제1 좌표차를구하는위치어긋남검출부로써상기제2 촬상부의판독화상에따라상기제1 패턴의중심과상기제2 패턴의특정위치사이의제2 좌표차를구하는것을구비한다.
摘要翻译：本发明的目的在于，在参照对准标记的读取位置来控制安装有工件的工作台与光学头之间的相对移动时，能够精确地检测相对于设计值的位置偏差。当用于读取对准标记的第一成像单元读取用于检测位置偏差的第一图案图像并且通过用于读取第一图案图像的第二成像单元执行工作台和光学头之间的相对移动时，根据第一成像单元的读取图像确定第一成像单元的视觉中心和第一图案的中心之间的第一坐标差，并且根据所读取的第二成像单元的图像获得第一图案的中心和第二图案的指定位置之间的第二坐标差作为要获得的位置偏差检测单元。

2. 发明公开

KR1020160111321A 레이저 구멍내기 가공 조건의 설정 방법 및 레이저 가공기 审中-实审
标题翻译：设置激光钻孔加工条件和激光束机的方法
公开(公告)号：KR1020160111321A
公开(公告)日：2016-09-26
申请号：KR1020150187406
申请日：2015-12-28
申请人： 비아 메카닉스 가부시키가이샤
发明人： 사에키유키 , 키타야스히코 , 미노시마유
IPC分类号： B23K26/36 , B23K26/382 , B23K26/40 , B23K26/03 , H05K3/00
摘要： 본발명의목적은, 경험과숙련이필요한파라미터의변경을경감시키고, 기판을분리해내는일 없이구멍형상을확인하여, 최적조건의각 파라미터를손으로입력할필요가없는레이저구멍내기가공조건의설정방법및 레이저가공기를제공하는데 있다. 상기의목적을달성하기위해, 본발명은, 적어도, 가공영역의중심부, 네군데의코너부의 5개소에테스트영역을설치하고, 각테스트영역에가공조건이상이한 16개이상의구멍의세트를가공하여, 각테스트영역의동일한가공조건으로형성한구멍의직경, 형상, 위치를다른가공조건으로형성한구멍의그것과비교하여최적의구멍내기가공조건을선정한다.
摘要翻译：本发明提供了一种设置激光钻孔状态的方法和激光束机，其可以减少经验和专业性所需的参数的变化，并且在不分离衬底的情况下检查孔形状而不输入每个参数的最佳条件用手。为了实现这一点，根据本发明，至少五个测试区域被安装在处理区域的四个角部和中心部分中，并且在每个测试区域中处理具有不同处理条件的十六个或更多个孔组。因此，通过比较在各测试区域中形成的相同加工条件下的孔的直径，形状和位置与形成有不同加工条件的孔的直径，形状和位置来选择最佳钻孔条件。

3. 发明公开

KR1020150099443A 백 드릴 가공방법 및 백 드릴 가공장치 审中-实审
标题翻译：背投方法和倒角装置
公开(公告)号：KR1020150099443A
公开(公告)日：2015-08-31
申请号：KR1020150023246
申请日：2015-02-16
申请人： 비아 메카닉스 가부시키가이샤
发明人： 아라키,유지로 , 유키,토루 , 토키나가,카츠노리
IPC分类号： H05K3/00 , B23Q17/22
CPC分类号： H05K3/0047 , H05K1/0251 , H05K3/429 , H05K2203/0207 , Y10T408/03 , Y10T408/173 , B23Q17/22
摘要： 본 발명은, 각 층의 두께나 판 두께의 편차가 있는 다층 프린트 배선판에 대하여, 기준 깊이 검출 영역을 회로 형성 영역으로부터 떨어뜨린 경우에도, 백 드릴 가공의 깊이 정밀도가 확보 가능한 백 드릴 가공방법 및 백 드릴 가공장치를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.
기준 깊이 검출 영역에 형성한 기준 깊이 검출층의 깊이를 구하고, 백 드릴 가공부의 다층 프린트 배선판 전체의 두께에 대하여 상기 기준 깊이 검출 영역의 다층 프린트 배선판 전체의 두께에 대한 상기 기준 깊이 검출층의 깊이의 비율 분(分)에 상당하는 깊이까지 상기 드릴로 구멍을 내는 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明的目的是提供一种能够确保多层印刷电路板的背面钻孔的深度精度的背面钻孔方法和背面钻孔装置，其中每层的厚度和板厚度即使当参考深度检测区域与电路形成区域分离。获得在参考深度检测区域中形成的参考深度检测层的深度，并且将钻孔直到深度对应于基准深度检测层的深度与整体多层印刷的厚度的比例相对于背面钻孔单元的整体多层印刷线路板的厚度的参考深度检测区域中的布线板。

