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61. 发明公开

KR1020170015369A 평행-오프셋 유닛을 포함하는 레이저 재료 가공 장치 审中-实审
标题翻译：包括平行偏移单元的激光加工装置
公开(公告)号：KR1020170015369A
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：KR1020167036729
申请日：2015-06-10
申请人： 스캔랩 게엠베하
发明人： 뮌쩌한스-요하임 , 팔렌틴마르틴
IPC分类号： B23K26/06 , B23K26/042 , B23K26/08
CPC分类号： B23K26/043 , B23K26/042 , B23K26/046 , B23K26/062 , B23K26/0643 , B23K26/0665 , B23K26/082
摘要： 본발명은레이저빔을편향시키는빔 편향유닛(16), 레이저빔을평행-오프셋시키기위한적어도세 개의반사거울을포함하는평행-오프셋유닛(14), 가공되는공작물(20) 상에레이저빔을집중시키는포커싱장치(18)를가지는레이저가공장치에관한것이며, 적어도세 개의반사거울중 하나의반사거울은회전할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种激光加工设备，包括用于偏转激光束的光束偏转单元（16），具有至少三个反射镜的平行位移单元（14），所述至少三个反射镜的一个反射镜可旋转地实现激光束的平行位移，以及用于将激光束聚焦到待加工的工件（20）上的聚焦装置（18）。

62. 发明公开

KR1020150124993A 고전력 다이오드 기반 적층 가공을 위한 시스템 및 방법 审中-实审
标题翻译：基于大功率二极管添加剂制造的系统和方法
公开(公告)号：KR1020150124993A
公开(公告)日：2015-11-06
申请号：KR1020157027184
申请日：2014-03-05
申请人： 로렌스 리버모어 내쇼날 시큐리티, 엘엘시
发明人： 엘-대셔바썸에스. , 베이래미안앤드류 , 데무스제임스에이. , 파머조셉씨. , 토레스샤론쥐.
IPC分类号： B22F3/105 , C22C32/00 , B33Y30/00
CPC分类号： B23K26/342 , B22F3/1055 , B22F2003/1056 , B22F2003/1057 , B23K26/042 , B23K26/0622 , B23K26/0643 , B23K26/066 , B23K26/144 , B29C64/153 , B33Y30/00 , B33Y50/02 , B33Y80/00 , C22C32/0026 , Y02P10/295
摘要： 기판을형성하는분말화된물질에대한적층가공제조공정을수행하기위한시스템이개시된다. 시스템은기판의분말화된물질을용융또는소결하는데충분한광학신호를생성하기위한다이오드어레이를이용할수 있다. 마스크는광 신호의제1 소정부분이기판에도달하는것을방지하고, 반면에제2 소정부분이기판에도달하는것을허용하는데사용될수 있다. 적어도하나의프로세서는다이오드어레이의출력을제어하는데사용될수 있다.
摘要翻译：公开了一种用于在形成衬底的粉末材料上进行添加制造（AM）制造工艺的系统。该系统可以利用二极管阵列来产生足以熔化衬底的粉末材料的光学信号。可以使用掩模来防止光信号的第一预定部分到达基板，同时允许第二预定部分到达基板。可以使用至少一个处理器来控制二极管阵列的输出。

63. 发明授权

KR101509549B1 레이저 처리 방법 및 장치 有权
标题翻译：激光加工的方法和装置
公开(公告)号：KR101509549B1
公开(公告)日：2015-04-06
申请号：KR1020087026659
申请日：2007-05-01
申请人： 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드
发明人： 와일,도널드,이. , 조한슨,브라이언,시.
IPC分类号： B23K26/02 , B23K26/00 , B23K28/02
CPC分类号： B23K26/0673 , B23K26/035 , B23K26/042 , B23K26/40 , B23K26/702 , B23K2201/40 , B23K2203/50 , H01L21/481 , H01L2224/82039 , H01L2924/01046 , H01L2924/01067 , H01L2924/01068 , H01L2924/01077 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/09701 , H05K3/0008 , H05K3/0026 , H05K3/0097
摘要： 레이저빔(89)으로소재를처리하는방법및 장치는소재(78, 80)를고정하기위한제 1 및제 2 스테이지(74, 76)와, 제 1 및제 2 레이저빔 경로를포함한다. 제 1 소재는제 1 레이저빔 경로와정렬된제 1 스테이지상에로딩되고, 처리가시작된다. 제 1 소재가제 1 레이저빔 경로에관련하여정렬되는동안, 제 2 소재는제 2 레이저빔 경로에관련하여준비된다. 제 2 소재의처리는레이저빔이처리를위해이용가능하자마자시작된다.

