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31. 发明公开

KR1020160113286A 스테이지 위치설정 시스템 및 리소그래피 장치 审中-实审
标题翻译：阶段定位系统和平面设备
公开(公告)号：KR1020160113286A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：KR1020167023789
申请日：2015-01-20
申请人： 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
发明人： 안게넨트,빌헬무스헨리쿠스테오도루스마리아 , 코르네이프,루카스프란시스쿠스 , 라윌,테오아네스마리아 , 반덴베르크,스탠리콘스탄트요한네스마르티누스 , 반데르묄른,스탄헨리쿠스 , 반에이크,얀 , 뷜름,피터후베르투스고드프리다 , 반리스하우트,리차드헨리쿠스아드리아누스
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70716 , G03F7/70758 , G03F7/709 , H01L21/68 , G03F7/7075 , G03F7/70825
摘要： 제 1 몸체(20), 제 2 몸체(22), 및제 1 몸체및 제 2 몸체를서로커플링하도록배치되는결합부(24)를포함하는스테이지위치설정시스템(200)이개시된다. 결합부는제 1 몸체및 제 2 몸체를서로커플링하도록배치되는점탄성요소(26)를포함한다. 스테이지위치설정시스템은센서및 액추에이터를더 포함할수 있다. 센서는제 1 몸체의위치를나타내는신호를제공한다. 액추에이터는제 1 몸체를이동시킨다. 제 2 몸체는액추에이터및 결합부를서로커플링하도록배치된다.
摘要翻译：舞台定位系统包括第一主体，第二主体以及将第一主体和第二主体彼此联接的联接器。联接器包括布置成将第一主体和第二主体彼此联接的粘弹元件。舞台定位系统还可以包括传感器，以提供表示第一身体位置的信号。舞台定位系统还可以包括用于移动第一身体的致动器。第二主体可以布置成将致动器和联接器彼此联接。

32. 发明公开

KR1020160111512A 전방측 패터닝에 대한 조정을 결정하기 위한 후방측 기판 텍스처 맵을 발생시키는 시스템 및 방법 审中-实审
标题翻译：用于产生用于确定前侧图案调整的背面基板纹理图案的系统和方法
公开(公告)号：KR1020160111512A
公开(公告)日：2016-09-26
申请号：KR1020167023126
申请日：2015-01-23
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 데빌리어스안톤제이. , 매튜스토드에이. , 로빈슨로드니리
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/67 , H01L21/68
CPC分类号： H01L22/12 , H01L21/67288 , H01L21/68 , H01L22/20 , H01L21/67242
摘要： 본원에개시되는기술은기판의후방측에대해텍스처맵을발생시키기위한방법및 시스템에관한것이다. 텍스처맵은기판의전방측의후속적인프로세싱을위한프로세스조정(예를들어, 포커스의깊이)을결정하기위해사용될수 있다.

33. 发明公开

KR1020160102564A 카세트 위치 결정 장치 및 반도체 처리 장치 审中-实审
标题翻译： CASSETTE定位装置和半导体处理装置
公开(公告)号：KR1020160102564A
公开(公告)日：2016-08-30
申请号：KR1020167020674
申请日：2014-11-27
申请人： 베이징 나우라 마이크로일렉트로닉스 이큅먼트 씨오., 엘티디.
发明人： 리멍 , 장펑강 , 딩페이준 , 자오멍신 , 리우페이페이 , 장웬
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68
CPC分类号： H01L21/67778 , H01L21/67775 , H01L21/67796 , H01L21/6773 , H01L21/68
摘要： 본발명은카세트위치결정장치및 반도체처리장치를제공한다. 상기카세트위치결정장치는수평적으로배치되고승강장치에연결되는위치결정베이스플레이트, 상기위치결정베이스플레이트상에위치되고, 상기위치결정베이스플레이트의일단에회전가능하게연결된일단을갖는회전식위치결정플레이트, 상기회전식위치결정플레이트상에는위치결정조립체가제공되고, 및상기회전식위치결정플레이트아래에배치되는지지기둥을포함한다. 상기지지기둥이상기위치결정베이스플레이트에대해미리설정된최고의위치까지상승하면, 상기회전식위치결정플레이트가상기지지기둥에의해밀어올려지고상기위치결정베이스플레이트에대해기울어지게회전하도록, 상기지지기둥및 상기위치결정베이스플레이트는서로에대해상대적으로수직방향으로이동가능하고, 상기지지기둥이미리설정된최저의위치에위치되면, 상기회전식위치결정플레이트및 상기위치결정베이스플레이트는상기지지기둥상에적층된다. 상기카세트위치결정장치및 상기반도체처리장치에서, 카세트내의모든웨이퍼들의수평방향의위치들은일치되고, 이에따라, 기계암에의해반출되는웨이퍼들은상기기계암 상에서고유하게지정된위치에위치된다.

