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1. 发明授权

KR101917050B1 노광 장치, 노광 방법, 및 디바이스 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101917050B1
公开(公告)日：2018-11-08
申请号：KR1020177018815
申请日：2010-08-24
申请人： 가부시키가이샤 니콘
发明人： 시바자키유이치
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70108 , G03F7/70058 , G03F7/70191 , G03F7/70516 , G03F7/70725 , G03F7/70758 , G03F7/70775 , G03F7/70975 , G03F9/70 , G03F9/7046 , Y10T29/49004
摘要： 노광장치는투영광학계 (PL) 바로아래의영역을제외하는웨이퍼스테이지 (WST1) 의이동범위를커버하는스케일판 (21) 에, 웨이퍼스테이지 (WST1) 상에탑재된 4 개의헤드 (60~ 60) 를사용하여계측빔을조사하는것에의해, 웨이퍼스테이지 (WST1) 의위치정보를계측하는인코더시스템을구비하고있다. 여기서, 헤드 (60~ 60) 의배치간격 (A, B) 는각각스케일판 (21) 의개구의폭 (ai, bi) 보다크게정해진다. 이것에의해, 웨이퍼스테이지의위치에따라 4 개의헤드중으로부터스테일판에대향하는 3 개의헤드를스위칭하여사용하는것에의해, 웨이퍼스테이지의위치정보를계측하는것이가능하게된다.

2. 发明授权

KR101896206B1 기판 처리 장치, 처리 장치 및 디바이스 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101896206B1
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：KR1020177031689
申请日：2013-03-08
申请人： 가부시키가이샤 니콘
发明人： 가토마사키 , 기우치도루
IPC分类号： G03F7/24 , G03F9/00 , H01L21/68 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70366 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/24 , G03F7/42 , G03F7/70 , G03F7/70641 , G03F7/70758 , G03F7/70775 , G03F7/70791 , G03F9/00
摘要： 기판처리장치는, 소정의중심선(AX2)으로부터일정반경으로만곡한원통모양의지지면을가지며, 기판(P)을기판의장척방향으로보내는회전원통부재(DR)와, 기판의일부분의특정위치(PA, EL2)에서, 기판에소정의처리를실시하는처리기구와, 회전원통부재의지지면의둘레방향의위치변화, 또는회전원통부재의중심선의방향의위치변화를계측하기위해, 회전원통부재와함께중심선의둘레로회전함과아울러, 고리모양으로새겨마련된스케일부(GP)를가지는스케일부재(SD)와, 스케일부와대향함과아울러, 중심선으로부터보아특정위치와거의동일방향으로배치되어, 스케일부를판독하는판독기구(EN1, EN2)를구비한다.

3. 发明授权

KR101874306B1 포토공정 트랙장비용 웨이퍼 주변노광 시스템 有权
公开(公告)号：KR101874306B1
公开(公告)日：2018-07-05
申请号：KR1020160183184
申请日：2016-12-30
申请人： 주식회사 인피테크
发明人： 배일수 , 김명진 , 전상철
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70725 , G03F7/2004 , G03F7/70758 , G03F7/70775 , G03F7/70841
摘要： 본발명은반도체포토공정에사용되는트랙장비에용이하게장착하여다양한크기와모양의웨이퍼에대하여주변노광이가능하도록통합제어가가능한포토공정트랙장비용웨이퍼주변노광시스템에관한것으로서, 웨이퍼가삽입및 장착되며, UV LED광원장치가장착되는상부; 상기웨이퍼의 X, Y,축수평조정과이동및 회전을위한다수의구동축과, X, Y,축을구동하는모터와드라이버및 상기웨이퍼의주변노광을위해챔버내부를진공으로만드는진공유닛이장착되는중앙부; 및상기광원장치를비롯한각종구동유닛을제어하는컨트롤러가장착되는하부;로구성되는통합스테이지모듈로구현함으로써, 웨이퍼주변노광시스템이최적화된크기로구현이가능하므로모듈의장착을위해필요한스페이스를감소시키고, 이에따라포토공정트랙장비에용이하게장착이가능하며, UV LED광원장치뿐만아니라, 웨이퍼가스테이지내부로로딩된후 웨이퍼의주변노광에필요한위치조정및 회전에필요한모터와드라이버를모두장착하고있으므로, 트랙장비에서특히노후가빠르고단종된모터들도새로운구동장치로대체할수 있는포토공정트랙장비용웨이퍼주변노광시스템을제공한다.