4. 发明公开

KR1020150088296A 레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법 审中-实审
标题翻译：激光加工设备和激光加工方法
公开(公告)号：KR1020150088296A
公开(公告)日：2015-07-31
申请号：KR1020157016564
申请日：2013-08-27
申请人： 비아 메카닉스 가부시키가이샤
发明人： 야마가미켄타로 , 다케가와유수케 , 니시베타츠야 , 타테이시히데노리
IPC分类号： B23K26/08 , B23K26/06
CPC分类号： B23K26/0853 , H05K3/0008 , H05K3/0026
摘要： 본발명은, 레이저가공의가감속영역에있어서, 레이저펄스의피치와지름이변화하는것을없애고, 가공품질의향상을도모하는것이다. 본발명의레이저가공장치는, 일정주기의레이저펄스열(列)을발진하는레이저펄스발진수단과, 상기레이저펄스발진수단으로부터출력된레이저펄스열을수광해상기레이저펄스열중의레이저펄스를선택적으로가공에이용할방향으로지향시킬수 있는광지향수단과, 상기광지향수단으로부터의레이저펄스를수광하여피가공물에조사하는광학계와, 상기피가공물이놓이는테이블을구동하는수단과, 상기테이블의소정량의이동을주기적으로검출하는소정이동량검출수단과, 상기소정이동량검출수단이소정의이동량을검출하면, 상기광지향수단에대해, 상기레이저펄스발진수단으로부터출력된레이저펄스열중의레이저펄스를상기가공방향으로지향시키도록제어하는제어수단을포함하는것을특징으로한다.
摘要翻译：发明内容本发明旨在消除激光加工的加速/减速区域中激光脉冲的节距和直径的变化，从而提高加工质量。本发明的处理单元，在预定时段激光脉冲列（列），用于振荡激光脉冲发射装置的激光，激光脉冲从振荡输出的激光脉冲装置中的处理中选择性地使用的激光脉冲序列的光污染的激光脉冲的数量一种光学系统，用于接收来自光导向装置的激光脉冲并将激光束照射到工件上;用于驱动放置工件的工作台的装置; 以及控制装置，用于当检测到预定移动量检测装置的移动量时，控制光导向装置将加工方向上从激光脉冲振荡装置输出的激光脉冲串中的激光脉冲导向，以及用于控制控制装置的控制装置。

5. 发明授权

KR101516607B1 마스크레스 노광 장치 有权
标题翻译： MASKLESS EXPOSURE APPARATUS
公开(公告)号：KR101516607B1
公开(公告)日：2015-04-30
申请号：KR1020080078837
申请日：2008-08-12
申请人： 비아 메카닉스 가부시키가이샤
发明人： 오시다요시타다 , 고바야시가즈오
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70275
摘要： 본발명은, 공작물에휘어진상태나두께불균일이있는경우라도, 공작물의표면에균일한폭의패턴을노광할수 있는마스크레스(maskless) 노광장치에대한것으로서, 판두께방향의한쪽면이판두께방향의다른쪽의면에대하여각도θ경사진면인제1 쐐기유리및 제2 쐐기유리의 2개의쐐기유리(717, 727)와, 쐐기유리(717, 727) 중적어도한쪽을이동시키는이동수단을설치하고, 쐐기유리(717)의면(717u)을제2 투영렌즈(67)의광축에대하여수직으로배치하고, 쐐기유리(727)의면(727u)을면(717u)과의거리가미리정하는값 δ으로되도록조합시켜, 제2 투영렌즈(67)의입사측또는출사측에배치하고, 제2 투영렌즈(67)의광축방향의결상(結像) 위치가노광기판(8)의표면으로부터어긋나있는경우에는, 쐐기유리(717)를간격 b를일정하게하여각도θ 방향으로이동시킴으로써제2 투영렌즈(67)의결상면을노광기판(8)의표면에위치결정한다.