64. 发明公开

KR1020140146666A 레이저 처리 방법 및 장치 无效
标题翻译：激光加工的方法和装置
公开(公告)号：KR1020140146666A
公开(公告)日：2014-12-26
申请号：KR1020147033084
申请日：2007-05-01
申请人： 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드
发明人： 와일,도널드,이. , 조한슨,브라이언,시.
IPC分类号： B23K26/02 , B23K28/02
CPC分类号： B23K26/0673 , B23K26/035 , B23K26/042 , B23K26/40 , B23K26/702 , B23K2201/40 , B23K2203/50 , H01L21/481 , H01L2224/82039 , H01L2924/01046 , H01L2924/01067 , H01L2924/01068 , H01L2924/01077 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/09701 , H05K3/0008 , H05K3/0026 , H05K3/0097
摘要： 레이저 빔(89)으로 소재를 처리하는 방법 및 장치는 소재(78, 80)를 고정하기 위한 제 1 및 제 2 스테이지(74, 76)와, 제 1 및 제 2 레이저 빔 경로를 포함한다. 제 1 소재는 제 1 레이저 빔 경로와 정렬된 제 1 스테이지 상에 로딩되고, 처리가 시작된다. 제 1 소재가 제 1 레이저 빔 경로에 관련하여 정렬되는 동안, 제 2 소재는 제 2 레이저 빔 경로에 관련하여 준비된다. 제 2 소재의 처리는 레이저 빔이 처리를 위해 이용가능하자마자 시작된다.

65. 发明公开

KR1020140142325A 광학 요소의 위치 결정 동작용의 전달 요소, 위치 결정 장치 및 레이저 가공 기계용 가공 헤드 有权
标题翻译：用于具有这种传输元件的激光加工机的光学元件，定位装置和加工头的设置运动的传动元件
公开(公告)号：KR1020140142325A
公开(公告)日：2014-12-11
申请号：KR1020147030007
申请日：2013-03-25
申请人： 트룸프 베르크초이그마쉬넨 게엠베하 + 코. 카게
发明人： 뵈트체르크리스티안
IPC分类号： B23K26/04 , B23K26/046 , B23K26/06 , G02B7/00 , G02B7/02 , G02B7/182 , B23K26/042
CPC分类号： G02B7/1821 , B23K26/042 , B23K26/043 , B23K26/046 , G02B7/004 , G02B7/023 , G02B7/028 , B23K26/0643 , B23K26/0648
摘要： 본 발명은, 위치 결정 동작시에 동작 구동부(41)의 발생 출력 동작을 광학 요소(15)에 전달하기 위한 전달 요소(52)로서, 조절 동작의 이동 경로에 대한 접선 방향인, 제1 동작 방향(53)에서는 기계적으로 강성을 띠는 방식으로 구현되어 있으며, 제1 동작 방향에 대해 직각을 이루는 제2 동작 방향(54)에서는 저레벨의 강성을 갖는 적어도 하나의 휨 받침부(65, 66)를 구비하고, 전달 요소(52)는, 제1 휨 받침부(65)의 제1 동작 방향(53)에서는 기계적으로 강성을 띠고, 제1 및 제2 동작 방향(53, 54)에 대해 직각을 이루는 방향에서는 탄성을 띠도록 형성되어 있는 제2 휨 받침부(66)를 구비하는 것인 전달 요소에 관한 것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于将运动驱动器（41）的产生初始运动传递到光学元件作为设定运动的传动元件（52），其包括至少一个固体接头（65,66），其中传动元件（52）具有第一固体接头（65），其在第一运动方向（53）上与所述设定运动的运动路径切向地机械刚性并且在附加运动方向上具有与其垂直的低刚度，以及其中所述传动元件（52）具有在所述第一固体接头（65）的所述第一运动方向（53）上机械地刚性并且垂直于所述第一运动方向弹性的第二固体接头（66）（53）和第二运动方向。