4. 发明授权

KR101870323B1 리소그래피 스테이지 및 수직 위치 초기화 방법 有权
公开(公告)号：KR101870323B1
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：KR1020167025728
申请日：2015-02-12
申请人： 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드
发明人： 리아오,페이홍 , 주,웨빈 , 지아,헤일리 , 후,슈핑
IPC分类号： G03F7/20 , G03F9/00
CPC分类号： G03F7/70725 , G03F7/70758 , G03F7/70775 , G03F7/70816
摘要： 리소그래피스테이지를위한마이크로모션모듈은, 베이스(201); 마이크로모션보드(210); 상기베이스및 마이크로모션보드사이에고정되는복수개의수직모터(203); 일단이상기베이스상에고정되고, 타단이상기마이크로모션보드를지지하기위한복수개의중력보상기(202); 마이크로모션보드의절대위치를측정하고, 측정해낸 절대위치에근거하여상기복수개의중력보상기의압력을조절하여, 마이크로모션보드의절대위치를기설정된수직초기위치로조절하는복수개의절대위치센서(205, 211); 및베이스및 마이크로모션보드사이의상대위치를측정하기위한복수개의상대위치센서(204, 207)를포함하고, 상기복수개의수직모터는측정해낸 상대위치에근거하여마이크로모션보드를상대제로비트로이동하도록제어한다.

5. 发明公开

KR20180043759A 스테이지 장치 및 그 구동 방법 审中-公开
公开(公告)号：KR20180043759A
公开(公告)日：2018-04-30
申请号：KR20180008567
申请日：2018-01-24
申请人： CANON KK
发明人： TERAO TSUTOMU
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70758 , G03F7/70725
摘要： 본발명에따르면, 미리정해진스트로크에의해이동가능하도록구성된제1 스테이지와; 상기제1 스테이지상에서, 상기제1 스테이지의스트로크보다짧은스트로크에의해이동가능하도록구성된제2 스테이지와; 상기제1 스테이지의가속시에, 상기제1 스테이지에대한상기제2 스테이지의상대위치가상기제1 스테이지의이동방향으로오프셋되는한편, 상기제1 스테이지의감속시에, 상기제1 스테이지에대한상기제2 스테이지의상대위치가상기제1 스테이지의이동방향에대향하는방향으로오프셋되도록, 상기제1 스테이지에대해상기제2 스테이지의상대위치를변화시키는제1 구동유닛, 또는상기제1 스테이지의위치를변화시키는제2 구동유닛을제어하도록구성된컨트롤러를포함하는, 스테이지장치가제공된다.

6. 发明公开

KR1020170124648A 기판 처리 장치, 처리 장치 및 디바이스 제조 방법 审中-实审
标题翻译：基板处理装置，处理装置及装置制造方法
公开(公告)号：KR1020170124648A
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：KR1020177031689
申请日：2013-03-08
申请人： 가부시키가이샤 니콘
发明人： 가토마사키 , 기우치도루
IPC分类号： G03F7/24 , G03F9/00 , H01L21/68 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70366 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/24 , G03F7/42 , G03F7/70 , G03F7/70641 , G03F7/70758 , G03F7/70775 , G03F7/70791 , G03F9/00 , H01L21/027 , H01L21/68
摘要： 기판처리장치는, 소정의중심선(AX2)으로부터일정반경으로만곡한원통모양의지지면을가지며, 기판(P)을기판의장척방향으로보내는회전원통부재(DR)와, 기판의일부분의특정위치(PA, EL2)에서, 기판에소정의처리를실시하는처리기구와, 회전원통부재의지지면의둘레방향의위치변화, 또는회전원통부재의중심선의방향의위치변화를계측하기위해, 회전원통부재와함께중심선의둘레로회전함과아울러, 고리모양으로새겨마련된스케일부(GP)를가지는스케일부재(SD)와, 스케일부와대향함과아울러, 중심선으로부터보아특정위치와거의동일방향으로배치되어, 스케일부를판독하는판독기구(EN1, EN2)를구비한다.
摘要翻译：一种基板处理装置，具有圆筒形形状将当在从规定的中心线（AX2）的预定半径弯曲，并且在旋转的圆柱形构件（DR）发送一个基板（P）与所述衬底的细长方向，在基板的一部分中的特定位置（ PA，EL2）中，连同，筒状部件，以便测量旋转预定经受加工处理机构，以及一个旋转的圆柱形构件将当在圆周方向上的位置变化，或旋转衬底的bujaeui中心线的方向的圆筒状的位置变化也转动圆的中心线，并在同一时间，具有标部分（GP）的标尺部件（SD）为环形形状只要内切，从部分和相对的框，并在同一时间观察刻度，中心线布置在大致相同的方向和特定的位置，尺寸读取部件的读取机制（EN1，EN2）。

