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1. 发明授权

KR101520804B1 광대역 파장 흡수 및 에너지변환을 이용한 고효율 태양전지 有权
公开(公告)号：KR101520804B1
公开(公告)日：2015-05-15
申请号：KR1020130010162
申请日：2013-01-30
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 이주인 , 김정형 , 유용심 , 신용현
IPC分类号： H01L31/07 , H01L31/072 , H01L31/042
摘要： 본 발명은 이종 접합 양자점과 쇼트키 접합 태양 전지를 이용한 태양 전지를 제공한다. 이 태양 전지는 제1 도전형의 반도체층 및 제1 도전형의 반도체층 상에 형성된 금속층을 포함하는 쇼트키(Schottky) 접합 태양전지, 및 반도체층 상에 배치되고, 코어(core) 및 코어를 감싸는 셀(shell)을 가지는 이종 접합 양자점을 포함한다. 상기 이종 접합 양자점은 태양광을 흡수하여 형성된 전자-전공 쌍을 포스터 공명 에너지 전달(Forster resonance energy transfer;FRET)을 통하여 쇼트키(Schottky) 접합 태양전지에 전달한다.

2. 发明授权

KR101473345B1 증발 증착 장치 有权
标题翻译：蒸发沉积装置
公开(公告)号：KR101473345B1
公开(公告)日：2014-12-16
申请号：KR1020120088125
申请日：2012-08-13
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 이주인 , 김정형 , 유용심 , 신용현 , 유신재
IPC分类号： H01L51/56 , C23C14/24
CPC分类号： C23C14/24
摘要： 본발명은증발증착장치를제공한다. 이장치는증기를제공받는입구, 입구의주위에배치되어증기의방향을전환하는배플, 증기를반사시키는구형또는타원형의케비티, 및케비티에서복수회 반사또는산란된증기를점원에의한방사형으로토출하는출구를포함하는적분구, 내부에증발물질이담기고제1 개구부를통하여증발된증기를적분구의입구에제공하는도가니, 및적분구및 도가니를감싸도록배치되어도가니및 적분구를가열하는가열부를포함하고, 적분구는도전성물질로형성되고, 케비티의내부표면은거칠어증발물질이산란된다.
摘要翻译：本发明提供的蒸发装置。通过滤饼蒂径向排出时，多次反射或散射的蒸气在mitke蒂圆形或椭圆形，其布置成围绕所述接收所述值滑移蒸汽入口，入口反射挡板，蒸汽在店员切换的蒸汽的方向积分球，它包括一个插座，以提供通过goje第一开口添加蒸发材料积分球入口坩埚内的闪蒸蒸汽，并且被布置成围绕所述积分球和坩埚被加热以加热所述坩埚和所述积分球部分包括，并且形成为导电材料的积分球，蛋糕的Bt的内表面是粗糙的蒸发材料被散射。

3. 发明公开

KR1020140122838A 증발 증착 장치 有权
标题翻译：蒸发沉积装置
公开(公告)号：KR1020140122838A
公开(公告)日：2014-10-21
申请号：KR1020130039747
申请日：2013-04-11
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 이주인 , 김정형 , 유용심 , 유신재 , 신용현
IPC分类号： H01L51/56 , H05B33/10 , C23C14/24
CPC分类号： C23C14/26 , C23C14/228 , C23C14/243
摘要： 본 발명의 증발 증착 장치 및 그 동작 방법을 제공한다. 이 증발 증착 장치는 증발물질을 수납하는 제1 케비티, 제1 케비티와 연결통로를 통하여 증기를 제공받는 제2 케비티, 및 제2 케비티에 형성되고 증기를 점원(point source)에 의한 방사형으로 토출하는 출구를 포함하고 도전체로 형성된 증발기, 도전체로 형성되고 출구에 연결되고 점점 직경이 증가하는 관통홀을 포함하는 반사 노즐, 반사 노즐 및 증발기를 감싸는 유도 코일, 및 유도 코일에 교류 전력을 인가하는 교류 전원을 포함한다. 유도 코일은 증발기 및 반사 노즐을 유도 가열하여 상기 증발 물질을 증발시키고, 증기는 반사 노즐을 통하여 토출된다.
摘要翻译：本发明提供蒸发沉积装置及其操作方法。蒸发沉积装置包括：蒸发器，其包括构造成接收蒸发材料的第一空腔，被构造成通过第一空腔接收蒸汽的第二腔和连接通道，以及形成在第二空腔中并被配置成径向排出蒸汽的蒸汽具有点源，其中所述蒸发器由导电材料形成; 由导电材料形成的反射喷嘴，其连接到出口，并且包括具有逐渐增加的直径的通孔; 构造成覆盖反射喷嘴和蒸发器的感应线圈; 以及被配置为向所述感应线圈施加AC电力的交流（AC）电源。感应线圈感应加热蒸发器和反射喷嘴以蒸发蒸发材料，蒸汽通过反射喷嘴排出。