34. 发明公开

KR1020160075845A 양면에 칩이 장착되는 웨이퍼를 제작하기 위한 방법 无效
标题翻译：用于生产在两个面上配置有晶片的波形的方法
公开(公告)号：KR1020160075845A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：KR1020167016168
申请日：2010-03-31
申请人： 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하
发明人： 부르그라프,쥐르겐 , 빔플링거,마르커스 , 비에스바우어,해럴드
IPC分类号： H01L21/68 , H01L23/31 , H01L21/18
CPC分类号： H01L21/6835 , H01L21/486 , H01L21/561 , H01L23/5384 , H01L24/16 , H01L24/81 , H01L24/97 , H01L25/0652 , H01L25/0657 , H01L25/105 , H01L25/50 , H01L2221/68318 , H01L2221/68331 , H01L2221/68372 , H01L2221/68381 , H01L2221/68386 , H01L2221/6839 , H01L2224/16225 , H01L2224/16235 , H01L2224/81005 , H01L2224/81192 , H01L2224/95001 , H01L2224/97 , H01L2225/06517 , H01L2225/06541 , H01L2225/06572 , H01L2924/01005 , H01L2924/01013 , H01L2924/01033 , H01L2924/01052 , H01L2924/01082 , H01L2924/09701 , H01L2924/12042 , H01L21/68 , H01L21/185 , H01L23/31 , H01L2224/81001 , H01L2224/81 , H01L2924/00
摘要： 본발명은칩(12, 15)이양면에장착되는제품웨이퍼(1)를제작하기위한방법에관한것이며, 상기방법은, 특히, 제품웨이퍼의제 1 면(3)을가공하는단계와, 제품웨이퍼(1)의제 1 면(3)을, 적어도변부에제공되는하나의제 1 접착층(6)으로구성된제 1 중간층(18)을갖는제 1 강성캐리어웨이퍼(8)로접합하는단계와, 상기제 1 면(3)의반대편의제품웨이퍼(1)의제 2 면(2)을가공하는단계, 제품웨이퍼(1)의제 2 면(2)을, 적어도변부측에제공되는하나의제 2 접착층(14)으로구성된제 2 중간층(17)을갖는제 2 강성캐리어웨이퍼(13)로접합하는단계를포함하며, 제 2 캐리어웨이퍼(13)보다먼저제 1 캐리어웨이퍼(8)가선택적으로분리될수 있도록제 1 중간층(18)과제 2 중간층(17)은상이하게만들어진다.

35. 发明授权

KR101633218B1 로딩 챔버와 얼라인 챔버가 통합된 증착 시스템 有权
标题翻译：具有加载室和对齐室的沉积系统集成
公开(公告)号：KR101633218B1
公开(公告)日：2016-06-23
申请号：KR1020150033366
申请日：2015-03-10
申请人： 주식회사 야스
发明人： 김정용 , 전옥철 , 최상규 , 정하경 , 최규황 , 박광수 , 최명운 , 정광호
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67739 , H01L21/02104 , H01L21/68
摘要： 본발명은, 기판의로딩과기판/마스크얼라인을하나의통합된챔버에서한꺼번에실시할수 있도록통합챔버를구성하였다. 즉, 마스크가대기하던버퍼 1 챔버/로딩챔버/얼라인챔버사이에있던게이트밸브들을모두없애이들을하나의통합된챔버로구성하고, 두장의기판을동시에나란히탑재하여이송할수 있는더블셔틀를제공하여, 더블셔틀의한편에는, 회수라인으로부터챔버안으로마스크와척 플레이트가반입되면마스크와척 플레이트를받아탑재하고, 더블셔틀의다른한편에는증착라인으로가기위한기판을로딩하여마스크와얼라인하도록하였다. 상기더블셔틀는기판로딩및 얼라인해야할척 플레이트/마스크와증착라인으로반송될준비가완료된, 척플레이트/기판/마스크를동시에탑재하여전진함으로써종래 3개의챔버에서각각공정을실시하며한 챔버씩 박자를맞추어옮겨가던공정을하나의통합챔버에서한 박자동안실시하고한 박자에해당하는거리를옮겨감으로써완성한다.
摘要翻译：根据本发明，一体化室被配置为使得在一体化室中同时进行基板的加载和基板与掩模的对准。也就是说，同时容纳掩模的掩模备用的缓冲器1室，装载室和对准室通过去除其间的所有闸阀而被集成到一个集成的腔室中。提供双梭，其能够以同时装载两个基板以彼此平行的状态转移两个基板。当掩模和卡盘从收集线携带在腔室中时，掩模和卡盘板装载在双梭的一侧。朝向沉积线移动的基板被装载在双梭的另一侧上并与掩模对准。由于双梭同时装载要加载的基板，卡盘板/待对准的掩模和卡盘板/基板/要传送到沉积管线的掩模，并且传送基板，卡盘板，并且在一个间隔的一个整体室中执行在一个节拍的间隔中在现有三个室中执行的掩模，处理，并且以对应于一个拍子的距离的间隔完成。