7. 发明公开

KR1020170105578A 리소그래피 시스템 내에 구성요소를 유지하기 위한 조립체 및 리소그래피 시스템 审中-实审
标题翻译：用于保持光刻系统和光刻系统内组件的组件
公开(公告)号：KR1020170105578A
公开(公告)日：2017-09-19
申请号：KR1020177022895
申请日：2016-01-15
申请人： 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하
发明人： 베셀링흐야스퍼
IPC分类号： G03F7/20 , G02B7/02 , G02B7/182
CPC分类号： G03F7/70825 , G02B7/182 , G02B7/1822 , G02B7/023 , G03F7/70758
摘要： 본발명은리소그래피시스템(100) 내에구성요소(M6)를장착하기위한조립체(200)에관한것으로서, 이조립체는구성요소(M6)에보상력을인가하기위한하중력보상디바이스(202) 및조정디바이스(400)를포함한다. 하중력보상디바이스(202)는구성요소(M6) 상에작용하는하중력을적어도부분적으로보상한다. 보상력을조정하기위한적어도하나의조정디바이스(400)는제1 자석(500)을포함하고, 이는설정가능한영구자화를갖는제1 자석(500) 및제1 자석(500)의영구자화를설정하기위한디바이스(510)를갖는다.
摘要翻译：本发明涉及用于将部件M6安装在光刻系统100中的组件200，该光刻系统100包括用于在部件M6上施加力的负载补偿装置202，它包括400。负载重力补偿装置202至少部分地补偿作用在部件M6上的负载。包括至少一个调节装置，用于调节一个补偿力，400 neunje第一磁体（500），其用于建立所述第一磁体500 mitje第一磁体500的磁化永久具有可配置永久磁化设备510。

8. 发明授权

KR101753075B1 자외선 레이저다이오드를 이용한 스캔형 노광장치 有权
标题翻译：使用紫外激光二极管的扫描型曝光装置
公开(公告)号：KR101753075B1
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：KR1020160058678
申请日：2016-05-13
申请人： 이원식 , 조진혁
发明人： 이원식 , 조진혁
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/2004 , G03F7/2053 , G03F7/70075 , G03F7/70275 , G03F7/704 , G03F7/70758
摘要： 본발명은자외선레이저다이오드를이용하여대면적기판에 1㎛이하선 폭의패턴을감광할수 있어서스캔광원을크게하고장비를크게구성하여대단히큰 면적도고도의미세패턴으로제품생산이가능한자외선레이저다이오드를이용한스캔형노광장치에관한것으로서, 본발명에따른자외선레이저다이오드를이용한스캔형노광장치는, 자외선레이저를발진하는레이저발진장치; 상기레이저발진장치의전방에설치되며, 상기자외선레이저를초점을형상하도록집속하는빔 집속부; 상기빔 집속부전방에회전가능하게설치되며, 상기자외선레이저를일정한범위내에조사되는선광원으로변환하는스캔모듈; 상기스캔모듈상측에설치되며, 상기스캔모듈에서선광원으로조사되는자외선레이저를하측으로조사되는평행광으로변환하는평행광변환부; 상기평행광변환부하측에설치되며, 노광이진행될기판과마스크가설치되는기판설치지그; 상기기판설치지그의하부에결합되어설치되며, 상기기판설치지그를상기평행광변환부에의하여조사되는선광원의길이방향과수직되는방향으로수평이동시키는수평이동부;를포함한다.
摘要翻译：本发明是一种紫外线激光二极管可以使用UV激光二极管光源是在感光腮腺宽度的1㎛到该大面积基板的图案和显著增加扫描配置非常大的面积，即使在高精细的图案用于制造在设备本发明涉及一种使用紫外激光二极管的扫描型曝光设备，更具体地涉及一种使用紫外激光二极管的扫描型曝光设备，光束聚焦单元安装在激光振荡器的前方并聚焦以聚焦紫外激光束; 扫描模块，可旋转地安装在光束聚焦子腔室中并将紫外激光转换成在预定范围内照射的线性光源; 平行光转换器，安装在扫描模块上并将从扫描模块照射的紫外激光转换为平行光以向下照射; 基板安装夹具，设置在所述平行光转换负载侧上并具有基板和待曝光的掩模; 所述衬底的所述水平运动seolchiji其下端安装并耦合到在方向的水平垂直于所述线光源的长度方向由一个平行光束转换单元，其中，所述基板安装夹具东方照射;包括。

