专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

KR1020170043468A 가스 제어 시스템, 및, 가스 제어 시스템용 프로그램 审中-实审
标题翻译：燃气控制系统和燃气控制系统程序
公开(公告)号：KR1020170043468A
公开(公告)日：2017-04-21
申请号：KR1020160132591
申请日：2016-10-13
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 니시자토히로시 , 다키지리고타로 , 미나미마사카즈 , 데라오카아츠코
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/66 , H01L21/67 , H01L21/54
CPC分类号： C23C16/52 , C23C16/4481 , C23C16/4482 , G01N21/3504 , G01N21/84 , G01N33/0004 , G01N2021/8411 , G01N2021/8578 , G05D11/00 , Y10T137/0329 , Y10T137/2499 , Y10T137/2509
摘要： 재료가스가재액화한액적이나재료의열분해에의해생긴파티클에의한농도또는유량의제어에의영향이나타내어지는것을방지하고, 미리정해진농도또는유량으로혼합가스를공급하는것이가능한가스제어시스템을제공하기위해서, 상기캐리어가스라인에마련된, 또는, 상기가스공급라인에마련된제1 밸브와, 희석가스라인에마련되며, 유량센서및 제2 밸브를구비하는유량제어기구와, 비접촉식제1 농도센서와, 제1 밸브제어부와, 미리설정되는상기희석후 혼합가스의설정총유량과, 상기희석후 측정농도에근거하여상기희석가스라인에대해서흘러야할 희석가스의유량인희석가스설정유량을산출하는희석가스설정유량산출부와, 상기희석가스설정유량, 및, 상기유량센서에서측정되는측정유량의편차가작게되도록상기제2 밸브의개도를제어하는제2 밸브제어부를구비했다.
摘要翻译：保护，并提供它可能的气体控制系统，用于以预定的浓度供给的混合气体或流动的材料气体螯虾液化下降率或热裂化的浓度的控制或流量通过观察颗粒通过材料的表达的影响在顺序，与载体和在气体管线提供，或者在气体供给管设置有第一阀，它在稀释气体管线被提供，并且所述流量控制机构包括流量传感器和第二阀，非接触型的第一浓度传感器，第一阀控制，和一个稀释度稀释，这是在预先设置的设置的总流量和所测量的浓度的气体混合物的稀释后计算所述稀释气体设定稀释的流量稀释至必须流用于气体管线的气体的气体的流量的基础上，后获得设定流量计算部分，用于控制第二阀的开度的第二阀控制单元，使得所测量的流量的偏差，在稀释气体的流量设定测量，并且，较小流量传感器他说。

2. 发明授权

KR100386217B1 액체재료 기화방법 및 장치 有权
标题翻译： 액체재료기화방법및장치
公开(公告)号：KR100386217B1
公开(公告)日：2003-06-02
申请号：KR1020000053937
申请日：2000-09-14
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 니시자토히로시 , 미야모토히데아키
IPC分类号： C23C16/00
CPC分类号： B01F3/022 , B01D3/346 , C23C16/4481 , Y10S261/65
摘要： A method and an apparatus for gasifying a liquid material are described by which gasification of liquid material can be made efficiently and in stabilized state at all times. The invention comprises mixing a liquid material (LM) and a carrier gas (CG) while making flow control in a gas-liquid mixing unit (39) in a control valve (1) provided with a liquid flow control function, and discharging the resulting gas-liquid mixture (M) from the nozzle (42) formed in the vicinity of the flow control unit (39) to gasify the liquid material (LM) under reduced pressure.
摘要翻译：描述了一种用于气化液体材料的方法和设备，通过该方法和设备，液体材料的气化可以始终高效且稳定地进行。本发明包括在具有液体流量控制功能的控制阀（1）中的气液混合单元（39）中进行流量控制的同时混合液体材料（LM）和载气（CG），并且将得到的（39）附近形成的来自喷嘴（42）的气液混合物（M），以在减压下气化液体材料（LM）。＆lt;图像＆GT;

3. 发明公开

KR1020010030372A 액체재료 기화방법 및 장치 有权
标题翻译：用于气化材料的方法和装置
公开(公告)号：KR1020010030372A
公开(公告)日：2001-04-16
申请号：KR1020000053937
申请日：2000-09-14
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 니시자토히로시 , 미야모토히데아키
IPC分类号： C23C16/00
CPC分类号： B01F3/022 , B01D3/346 , C23C16/4481 , Y10S261/65
摘要： PURPOSE: A method and an apparatus for gasifying a liquid material are provided by which gasification of liquid material can be made efficiently and in stabilized state at all times. CONSTITUTION: The apparatus comprises mixing a liquid material(LM) and a carrier gas(CG) while making flow control in a gas-liquid mixing unit(39) in a control valve provided with a liquid flow control function, and discharging the resulting gas-liquid mixture(M) from the nozzle(42) formed in the vicinity of the flow control unit(39) to gasify the liquid material(LM) under reduced pressure.
摘要翻译：目的：提供一种用于气化液体材料的方法和装置，其中液体材料的气化可以始终有效地并且处于稳定状态。构成：该装置包括在液体流动控制功能的控制阀中的气液混合单元（39）中进行流体控制的同时混合液体材料（LM）和载气（CG），并排出所得到的气体 - 液体混合物（M）从形成在流量控制单元（39）附近的喷嘴（42）在减压下气化液体材料（LM）。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式