36. 发明公开

KR1020160060086A 물품의 지지 장치 및 지지 장치에의 2 종류의 물품의 재치 방법 有权
标题翻译： 2在支持设备上安装两种类型的文章支持设备和方法
公开(公告)号：KR1020160060086A
公开(公告)日：2016-05-27
申请号：KR1020167010049
申请日：2014-07-17
申请人： 무라다기카이가부시끼가이샤
发明人： 오고하루키 , 이토야스히사
IPC分类号： H01L21/673 , B65G1/04 , H01L21/677 , H01L21/68
CPC分类号： F16M13/02 , H01L21/67379 , H01L21/67769 , H01L21/67775 , H01L21/68 , H01L21/6875 , H01L21/68771
摘要： 크기가상이한 2 종류의물품을, 모두위치결정하여재치할수 있는지지장치를제공한다. 제 1 물품(20)과, 제 1 물품(20)보다저부가큰 제 2 물품(30)을지지장치의재치면에재치한다. 재치면으로부터돌출되고, 제 1 물품(20)의저부를위치결정하는제 1 위치결정부재(10)와, 재치면으로부터돌출되고, 제 2 물품(30)을위치결정하는제 2 위치결정부재(12)를마련한다. 제 1 위치결정부재(10)는, 제 2 위치결정부재(12)에의해제 2 물품(30)을재치면상에위치결정할시, 제 2 물품(30)과간섭하지않는위치에배치되고, 제 2 위치결정부재(12)는, 제 1 위치결정부재(10)에의해제 1 물품(20)을재치면상에위치결정할시, 제 1 물품(20)과간섭하지않는위치에배치되어있다.
摘要翻译：提供了一种支撑装置，其上定位和放置尺寸不同的两种类型的物品。具有比第一制品的底部更大的底部的第一制品和第二制品将被放置在支撑装置的放置表面上。设置从放置面突出的第一定位构件，用于定位第一制品的底部;以及第二定位构件，其从放置表面突出以定位第二制品。第一定位构件布置在当第二制品通过第二定位构件定位在放置表面上时与第二制品的干涉被阻止的位置，并且第二定位构件布置在与第一制品的干涉当第一物品通过第一定位构件定位在放置表面上时防止。

37. 发明公开

KR1020160032208A 반도체 웨이퍼 레벨링, 힘 밸런싱 및 접촉 감지를 위한 장치 및 방법 审中-实审
标题翻译：半导体波浪平衡，力平衡和接触感应的装置和方法
公开(公告)号：KR1020160032208A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：KR1020167003932
申请日：2014-07-16
申请人： 수스 마이크로텍 리소그라피 게엠바하
发明人： 욘손,할레 , 게오르게,그레고리 , 브렌넨,미하엘
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/687 , H01L21/66 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/68 , H01L21/67092 , H01L21/6831 , H01L21/6833 , Y10T279/23
摘要： 웨이퍼접합기장치는하부척, 상부척, 프로세스챔버및 3 개의조절메커니즘들을포함한다. 3 개의조절메커니즘들은서로로부터이격되어정상리드주위에배열되고프로세스챔버의외측에위치된다. 각각의조절메커니즘은상부척에대한접촉을감지하기위한구성요소, 상부척의사전로드힘을조절하기위한구성요소및 상부척을레벨링하기위한구성요소를포함한다.

38. 发明公开

KR1020160030329A 마이크로 위치결정 시스템을 갖는 급속 열처리 챔버 审中-实审
标题翻译：具有微型定位系统的快速热处理室
公开(公告)号：KR1020160030329A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：KR1020167005275
申请日：2009-11-05
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 소라브지,쿠르쉬드 , 라니쉬,조셉엠. , 아더홀드,볼프강 , 헌터,아론엠. , 코엘멜,블라크알. , 러너,알렉산더엔. , 메리,니어
IPC分类号： H01L21/324 , H01L21/67 , H01L21/68 , H01L21/687 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/67259 , C23C16/46 , H01L21/324 , H01L21/67115 , H01L21/68 , H01L21/681 , H01L21/6835 , H01L21/68742
摘要： 기판과기판지지부를동축으로정렬하는것, 또는경험적으로결정된위치를가지는평판형기판의급속열처리를위한방법및 장치가개시된다. 방법및 장치는기판및 기판지지부의상대적방향을결정하는센서시스템을포함하는장치및 방법을포함한다.
摘要翻译：公开了一种用于同轴对准衬底和衬底支撑件或者用于具有凭经验确定的位置的平面衬底的快速热处理的方法和设备。该方法和设备包括一种设备和方法，该设备和方法包括确定衬底和衬底支撑件的相对定向的传感器系统。