9. 发明授权

KR101716267B1 리소그래피 장치 및 디바이스 제조 방법 有权
标题翻译： LITHOGRAPHIC装置和装置制造方法
公开(公告)号：KR101716267B1
公开(公告)日：2017-03-14
申请号：KR1020157007140
申请日：2013-08-15
申请人： 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
发明人： 콕스,헨리쿠스헤어만마리에 , 히렌,마르크마르쿠스게라르두스 , 헤이만스,피터미하엘실베스터마리아 , 벨텐,야콥얀 , 반데레이트,요한네스후베르투스안토니우스 , 기렌,고드프리드카타리나후베르투스프란시스쿠스 , 케츠라우드,압델하미드
IPC分类号： G03F7/20 , H02K9/22 , H02K41/035
CPC分类号： G03F9/7096 , G03F7/70758 , G03F2009/005 , H02K1/06 , H02K9/22 , H02K41/035 , H02K41/0356 , H02K2201/18 , H02K2213/03 , H02K2213/12
摘要： 전자기액추에이터가개시되며, 상기전자기액추에이터는, 코일(355)을포함하는코일조립체(350); 제 1 및제 2 자석유닛(360, 370)을포함하는자석조립체 - 각각의자석유닛은자기요크(365, 375) 및상기자기요크에장착된복수의영구자석들(366, 376)을포함하고, 상기제 1 및제 2 자석유닛은상기코일조립체를수용하는자기회로를형성하며, 상기코일의가동시 제 1 방향으로힘을생성함 -; 및상기자석유닛들을유지하는홀더(600)를포함하고, 상기코일조립체에대한상기자석조립체의중량비는, 전력에대한힘의비가최대화될때 상기코일조립체에대한상기자석조립체의중량비보다작다.
摘要翻译：电磁致动器包括：线圈组件，其包括线圈; 包括第一和第二磁体单元的磁体组件，每个磁体单元包括磁轭和安装在磁轭上的多个永磁体，第一和第二磁体单元形成用于接收线圈组件的磁路，并且在通电时所述线圈在第一方向上产生力; 以及用于保持磁体单元的保持器，其中当电力上的力比达到最大时，磁体组件在线圈组件上的重量比小于线圈组件上的磁体组件的重量比。

10. 发明授权

KR101707294B1 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 有权
标题翻译：曝光装置和装置制造方法
公开(公告)号：KR101707294B1
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：KR1020147032263
申请日：2005-03-23
申请人： 가부시키가이샤 니콘
发明人： 하라히데아키
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70341 , G03B27/42 , G03F7/2041 , G03F7/70325 , G03F7/70758 , G03F7/70833 , G03F7/709
摘要： 액체의공급및 회수를소망상태에서행할수 있고, 기판상에투영되는패턴이미지의열화를억제할수 있는노광장치를제공한다. 노광장치는, 액체(LQ) 를공급하는공급구 (12) 및액체 (LQ) 를회수하는회수구 (22) 를갖는노즐부재 (70) 와, 메인칼럼 (1) 의하측단부 (7) 에대하여노즐부재 (70) 를방진지지하는방진기구 (60) 를구비하고있다.
摘要翻译：本发明提供一种曝光装置，其能够在期望的状态下进行液体的供给和回收，抑制投影到基板上的图案图像的劣化。该曝光装置具有喷嘴构件70，该喷嘴构件70具有用于供给液体LQ的供给口12和回收液体LQ的回收口22以及位于主柱1的下端7的喷嘴构件70 （60），用于支撑喷嘴构件（70）以防止振动。

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