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41. 发明授权

KR100781007B1 기화 시스템의 기화기 失效
标题翻译：用于蒸发系统的蒸发器
公开(公告)号：KR100781007B1
公开(公告)日：2007-11-29
申请号：KR1020010059297
申请日：2001-09-25
申请人： 가부시키가이샤 시마즈세이사쿠쇼 , 미츠비시덴키 가부시키가이샤
发明人： 요시오카나오키 , 가와모토다츠시 , 가와오미츠시 , 마츠노시게루 , 야마다아키라 , 미야시타쇼지 , 우치카와후사오키
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： F16K11/207 , B01D1/0082 , C23C16/448 , C23C16/4486 , F16K31/1221 , Y10S261/65
摘要： 본 발명은 기화 시스템의 액체재료 공급장치, 기화기 및 기화성능 평가방법에 관한 것으로서, 액체재료 공급장치에 있어서, 이송 라인에 2밸브 3방향 전환 밸브를 사용하거나 재료용기와 이송 라인을 3밸브 4방향 전환밸브로 접속함과 동시에 3밸브 4방향 전환밸브와 재료용기를 이송 라인으로부터 일체로 떼어낸 구성으로 하고, 또한 기화기에 있어서 액체재료를 포함하는 기액혼합재료가 흐르는 내측 배관의 선단부를 둘러싸도록 오리피스 부재를 설치하여, 내측 배관과 오리피스 부재의 간극으로부터 무화(霧化)용 가스를 기화 챔버내에 분출시키도록 하며, 또한 기화 챔버 내의 기화면의 온도를 액체재료에 따라서 독립적으로 온도 제어하는 것을 특징으로 한다.

42. 发明授权

KR100756773B1 기화 시스템의 기화성능 평가방법 失效
标题翻译：汽化系统汽化性能评价方法
公开(公告)号：KR100756773B1
公开(公告)日：2007-09-07
申请号：KR1020070046454
申请日：2007-05-14
申请人： 가부시키가이샤 시마즈세이사쿠쇼 , 미츠비시덴키 가부시키가이샤
发明人： 요시오카나오키 , 가와모토다츠시 , 가와오미츠시 , 마츠노시게루 , 야마다아키라 , 미야시타쇼지 , 우치카와후사오키
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： F16K11/207 , B01D1/0082 , C23C16/448 , C23C16/4486 , F16K31/1221 , Y10S261/65
摘要： 본 발명은 기화 시스템의 액체재료 공급장치, 기화기 및 기화성능 평가방법에 관한 것으로서, 액체재료 공급장치에 있어서, 이송 라인에 2밸브 3방향 전환 밸브를 사용하거나 재료용기와 이송 라인을 3밸브 4방향 전환밸브로 접속함과 동시에 3밸브 4방향 전환밸브와 재료용기를 이송 라인으로부터 일체로 떼어낸 구성으로 하고, 또한 기화기에 있어서 액체재료를 포함하는 기액혼합재료가 흐르는 내측 배관의 선단부를 둘러싸도록 오리피스 부재를 설치하여, 내측 배관과 오리피스 부재의 간극으로부터 무화(霧化)용 가스를 기화 챔버내에 분출시키도록 하며, 또한 기화 챔버 내의 기화면의 온도를 액체재료에 따라서 독립적으로 온도 제어하는 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明涉及一种液体材料供应部，该汽化系统的蒸发器和蒸发性能的评价方法中，在液体材料供给装置，使用所述第二阀的三通切换阀或材料容器和进料管线3阀4的方向上的输送线中连接到切换阀，并在同一时间所述孔口到第三阀，四通切换阀与所述材料容器和配置已经整体地从输送线去除，并且围绕内管的远端是包含在蒸发器中流动的液体材料气液混合材料通过从内管，并在气化室中的孔口构件，并且其中所述温度控制在蒸发室的显示组的温度独立地之间的间隙中安装的构件，并且喷洒雾化为（雾化）气体，根据液体材料的。