66. 发明授权

KR101430277B1 솔라 패널의 라인 스크라이브를 위한 레이저 빔 얼라인먼트 장치와 이 장치로 제조되는 솔라 패널 有权
标题翻译：用于太阳能电池板的激光束对准装置和由装置形成的太阳能电池板的装置
公开(公告)号：KR101430277B1
公开(公告)日：2014-08-18
申请号：KR1020097008787
申请日：2007-11-05
申请人： 텔 쏠라 아게
发明人： 럼스비필립
IPC分类号： B23K26/08 , H01L31/18
CPC分类号： H01L31/18 , B23K26/042 , Y10T428/24802
摘要： 본 발명은 솔라 패널을 제조하기 위하여 이미 선들이 스크라이브된 하나 이상의 저층 레이어위에 얇은 재질의 상층 레이어를 코팅하고, 상기 코팅된 상층 레이어에 레이저로 스크라이브된 라인을 정확히 위치시키는 방법에 관한 것이다. 이는 광학유닛을 이용하는 수단으로 수행되는 바, 광학유닛은 하나 또는 그 이상의 레이저빔을 조사하여 패널의 상층에 하나 이상의 라인을 스크라이브한다. 얼라인먼트 디텍터 시스템은 광학 유닛에 이격되어 설치되며, 패널의 스크라이브 될 위치의 저층 레이어에서 미리 스크라이브된 라인을 측정한다. 제어 및 이동 시스템은 광학 유닛에 부착되는 얼라인먼트 디텍터로부터의 데이터를 받고, 상기 데이터로 광학 유닛의 패널에 대한 상대적 위치를 스크라이브 방향에 수직한 방향으로 보정하여, 저층 레이어의 미리 스크라이브된 라인에 대한 새로 스크라이브되는 라인이 정확하게 위치되도록 한다. 이동 시스템은 패널을 광학 유닛과 부착된 얼라인먼트 디텍터에 대해 이동시키며, 광학 유닛에 의해 레이저가 패널의 다른 위치에서 최상층 레이어 전체 길이에 걸쳐 라인을 스크라이브 하는 동안 상기 디텍터는 저층 레이어의 하나 또는 두 개 이상의 스크라이브된 라인의 경로를 따라가면서 그 위치를 측정하게 된다. 본 발명은 나아가 상기 과정을 수행할 수 있는 레이저 절제 장치를 제공한다.
솔라 패널, 얼라인먼트, 레이저, 정렬, 레이어, 디텍터, 센서