4. 发明授权

KR101442409B1 유량조절장치 및 이를 이용한 입자 복합특성 측정장치 有权
标题翻译：用于流量控制和颗粒复合特征测量装置的装置
公开(公告)号：KR101442409B1
公开(公告)日：2014-10-07
申请号：KR1020130043451
申请日：2013-04-19
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 강상우 , 신용현 , 윤주영 , 문지훈 , 김동빈 , 김태성
IPC分类号： G01N15/02 , G01N27/64 , H01J49/26
摘要： A flow rate control device by means of the present invention comprises: a pipe-shaped first member which includes first flange units having the same shape on both ends thereof; a second member which has second flange units corresponding to the first flange unit, is connected with the first member through the surface contact of the first and second flange units, and includes a screw thread unit formed on the outer circumferential surface thereof; an adjusting member which has a female screw unit formed on the inner circumferential surface to be screwed with the screw thread unit and includes one side end which can be inserted into a position contacting the second flange unit; a moving member which is inserted and disposed in the second member and in an internal spatial part of the adjusting member, is roundly moved in an axial direction by being connected with the rotation of the adjusting member, and includes a body connected with one side end of the adjusting means through surface contact and a tip member coupled with a through-hole formed in the center of the second member so as to adjust the passing flow rate of a gas including particles flowing in the internal spatial part; and a third member which is coupled with the end of the moving member in order to be moved along with the moving member and has a third flange unit.
摘要翻译：本发明的流量控制装置包括：管状的第一构件，其包括在其两端具有相同形状的第一凸缘单元; 具有与第一凸缘单元相对应的第二凸缘单元的第二构件通过第一和第二凸缘单元的表面接触与第一构件连接，并且包括形成在其外周表面上的螺纹单元; 调节构件，其具有形成在与所述螺纹单元螺合的内周面上的内螺纹单元，并且包括能够插入到与所述第二凸缘单元接触的位置的一个侧端; 插入并设置在第二构件中和调节构件的内部空间部分中的移动构件通过与调节构件的旋转连接而在轴向方向上圆周地移动，并且包括主体，其与一个侧端调节装置通过表面接触和与形成在第二构件的中心的通孔联接的尖端构件以调节包括在内部空间部分中流动的颗粒的气体的通过流量; 以及与移动构件的端部联接以便与移动构件一起移动并具有第三凸缘单元的第三构件。

5. 发明授权

KR101378293B1 최적유량조절을 위한 입자 복합특성 측정장치 배기 시스템 有权
标题翻译：颗粒复合特性测量装置排气系统优化流量控制
公开(公告)号：KR101378293B1
公开(公告)日：2014-03-28
申请号：KR1020130011029
申请日：2013-01-31
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 강상우 , 신용현 , 김태성 , 문지훈 , 윤주영
IPC分类号： H01J49/26 , H01J49/02
摘要： An exhaust system of a particle complex characteristic measurement device for optimal flow control according to the present invention comprises; a particle focusing unit including an aerodynamic lens; and a first chamber in which one end is connected to the particle focusing unit, the internal pressure is controlled to a medium-vacuum state (1 to 10^(-3) Torr), and a nozzle is formed on the other end. The first chamber accelerates particles which are inserted through the particle focusing unit. The exhaust system of the particle complex characteristic measurement device for optimal flow control also comprises a second chamber in which one end is connected to the nozzle of the first chamber, the internal pressure is controlled to a high-vacuum state (10^(-3) to 10^(-7) Torr), and an electron gun for charging the particles accelerated in the first chamber is installed; a third chamber in which one end is connected to the second chamber and an electrostatic deflection device is installed; and a pump which is connected to the first and second chambers through an exhaust flow path and discharges gas within the first and second chambers to the outside. The electrostatic deflection device classifies particles of a specific size among particles which are charged till saturation in the electron gun by applying a specific voltage to the inner side.
摘要翻译：根据本发明的用于最佳流量控制的颗粒复合特征测量装置的排气系统包括：包括空气动力学透镜的粒子聚焦单元; 和一端与颗粒聚焦单元连接的第一室，将内部压力控制在中等真空状态（1〜10 ^（ - 3）Torr），另一端形成喷嘴。第一室加速通过颗粒聚焦单元插入的颗粒。用于最佳流量控制的颗粒复合特征测量装置的排气系统还包括第二室，其中一端连接到第一室的喷嘴，内压被控制到高真空状态（10 ^（ - 3 ）至10 ^（ - 7）Torr），并且安装用于对在第一室中加速的颗粒进行充电的电子枪; 第三室，其一端连接到第二室，并安装静电偏转装置; 以及泵，其通过排气流路连接到第一和第二室，并将第一和第二室内的气体排出到外部。静电偏转装置通过向内侧施加特定的电压，对电子枪充满直至饱和的粒子中的粒子进行分类。

