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    • 37. 发明授权
    • 비정질 실리콘층의 결정화 방법
    • 非晶硅层的结晶方法
    • KR100573225B1
    • 2006-04-24
    • KR1020030066130
    • 2003-09-24
    • 엘지디스플레이 주식회사
    • 김영주
    • G02F1/136
    • H01L21/02675H01L21/2026H01L21/268H01L23/544H01L27/1285H01L27/1296H01L29/66757H01L29/78675H01L2223/5442H01L2223/54473H01L2924/0002H01L2924/00
    • 본 발명에서는, 불균일한 결정 영역을 감소시키고 공정시간을 단축할 수 있는 비정질 실리콘의 결정화 공정 및 이를 포함하는 스위칭 소자용 반도체층의 제조 방법을 제공하기 위하여, 결정화 공정뿐만 아니라 사진식각 공정용 얼라인 키로 겸용할 수 있는 얼라인 키의 제조 방법 및 이러한 얼라인 키를 이용한 결정화 공정 및 반도체층의 제조 방법을 제공하는 것을 특징으로 하며, 이에 따라 첫째 얼라인 키를 기준으로, 비정질 실리콘층의 결정화 공정을 진행하기 때문에 레이저 빔의 정확한 위치제어를 가능하게 함으로써, 레이저 샷의 오버랩에 의한 불균일성을 해소할 수 있으며, 또한 스위칭 소자 채널 내의 그레인 바운더리 위치제어를 할 수 있기 때문에 소자 특성이 우수한 스위칭 소자 제작이 가능하고, 둘째, 완전 용융 영역대 에너지 밀도보다 큰 에너지 밀도를 가지는 레이저 빔의 조사를 통한 어블레이션(ablation) 반응에 의해 원하는 영역만을 선택적으로 제거하는 방법으로 음각형태의 단차 특성을 가지는 얼라인 키를 제조함으로써, 얼라인 키 제조를 위한 별도의 식각 공정을 생략할 수 있고, 비정질 실리콘층의 선택적 결정화 및 후속 반도체층의 사진식각 공정에 이용할 수 있어, 별도의 사진식각 공정용 얼라인 키 제조 공정을 생략함으로써, 공정수를 줄여 생산수율을 높일 수 있는 장점을 가진다.