67. 发明授权

KR101390297B1 레이저-기반 웨이퍼 가공 동안에 처리량을 증가시키기 위해 파라미터를 적응시키는 시스템 및 방법 有权
标题翻译：用于在基于激光的波浪加工中适应参数以增加通量的系统和方法
公开(公告)号：KR101390297B1
公开(公告)日：2014-04-29
申请号：KR1020097026925
申请日：2007-11-29
申请人： 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드
发明人： 브룰랜드켈리제이. , 반데르기에센클린트 , 에잇젠두아네
IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/78 , H01L21/02
CPC分类号： B23K26/0853 , B23K26/042 , B23K26/082 , B23K26/351 , B23K2201/40 , G11C17/143 , G11C29/006 , G11C29/028 , G11C29/56 , H01L21/76894
摘要： 시스템 및 방법은 반도체 웨이퍼와 같은 대상 시료를 가공하기 위한 레이저-기반 시스템을 자동으로 변경한다. 일 실시예에서, 레이저-기반 시스템은 가공 모델과 연관된 트리거를 검출한다. 가공 모델은 웨이퍼 세트에 대응한다. 트리거에 응답해서, 시스템은 가공 모델을 기초로 해서 하나 이상의 시스템 파라미터를 자동으로 조정한다. 시스템은 이때 변경된 시스템 파라미터를 사용해서, 웨이퍼 세트 내의 적어도 하나의 웨이퍼 위의 또는 안의 구조물을 선택적으로 방사한다. 일 실시예에서, 트리거는 움직임 스테이지와 관련된 열 상태에서의 변화를 포함한다. 열 상태에서의 변화에 응답해서, 시스템은 열 평형 임계치가 도달될 때까지 일련의 무브먼트로 움직임 스테이지를 작동시킨다. 무브먼트 시퀀스는 예컨대, 특별한 웨이퍼를 가공하는데 사용된 무브먼트를 흉내낼 수 있다.

68. 发明公开

KR1020120005375A 레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법 有权
标题翻译：激光加工设备和激光加工方法
公开(公告)号：KR1020120005375A
公开(公告)日：2012-01-16
申请号：KR1020110058530
申请日：2011-06-16
申请人： 가부시기가이샤 디스코
发明人： 노마루게이지 , 호시노히토시 , 우에노히로우미
IPC分类号： B23K26/042 , B23K26/0622 , B23K26/064 , B28D5/00
CPC分类号： B23K26/042 , B23K26/0622 , B23K26/064 , B28D5/00
摘要： PURPOSE: Laser processing apparatus and method are provided to curb the decrease in the electrical characteristic as a device since a reformed layer is formed near a light emitting device by a laser beam with a polarizing direction parallel to a processing direction. CONSTITUTION: A laser processing apparatus comprises a sustaining unit and a pulse laser radiating unit. The sustaining unit sustains the surface side of a sapphire wafer formed surface. The pulse laser radiating unit radiates pulse laser(47) with wavelength transmitting the sapphire wafer along the splitting expected line of the sapphire wafer sustained by the sustaining unit. The pulse laser radiating unit comprises an oscillator(41) and a condenser(44). The condenser displaces the pulse laser to the thickness direction of sapphire wafer(W) to condense it on two points. The pulse laser condensed far from the exposed surface of the sapphire wafer is linear polarization parallel to the processing direction in vibration direction.
摘要翻译：目的：提供激光加工装置和方法来抑制作为装置的电特性的降低，因为通过具有平行于加工方向的偏振方向的激光束在发光装置附近形成重整层。构成：激光加工装置包括维持单元和脉冲激光辐射单元。维持单元维持蓝宝石晶片形成表面的表面侧。脉冲激光辐射单元辐射脉冲激光器（47），波长沿着蓝宝石晶片的分裂预期线传输蓝宝石晶片，由保持单元维持。脉冲激光辐射单元包括振荡器（41）和冷凝器（44）。冷凝器将脉冲激光器置换为蓝宝石晶片（W）的厚度方向，以将其压缩在两点上。远离蓝宝石晶片的暴露表面的脉冲激光器是与振动方向上的加工方向平行的线偏振光。