6. 发明公开

KR1020140139690A 레이저 가공 방법, 장치 및 프로그램 审中-实审
标题翻译：激光加工方法，装置和程序
公开(公告)号：KR1020140139690A
公开(公告)日：2014-12-08
申请号：KR1020130059937
申请日：2013-05-27
申请人： 비아 메카닉스 가부시키가이샤
发明人： 오자와,히데카츠
IPC分类号： B23K26/38 , B23K26/02 , B23K26/08 , B23K26/06
摘要： 본 발명은, 가공 경로를 최단으로 한 경우에도, 열에 의한 구멍 직경의 편차량을 최소한으로 억제하여, 가공 품질을 향상시키는 것을 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명은, 레이저 광을 주사시키는 상기 프린트 기판을 복수의 스캔 영역으로 분할하고(S1), 스캔 영역 내의 드릴링 순번을 주사 경로의 거리가 최단이 되도록 소팅하며(S2), 소팅된 구멍 중, 제 N번째 구멍과 제 N+1번째 구멍(단, N은 「1≤N≤드릴링되는 구멍의 최대수-1」의 정수)과의 거리가 미리 설정된 임계값 미만인 것으로 판단되며, 또한 제 N+1번째 구멍이 상기 드릴링되는 구멍의 최대수가 아닌 것으로 판단된 경우, 제 N+1번째 구멍과 제 N+2번째 구멍의 순서를 교체하고(S3), N번째 구멍과 교체된 제 N+1번째 구멍과의 거리가 임계값 미만인 것으로 판단된 경우, 제 N번째 구멍을 가공한 후, 미리 설정된 방열 시간(T)만큼 가공을 정지시키고, 그 후 가공한다(S4).
摘要翻译：本发明的目的在于，尽可能减少由热量产生的孔的直径的偏差，并且即使在最小化处理路径的情况下也能提高处理的质量。为了实现该目的，本发明包括将激光被扫描的打印基板分割成多个扫描区域的步骤（S1）; 对扫描区域的钻孔顺序进行排序，使扫描路径的距离最小化（S2）; 当N孔与N + 1（N为整数[1 <= N <=最大钻孔数-1]）孔之间的距离为N + 2孔时N + 1孔的次序取代为小于预定临界值（S3）; 当N孔和N + 1孔之间的距离小于临界值时，处理N孔，停止预定时间（T）的处理，然后恢复处理。

7. 发明公开

KR1020140128866A 레이저 가공방법 审中-实审
标题翻译：激光加工方法
公开(公告)号：KR1020140128866A
公开(公告)日：2014-11-06
申请号：KR1020140045325
申请日：2014-04-16
申请人： 비아 메카닉스 가부시키가이샤
发明人： 야마가미,켄타로 , 니시베,타츠야 , 사사키,타카시
IPC分类号： B23K26/38 , B23K26/06
CPC分类号： B23K26/0853 , B23K26/0622 , B23K26/364 , B23K26/38 , B23K2203/42 , B23K2203/50 , H05K3/0026
摘要： 본 발명의 목적은, XY 테이블의 속도를 저하시키지 않으면 안되는 부위에서의 가공 불량을 해소하는 데에 있다.
작업물(6)을 재치(載置)하며 X 및 Y방향으로 구동 가능한 XY 테이블(7)과, 연속파 또는 의사(擬似) 연속파 레이저를 출사하는 레이저 발진기(1)와, 상기 레이저 발진기(1)로부터 출사된 연속파 또는 의사 연속파 레이저(L1)를 고속으로 변조하여 펄스 레이저(L2)로 하는 변조기(3)와, 상기 펄스 레이저를 작업물(6) 상에 집광할 수 있는 광학계를 갖는 레이저 가공장치를 이용하여, 상기 펄스 레이저에 의해, 상기 XY 테이블(7)의 이동 속도가 낮아지는 부위를 포함하는 궤도를 따라, 일정 피치로 홈 또는 절단 가공하는 레이저 가공방법으로서, 상기 XY 테이블(7)의 이동 속도가 낮아지는 부위에 있어서의 속도의 저하에 따라 상기 펄스 레이저의 펄스 폭을 증가시키면 된다.
摘要翻译：本发明的目的是克服需要减小X-Y台速度的部分的加工失败。通过使用具有用于安装工件（6）的XY工作台（7）的激光加工装置，XY工作台可沿X和Y方向移动，用于发射连续波的激光源（1）或准连续波激光光束，用于通过从光源（1）发射的连续波或准连续波激光束（L1）的高速调制形成脉冲激光束（L2）的调制器（3），以及能够将脉冲激光束会聚在工件（6）上，执行用于形成具有预定间距的槽的激光加工方法，并且沿着包括XY台的移动速度减小的部分的轨迹执行切割加工。因此，根据X-Y台的移动速度降低的部分中的X-Y台的移动速度的降低，脉冲激光束的脉冲宽度增加。