43. 发明公开

KR1020050059505A 화학 기상 증착공정을 위한 전구체의 기화장치 有权
标题翻译：化学气相沉积工艺前驱体蒸发装置
公开(公告)号：KR1020050059505A
公开(公告)日：2005-06-21
申请号：KR1020030091131
申请日：2003-12-15
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 윤주영 , 성대진 , 김정형 , 신용현 , 정광화
IPC分类号： C23C16/448
CPC分类号： C23C16/4482 , Y10S261/65
摘要： 본 발명은 화학 기상 증착공정을 위한 전구체의 기화장치에 관한 것으로, 밀폐용기에 담긴 전구체 수용액이 최저수위까지 기화됨이 가능하도록 밀폐용기의 내벽면 일측에 근접되게 편중/배치되고 높이방향을 따라 최저수위까지 배관되는 연결관과, 연결관의 하단에 관이음되고, 밀폐용기의 바닥면을 따라 배관되는 기포발생관을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이 때 기포발생관은, 바닥면의 내주연을 따라 배관되는 폐곡선 형상, 바닥면을 가로질러 배관되는 직선 형상, 폐곡선 형상 및 폐곡선의 내주연을 가로질러 배관되는 직선 형상 등으로 이루어지는 것이 바람직하며, 그 외주연 상부에 일정간격을 따라 통기구가 형성되어 전구체 수용액의 최저수위에서 그 전반에 걸친 기포발생 및 버블링이 이루어질 수 있다.

44. 发明公开

KR1020050054153A 시간 분할 급속 가열 폴리머 박막 증착 장치 및 방법 失效
标题翻译：用于形成具有循环和快速热沉积的聚合物薄膜的装置和方法
公开(公告)号：KR1020050054153A
公开(公告)日：2005-06-10
申请号：KR1020030087487
申请日：2003-12-04
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 안성덕 , 강승열 , 서경수 , 김철암 , 정명주
IPC分类号： C23C16/00
CPC分类号： C23C16/52 , B05D1/60 , C23C16/4485 , C23C16/45565 , C23C16/482 , Y10S261/65
摘要： 시간 분할 급속 가열 폴리머(polymer) 박막 증착 장치 및 방법을 제시한다. 본 발명의 일 관점에 따른 증착 장비는, 반응 챔버, 기판 지지부, 기판 기판 냉각부, 폴리머 박막 증착에 참여할 증착 소스 기상 및 폴리머화를 위한 활성화제 기상을 교번적으로 기판 상에 공급하는 샤워링(shower ring), 활성화제 기상을 활성화하는 데 도움을 주는 열적 에너지를 제공하는 제1가열부를 포함하여 구성되고, 또한, 샤워 링으로 제공될 증착 소스 기상을 위한 증착 소스를 담는 증착 소스통, 활성화제 소스를 담는 활성화제 소스통, 증착 소스통 및 활성화제 소스통을 가열하는 제2가열부, 및 증착 소스의 기상 및 활성화제 기상이 시간 분할에 따라 선택적으로 상호 독립적으로 샤워링으로 이송되도록 허용하는 이송로를 포함하여 구성된다.

45. 发明公开

KR1020050021506A 기판 가공용 버블러 无效
标题翻译：用于衬底加工的搅拌机
公开(公告)号：KR1020050021506A
公开(公告)日：2005-03-07
申请号：KR1020057000888
申请日：2003-07-18
申请人： 에이에스엠 아메리카, 인코포레이티드
发明人： 스탬프마이클알. , 암레임프레더릭제이. , 데일아놀드제이. , 포테바움조세프씨. , 에버트브라이언제이.
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： C23C16/402 , C23C16/24 , C23C16/4482 , H01L28/84 , Y10S261/65
摘要： 본 발명에 따른 기판 가공을 위한 기화 챔버는 본체, 커버 부재 및 전환부재를 포함한다. 상기 본체는 알루미늄으로 이루어지고, 적어도 부분적으로 캐비티를 형성하는 제1 내면을 형성한다. 상기 커버 부재는, 적어도 부분적으로 캐비티를 형성하는 제2 내면을 형성한다. 상기 커버부재는 캐리어 가스 커버 주입구, 액체 공급원 커버 주입구, 제1 외면으로부터 커버 부재를 지나 제2 내면까지 연장된 공급원 커버 배출구를 포함한다. 상기 전환부재는 스테인레스 강으로 이루어져 있고, 전환 외면과 전환 내면을 구비한다. 상기 전환 내면은 알루미늄이 클래딩(cladding)되어 있다. 상기 커버 부재는 캐리어 가스 커버 주입구, 제1 외면으로부터 커버 부재를 지나 제2 내면까지 연장된 공급원 커버 배출구를 포함한다. 상기 전환 내면 및 상기 커버 외면은 서로 용접(welding)되어 있다.