6. 发明授权

KR101370326B1 증발 증착 장치 有权
标题翻译：蒸发沉积装置
公开(公告)号：KR101370326B1
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：KR1020120086404
申请日：2012-08-07
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 김정형 , 이주인 , 유신재 , 성대진 , 신용현
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/26 , H01L51/50
摘要： 본 발명은 증발 증착 장치를 제공한다. 이 장치는 기판을 포함하는 진공 챔버, 진공 챔버의 외부에 배치되고 증발 물질을 수납하는 도가니, 도가니를 유도 가열하는 제1 유도 코일, 제1 유도 코일에 AC 전력을 인가하는 제1 AC 전원, 도가니에 형성된 제1 개구부와 진공 챔버에 형성된 제2 개구부를 연결하는 도전성 가이드 파이프, 가이드 파이프를 감싸고 가이드 파이프를 유도 가열하는 제2 유도 코일, 및 제2 유도 코일에 AC 전력을 인가하는 제2 AC 전원을 포함한다.
摘要翻译：本发明提供了一种蒸发沉积设备。根据权利要求1的交流电源的用于施加第一感应线圈的设备，交流电源用于加热所述第一感应线圈被设置在真空室的外部，将含有基体和诱导的坩埚，用于容纳蒸发材料的坩埚的真空室中，在坩埚所述第一开口和所述第二感应线圈与导电的导引管连接形成在真空腔室中的第二开口，围绕该引导管感应加热引导管，并且所述第二的第二交流电源施加交流电源至在所形成的感应线圈供给它包括。

7. 发明授权

KR101355817B1 전자기 부양 금속 박막 증착 장치 有权
标题翻译：电磁悬浮金属薄膜沉积装置和电磁悬浮金属薄膜沉积方法
公开(公告)号：KR101355817B1
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：KR1020120074726
申请日：2012-07-09
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 김정형 , 유신재 , 성대진 , 신용현 , 이주인
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/26 , H01L51/50
摘要： 본 발명은 전자기 부양 금속 박막 증착 장치 및 전자기 부양 금속 박막 증착 방법을 제공한다. 이 장치는 플라즈마 생기지 않도록 배기되는 챔버, 챔버에 형성된 관통홀 주위에 장착된 유전체 튜브, 유전체 튜브를 감싸는 전자기 부양 코일, 전자기 부양 코일에 RF 전력을 제공하는 RF 전원, 유전체 튜브가 배치되는 평면보다 낮은 위치에서 챔버의 내부에 배치된 기판 홀더, 및 기판 홀더 상에 배치되는 기판을 포함한다. 전자기 부양 코일은 서로 연속적으로 연결된 상부 전자기 부양 코일과 하부 전자기 부양 코일을 포함하고, 상부 전자기 부양 코일에 흐르는 전류의 방향과 하부 전자기 부양 코일에 흐르는 전류의 방향은 서로 반대이다. 전자기 부양 코일은 유전체 튜브 내부에 배치된 금속 시료를 전자기력을 이용하여 부양하면서 가열하고, 금속 시료는 증발하여 중력 방향으로 이동하여 기판에 금속 박막을 형성한다.