69. 发明公开

KR1020110131832A 레이저 세기 정보를 이용한 레이저 출력 정상여부 측정 및 출사구 훼손을 방지하는 레이저시스템 및 정상여부 측정 방법 有权
标题翻译：用于输出测量和防止出口孔损伤的激光系统和检查正常的方法
公开(公告)号：KR1020110131832A
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：KR1020100051476
申请日：2010-05-31
申请人： (주)한빛레이저
发明人： 김정묵
IPC分类号： H01S3/10 , B23K26/042 , B23K26/60
CPC分类号： H01S3/101 , B23K26/042 , G02B27/149 , H01S3/094007
摘要： PURPOSE: A laser system for determining whether a laser output is normal using laser intensity information and preventing damage of a light outlet and a method for determining whether the intensity of laser is normal are provided to place a laser beam cable receptacle in the system, thereby preventing fire of a light outlet due to laser which is reflected from an optical surface or the surface of a processed object. CONSTITUTION: A laser generating unit(10) generates laser. An optical cable(20) transmits laser of the laser generating unit. Laser is incident through a light inlet(30). Laser incident from the other side of the optical cable is emitted through a light outlet(40). A collimation lens(100) controls the angle for emitting laser. A bending mirror(200) changes a path by reflecting the laser controlled by the collimation lens. A focusing lens(300) focuses the laser changed by the bending mirror. A laser detector(400) senses the intensity of laser transmitted through the bending mirror. A vision unit(500) visually senses the processing location and processing state of an object. A main control unit(600) outputs an abnormal transmission state of the optical cable.
摘要翻译：目的：提供一种激光系统，用于使用激光强度信息确定激光输出是否正常，并防止光源出现损坏，以及确定激光强度是否正常的方法，以将激光束电缆插座放置在系统中防止由于从光学表面或被处理物体的表面反射的激光引起的光出射。构成：激光发生单元（10）产生激光。光缆（20）发射激光产生单元的激光。激光通过光入口（30）入射。从光缆的另一侧入射的激光通过光出射口（40）发射。准直透镜（100）控制用于发射激光的角度。弯曲镜（200）通过反射由准直透镜控制的激光来改变路径。聚焦透镜（300）聚焦由弯曲镜改变的激光。激光检测器（400）感测透过弯曲镜的激光的强度。视觉单元（500）可视地感测对象的处理位置和处理状态。主控制单元（600）输出光缆的异常传输状态。

70. 发明公开

KR1020110038074A 노즐 축선에 대해 레이저 절단 비임을 편심되게 배향시키는 방법, 경사 절단하는 방법, 이에 상응하는 레이저 가공 헤드 및 레이저 가공 기계 有权
标题翻译：相对于喷射轴和角度切割的激光切割光束的对准方法，相应的激光加工头和激光加工工具
公开(公告)号：KR1020110038074A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：KR1020117002205
申请日：2009-06-26
申请人： 트룸프 베르크초이그마쉬넨 게엠베하 + 코. 카게
发明人： 보에트체르크리스티안 , 딜게르베르네르 , 데멜페테르 , 바이크위르겐-미카엘
IPC分类号： B23K26/14 , B23K26/12 , B23K26/064 , B23K26/38
CPC分类号： B23K26/38 , B23K26/042 , B23K26/043 , B23K26/048 , B23K26/1436 , B23K26/1476
摘要： 본 발명은, 절단 가스 노즐(3)의 노즐 축선(3a)에 대해 편심되게 집속 레이저 절단 비임(2)을 배향시키는 방법으로서, 레이저 절단 비임(2)의 비임 경로에서 절단 가스 노즐(3)의 상류측에 배치된 방향 전환 거울(12)을, 노즐 축선(3a)과 동축으로 배치된 방향(C
SP )을 중심으로, 및/또는 노즐 축선(3a)에 대해 직교하고 방향 전환 거울(12)에 대한 레이저 절단 비임(2)의 비임 입사 방향에 상응하는 방향(B')을 중심으로 회전시키는 것을 포함하는 레이저 절단 비임의 편심 배향 방법에 관한 것이다. 절단 가스 노즐(3) 및 방향 전환 거울(12)은 레이저 가공 헤드(9)의 제2 구조용 유닛(9b)에 배치되고, 이 제2 구조용 유닛(9b)은 제1 구조용 유닛(9a)에 대해 비임 입사 방향에 상응하는 방향(B)을 중심으로 회전하도록 배치된다. 본 발명은 또한 레이저 절단 비임(2)을 편심되게 배향시키는 방법에 기초하여 레이저 비임을 사용하여 공작물(1)을 경사 절단하는 방법. 및 이 방법을 수행하는 레이저 가공 헤드(9)와 레이저 가공 기계(7)에 관한 것이다.

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