46. 发明授权

KR100452178B1 분사시스템,가스또는증기방출방법,패키지이송시스템과이송방법,및살균시스템과물품살균방법 失效
标题翻译：注射系统，气体或蒸汽释放方法，包装传输系统和传输方法，以及消毒系统和物品消毒方法
公开(公告)号：KR100452178B1
公开(公告)日：2005-01-15
申请号：KR1019980703041
申请日：1996-10-28
申请人： 에디컨인코포레이티드
发明人： 켄달리차드제드 , 윌리암스해롤드알 , 첸샤오이안 , 린쯔-민 , 스펜서로버트엠 , 하아스마이클 , 야콥폴테일러
IPC分类号： A61L2/20 , B01J7/00 , B65D65/38
CPC分类号： A61L2/208 , A01N59/00 , A61L2/10 , A61L2/14 , A61L2/20 , A61L2/26 , A61L2202/122 , A61L2202/24 , C01B15/01 , C01B15/03 , C01B15/06 , C01B15/08 , C01B15/103 , C01B15/14 , C01B15/16 , Y10S261/65 , Y10T428/1352 , Y10T428/1355 , Y10T428/1359 , Y10T428/1376 , Y10T428/1379 , Y10T428/1383 , A01N25/00 , A01N25/08 , A01N25/12 , A01N25/18 , A01N25/34 , A01N2300/00
摘要： An apparatus and process for hydrogen peroxide vapor sterilization of medical instruments and similar devices make use of hydrogen peroxide vapor released from an inorganic hydrogen peroxide complex. The peroxide vapor can be released at room temperature and atmospheric pressure; however, the pressure used can be less than 50 torr and the temperature greater than 86 DEG C to facilitate the release of hydrogen peroxide vapor. The heating rate can be greater than 5 DEG C. Optionally, a plasma can be used in conjunction with the vapor.

47. 发明授权

KR100454996B1 제품 살균 패키지, 제품 살균 카트리지 하우징, 및 제품살균용 가스 또는 증기 방출 방법 失效
标题翻译：使用无机过氧化氢络合物进行蒸气灭菌
公开(公告)号：KR100454996B1
公开(公告)日：2004-11-09
申请号：KR1020047005970
申请日：1996-10-28
申请人： 에디컨인코포레이티드
发明人： 켄달리차드제드 , 윌리암스해롤드알. , 첸샤오이안 , 린쯔-민 , 스펜서로버트엠. , 하아스마이클 , 야콥폴테일러
IPC分类号： A61L2/20
CPC分类号： A61L2/208 , A01N59/00 , A61L2/10 , A61L2/14 , A61L2/20 , A61L2/26 , A61L2202/122 , A61L2202/24 , C01B15/01 , C01B15/03 , C01B15/06 , C01B15/08 , C01B15/103 , C01B15/14 , C01B15/16 , Y10S261/65 , Y10T428/1352 , Y10T428/1355 , Y10T428/1359 , Y10T428/1376 , Y10T428/1379 , Y10T428/1383 , A01N25/00 , A01N25/08 , A01N25/12 , A01N25/18 , A01N25/34 , A01N2300/00
摘要： An apparatus and process for hydrogen peroxide vapor sterilization of medical instruments and similar devices make use of hydrogen peroxide vapor released from an inorganic hydrogen peroxide complex. The peroxide vapor can be released at room temperature and atmospheric pressure; however, the pressure used can be less than 50 torr and the temperature greater than 86 DEG C to facilitate the release of hydrogen peroxide vapor. The heating rate can be greater than 5 DEG C. Optionally, a plasma can be used in conjunction with the vapor.