39. 发明公开

KR1020160030143A 기판 반송 장치, 기판 반송 방법 및 그 기판 반송 방법을 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 기록 매체 有权
标题翻译：基板传送装置，基板传送方法和具有用于执行基板传送方法的记录程序的记录介质
公开(公告)号：KR1020160030143A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：KR1020160022561
申请日：2016-02-25
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 하야시도쿠타료 , 사카구치기미나리
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/66 , H01L21/68 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/681 , H01L21/68
摘要： 본발명은, 기판의주연부에절결이있는기판을포크에의해유지하고, 반송할때에, 기판위치의어긋남량을정밀도좋게검출할수 있어, 그어긋남량을용이하게보정할수 있고, 포크의상태를동시에확인하여보정할수 있는기판반송장치를제공하는것을과제로한다. 베이스와, 베이스로부터진퇴가능하게설치되고, 기판(W)을유지하는유지부(3A)와, 유지부(3A)가기판(W)을유지한상태에서후퇴했을때에, 유지부(3A)가유지하고있는기판(W)의주연부의위치를, 각각상이한위치에서검출하는 4개이상의검출부(5)와, 검출부(5)가주연부의위치를검출한검출값에기초하여, 검출부(5) 중어느것이기판(W)의주연부의절결이형성된부분(WN)을검출했는지여부를판정하여, 하나의검출부(5)가절결이형성된부분(WN)을검출했다고판정했을때에, 하나의검출부(5) 이외의 3개의검출부(5)의검출값에기초하여, 다음처리유닛에반송할때에처리유닛의기판(W)의전달위치에보정하는, 제어부를갖는다.
摘要翻译：本发明的目的在于提供一种基板输送装置，其能够通过叉子在基板的边缘单元上保持具有切口的基板，并且高精度地检测基板位置偏差，以便在传送基板时容易地校正偏差，并且可以同时检查叉子的状态并进行更正。本发明的装置包括：基座; 保持单元（3A），其能够朝向或远离所述基座移动以维持基板（W）; 四个或更多个检测单元（5），用于在保持单元（3A）在保持基板（W）的同时向后移动时，检测由维护单元（3A）维持的基板（W）的边缘单元的位置在不同位置处; 以及控制单元，用于基于由检测单元（5）检测到的检测值，确定检测单元（5）中的哪一个检测到基板（W）的边缘单元的切口部分（WN）边缘单元的位置，并且基于除了一个检测单元以外的三个检测单元（5）的检测值，将处理单元的基板（W）的传送位置修正到下一次的处理单元 5）当确定一个检测单元（5）检测到形成切口的部分（WN）时。

40. 发明授权

KR101599086B1 기판 위치 결정 장치, 기판 처리 장치, 기판 위치 결정 방법, 및 프로그램을 기록한 기억 매체 有权
标题翻译：用于确定用于处理基板的基板设备的位置的装置用于确定基板和存储介质记录程序的位置的方法
公开(公告)号：KR101599086B1
公开(公告)日：2016-03-14
申请号：KR1020110032787
申请日：2011-04-08
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 아마노요시후미
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/68 , H01L21/67046 , H01L21/67051
摘要： 본발명은회전축에대하여원형기판의중심의위치결정을정확하게행할수 있는기판위치결정장치를제공한다. 기판의위치결정을행하기위한기판위치결정장치에있어서, 기판배치부와, 상기기판의측면에접촉하는제1 기준부를갖는제1 위치결정기구부와, 상기기판의측면에접촉하는제2 기준부를갖는제2 위치결정기구부와, 상기제1 위치결정기구부를구동시키는제1 구동부와, 상기제1 구동부를제어하는제어부를가지고, 상기제2 기준부는, 상기기판과접촉부에서접촉하는것으로서, 상기접촉부에대하여상기구동부의이동방향으로힘을가할수 있는탄성부와, 상기위치결정기구부의위치정보를검출하기위한검출부를갖는것을특징으로하는기판위치결정장치를제공함으로써상기과제를해결한다.

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