8. 发明授权

KR101353348B1 나노 입자 합성 장치 및 나노 입자 합성 방법 有权
标题翻译：纳米粒子合成装置及纳米粒子合成方法
公开(公告)号：KR101353348B1
公开(公告)日：2014-01-24
申请号：KR1020120041339
申请日：2012-04-20
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 김정형 , 유신재 , 이주인 , 성대진 , 신용현
IPC分类号： B82B3/00 , B01J19/08 , C23C16/515
摘要： 본 발명은 나노 입자 합성 장치 및 나노 입자 합성 방법을 제공한다. 이 나노 입자 합성 장치는 유전체 튜브, 유전체 튜브의 주위에 감긴 전자기 부양 코일, 전자기 부양 코일에 의하여 부양되고 가열되어 증발하고 전자기 부양 코일의 중심 영역에 배치된 도전성 원료 물질, 전자기 부양 코일에 전력을 공급하는 부양 전원, 유전체 튜브의 일단에 배치되고 유전체 튜브 내부에 제1 가스를 공급하는 제1 가스 공급부, 유전체 튜브의 타단에 연결된 공정 챔버, 공정 챔버의 내부에 배치된 RF 전극, 및 RF 전극에 RF 전력을 공급하여 플라즈마를 형성하는 공정 RF 전원을 포함한다. 부양 코일에 의하여 가열된 도전성 원료 물질이 증발하여 생성된 제1 나노입자는 공정 챔버로 이동하여 플라즈마에 의하여 처리된다.

9. 发明授权

KR101352496B1 플라즈마 발생 장치 및 플라즈마 발생 방법 有权
标题翻译：等离子体发生装置和等离子体生成方法
公开(公告)号：KR101352496B1
公开(公告)日：2014-01-24
申请号：KR1020120043580
申请日：2012-04-26
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 유신재 , 김정형 , 장홍영 , 배인식 , 나병근 , 신용현 , 성대진
IPC分类号： H05H1/24 , H05H1/46 , H01L21/205
摘要： 본 발명은 플라즈마 발생 장치 및 플라즈마 발생 방법을 제공한다. 이 플라즈마 발생 장치는 전기적으로 접지된 통 형상의 방전 챔버, 방전 챔버 내에 배치된 적어도 하나의 전자방출 수단, 및 방전 챔버의 중심 영역에 배치되고 양의 제1 전압이 인가된 중심 전극을 포함한다.

10. 发明授权

KR101256051B1 수축성 다공성 물질을 밀봉한 유연한 밀봉재의 내부압력 및 진공도 측정 장치 그리고 그 장치를 이용한 내부압력 및 진공도 측정방법 有权
标题翻译：方法和用于测量内部压力的装置，密封组件的真空包括多孔或弹性材料
公开(公告)号：KR101256051B1
公开(公告)日：2013-04-18
申请号：KR1020110096964
申请日：2011-09-26
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 성대진 , 신용현 , 김정형 , 유신재 , 임인태
IPC分类号： G01N7/00 , G01L17/00
摘要： 수축성 다공성 물질을 밀봉한 유연한 밀봉재 내부의 압력 및 진공도 측정 장치 그리고 그 장치를 이용한 압력 및 진공도 측정방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 수축성 다공성 물질을 밀봉한 유연한 밀봉재의 내부 압력 측정방법에 있어서, 밀폐된 용기 내부공간에 수축성 다공성물질과 상기 수축성 다공성물질을 수축된 상태로 유지시키는 유연한 재질의 포장재를 갖는 제1밀봉재 샘플을 투입하는 단계; 압력조절수단에 의해 상기 용기 내부 압력이 설정된 제1초기압력이 되도록 하는 단계; 절개 수단에 의해 상기 제1밀봉재 샘플을 절개하는 단계; 압력센서가 상기 용기 내부의 제1압력 변화량을 측정하는 단계; 상기 용기에서 상기 제1밀봉재 샘플을 제거하고, 상기 용기의 내부공간에 상기 제1밀봉재 샘플과 동일한 내체적와 내부압력을 갖는 제2밀봉재 샘플을 투입하는 단계; 압력조절수단에 의해 상기 용기 내부 압력이 설정된 제2초기압력이 되도록 하는 단계; 절개 수단에 의해 상기 제2밀봉재 샘플을 절개하는 단계; 압력센서가 상기 용기 내부의 제2압력 변화량을 측정하는 단계; 및 분석수단이 상기 제1압력 변화량 및 상기 제2압력변화량으로부터 상기 제1밀봉재 샘플과 상기 제2밀봉재 샘플의 내부압력 및 내체적을 분석하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 수축성 다공성 물질을 밀봉한 유연한 밀봉재의 내부 압력 측정방법 및 장치에 관한 것이다.

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