8. 发明授权

KR101420259B1 프린트기판의 가공방법 有权
标题翻译：印刷电路板加工方法
公开(公告)号：KR101420259B1
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：KR1020070083239
申请日：2007-08-20
申请人： 비아 메카닉스 가부시키가이샤
发明人： 카도,히로후미 , 나가사와,카츠히로
IPC分类号： H05K13/00 , B26F1/02
CPC分类号： H05K3/0047 , B23B41/14 , B23B2270/54 , H05K2203/0207 , H05K2203/163
摘要： 주축유닛의 온도가 변화되었을 경우에도 가공정밀도(구멍의 깊이 정밀도)를 향상시킬 수 있는 프린트기판의 가공방법을 제공한다.
스핀들의 운전시간과 상기 스핀들에 유지된 공구 선단의 축선방향 변위량(δ) 간의 관계를 미리 스핀들의 회전수마다 구해 두고, 가공을 위해 설정된 스핀들의 회전수와 가공개시 후의 경과시간에 기초하여, 공구의 절삭량(cut depth)을 미리 구해 둔 변위량(δ)만큼 보정한다.

9. 发明授权

KR101369635B1 레이저 가공 방법 및 레이저 가공 장치 有权
标题翻译：激光加工方法和激光加工装置
公开(公告)号：KR101369635B1
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：KR1020070072116
申请日：2007-07-19
申请人： 비아 메카닉스 가부시키가이샤
发明人： 아라이구니오 , 기따야스히꼬 , 이또오야스시
IPC分类号： B23K26/04 , B23K26/042
CPC分类号： B23K26/0648 , B23K26/064 , B23K26/0643 , B23K26/082 , B23K26/382 , B23K2201/42 , B23K2203/50
摘要： 본 발명의 과제는 형상 정밀도가 우수한 구멍을 능률적으로 가공할 수 있는 레이저 가공 방법 및 레이저 가공 장치를 제공하는 것이다.
미러(1a) 또는/및 미러(1b)의 반사면의 변형을 보정하는 원통형 렌즈(50a) 또는/및 원통형 렌즈(50b)를 레이저 빔(20)의 광축 상에 배치하고, 레이저 빔(20)의 X성분과 Y성분의 집광 위치를 광축 방향에 일치시킨다. 원통형 렌즈 대신에, 반사면이 곡면인 반사경을 이용해도 좋다. 레이저 빔(20)의 X성분과 Y성분의 집광 위치를 광축 방향에 일치시키는 방법으로서, X성분과 Y성분의 양자를 설계 위치(Fa)에 맞추도록 해도 좋고, 한쪽은 보정하지 않고, 다른 쪽을 보정하지 않는 것으로 맞추어도 좋다.
레이저 가공 장치, 원통형 렌즈, 미러, 레이저 빔, 프린트 기판

10. 发明授权

KR101277390B1 프린트 배선판의 제조방법 및 그것에 이용되는 동박을 붙인 적층판 및 처리액 失效
标题翻译：印刷线路板的制造方法，铜箔层压板及其使用的处理方案
公开(公告)号：KR101277390B1
公开(公告)日：2013-06-20
申请号：KR1020060048419
申请日：2006-05-30
申请人： 비아 메카닉스 가부시키가이샤
发明人： 가와무라도시노리 , 아카호시하루오 , 아라이구니오
IPC分类号： H05K3/40
CPC分类号： B23K26/18 , B23K26/009 , B23K26/382 , B23K26/389 , B23K26/40 , B23K2201/35 , B23K2201/42 , B23K2203/12 , B23K2203/172 , B23K2203/42 , B23K2203/50 , H05K3/0035 , H05K3/0038 , H05K3/0055 , H05K3/06 , H05K3/4652 , H05K2203/0315 , H05K2203/0346 , H05K2203/0793 , Y10T428/31678
摘要： 외층 동박을 직접 가공하는 다이렉트 레이저 비아 형성에서, 레이저가공시에 비아 개구부 주변에 발생하는 용융비산구리와 오버행을 제거한다. 기재 수지(1)에 동박(3)을 붙여 합친 적층판에 레이저를 이용하여 동박에 직접 비아 가공을 실시하는 프린트 배선판의 제조방법에 있어서, 비아 가공프로세스를 (a) 동박 표면산화막 형성, (b) 레이저 비아 가공, (c) 알칼리처리, (d) 용융비산구리 에칭처리를 순서대로 실시한다. 용융비산구리 에칭처리 후에, (e) 데스미어처리를 실시함이 바람직하다.
동박, 레이저 비아 가공, 프린트 배선판, 용융비산구리, 데스미어처리, 오버행

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