48. 发明授权

KR100386217B1 액체재료 기화방법 및 장치 有权
标题翻译： 액체재료기화방법및장치
公开(公告)号：KR100386217B1
公开(公告)日：2003-06-02
申请号：KR1020000053937
申请日：2000-09-14
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 니시자토히로시 , 미야모토히데아키
IPC分类号： C23C16/00
CPC分类号： B01F3/022 , B01D3/346 , C23C16/4481 , Y10S261/65
摘要： A method and an apparatus for gasifying a liquid material are described by which gasification of liquid material can be made efficiently and in stabilized state at all times. The invention comprises mixing a liquid material (LM) and a carrier gas (CG) while making flow control in a gas-liquid mixing unit (39) in a control valve (1) provided with a liquid flow control function, and discharging the resulting gas-liquid mixture (M) from the nozzle (42) formed in the vicinity of the flow control unit (39) to gasify the liquid material (LM) under reduced pressure.
摘要翻译：描述了一种用于气化液体材料的方法和设备，通过该方法和设备，液体材料的气化可以始终高效且稳定地进行。本发明包括在具有液体流量控制功能的控制阀（1）中的气液混合单元（39）中进行流量控制的同时混合液体材料（LM）和载气（CG），并且将得到的（39）附近形成的来自喷嘴（42）的气液混合物（M），以在减压下气化液体材料（LM）。＆lt;图像＆GT;

49. 发明公开

KR1020020084103A 초 미세 입체구조의 제조 방법 및 그 장치 有权
标题翻译：用于制造超声衬底的方法和设备
公开(公告)号：KR1020020084103A
公开(公告)日：2002-11-04
申请号：KR1020027009695
申请日：2001-11-27
申请人： 가부시키가이샤 히타치 하이테크 사이언스
发明人： 카이토타카시
IPC分类号： C23C16/44
CPC分类号： C23C16/00 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y70/00 , B82Y30/00 , C23C16/047 , C23C16/4418 , H01J37/3178 , C23C16/486 , C23C16/4486 , H01J37/3007 , H01J37/305 , Y10S261/65
摘要： 집속 이온빔 장치를 이용한 디포지션 기술로서, 원료 가스로서 페난트렌을, 이온으로서 액체금속 이온원 으로부터 5 내지 100keV의 갈륨 또는 금, 실리콘, 베릴륨 등의 이온을 사용하고, 가스 분사 밀도를 종래의 디포지션의 경우보다 5 내지 10 정도 높게 하고, 가스 분사 방향을 등방향 또는 대칭적으로 하여 실행하는 방법을 채용한다.

50. 发明公开

KR1020020077031A 고순도 액체 물질용 저장 용기 有权
标题翻译：用于液体高纯物质的储存容器
公开(公告)号：KR1020020077031A
公开(公告)日：2002-10-11
申请号：KR1020010086977
申请日：2001-12-28
申请人： 씨에스 크린 시스템즈 아게
发明人： 숄츠,크리스토프
IPC分类号： C23C16/54
CPC分类号： C23C16/4407 , C23C16/4481 , Y10S261/65
摘要： PURPOSE: A storage vessel for liquid high-purity substances is provided to give a device for cleaning the connecting pieces and lines when the storage vessel is changed. CONSTITUTION: The storage vessel for liquid substances which are supplied to a consumer includes a device for cleaning the connecting pieces(7,8,13,18) when the storage vessel(1) is changed, the storage vessel(1) having a connecting piece(13) provided with a shut-off device(15) and a coupling(16) for connection to a connecting piece(7) provided with a coupling(10) to a pressure gas line(3) with a shut-off device(5), and a connecting piece(18) provided with a shut-off device(19) and a coupling(21) for connecting a discharge line in the storage vessel(1) to a connecting piece(8) provided with a coupling(11) and a shut-off device(6) for supplying the substance subjected to the pressure gas in the vessel(1) to the consumer. A solvent vessel(23) for flushing the connecting pieces(7,8,13,18), a vessel(28) for spent solvent which is evacuated in order to suck solvent into the connecting pieces(7,8,13,18) as a vacuum source form a package with the storage vessel(1).
摘要翻译：目的：提供液体高纯度物质的储存容器，以便在存储容器更换时提供用于清洁连接件和管线的装置。提供给消费者的液体物质的储存容器包括一个用于在储存容器（1）改变时清洁连接件（7,8,13,18）的装置，该储存容器（1）具有连接设置有切断装置（15）的联接器（13）和用于连接到连接件（7）的连接件（16），所述连接件（7）具有连接件（10）到压力气体管线（3）（5）和连接件（18），其具有切断装置（19）和用于将储存容器（1）中的排放管线连接到连接件（8）的联接器（21）（11）和用于将容器（1）中承受压力气体的物质供应给消费者的切断装置（6）。用于冲洗连接件（7,8,13,18）的溶剂容器（23），用于废溶剂的容器（28），其被抽空以将溶剂吸入连接件（7,8,13,18）作为真空源形成与储存容器（1）的包装。

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