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31. 发明公开

KR1020090048641A 전자 칼럼용 모셔닝 장치 有权
标题翻译：电子管运动设备
公开(公告)号：KR1020090048641A
公开(公告)日：2009-05-14
申请号：KR1020097005965
申请日：2005-09-01
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭 , 김병진
IPC分类号： H01J37/04
CPC分类号： H01J37/04 , G11B7/261 , H01J2237/0245 , H01J2237/04924 , H01J2237/1205 , H01J2237/1503 , H01J2237/2817 , H01J2237/3175
摘要： 본 발명은 전자빔을 방출하는 전자 칼럼과 상기 전자빔이 쏘여지는 시료간에 상대운동을 하는 모셔닝 장치를 제공한다. 본 발명에 따른 모셔닝 장치는 시료에 전자빔을 방출하는 멀티 마이크로 칼럼; 상기 마이크로 칼럼을 지지하는 지지부; 및 상기 지지대를 움직여 상기 마이크로 칼럼이 이동시키는 운반 수단;을 포함한다.

32. 发明授权

KR100896295B1 마이크로칼럼을 이용한 포터블 전자현미경 有权
标题翻译：便携式电子显微镜使用微柱
公开(公告)号：KR100896295B1
公开(公告)日：2009-05-07
申请号：KR1020077004925
申请日：2005-09-01
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭 , 김병진
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/147
CPC分类号： H01J37/28 , G01N23/04 , H01J37/04 , H01J37/185 , H01J2237/0245 , H01J2237/04924 , H01J2237/1205 , H01J2237/1503 , H01J2237/1825 , H01J2237/188 , H01J2237/204
摘要： 본 발명은 마이크로칼럼을 이용한 포터블 전자현미경에 관한 것이다.
본 발명에 따른 포터블 전자현미경은, 마이크로칼럼; 저 진공용 메카니컬 펌프; 고 진공용 터보 펌브; 초 고 진공용 아이언 펌프(ion pump); 마이크로칼럼 및 측정 대상 시료가 수용 고정되며 상기 펌프들에 의해 진공이 만들어지는 제1 챔버; 콘트롤러; 및 상기 펌프들, 상기 챔버, 및 상기 콘트롤러를 수용하는 케이스;를 포함한다.

33. 发明公开

KR1020080077075A 멀티 에스에프이디 无效
标题翻译：多扫描场发射显示
公开(公告)号：KR1020080077075A
公开(公告)日：2008-08-21
申请号：KR1020080074749
申请日：2008-07-30
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭 , 김병진
IPC分类号： H01J1/30 , H01J29/52
摘要： A multi SFED(Scanning Field Emission Display) is provided to lower an operating voltage and to reduce power consumption by using a module for deflecting an electron beam. An electron emission source(10) emits an electron beam. A module(20) induces the emission of the electron beam from the electron emission source and deflects the electron beam. The electron emission source and the module configure an SFED. The module includes an extractor(21) for inducing the emission of the electron beam from the electron emission source, a control electrode(22) for accelerating the electron beam, a deflector(23) for deflecting the electron beam. The module is configured with a deflector. A multi SFED is configured with a unit SFED of n X m matrices. A picture unit includes a fluorescent unit on which an image is implemented by an electron beam emitted from the SFED.
摘要翻译：提供多重SFED（扫描场发射显示）以通过使用用于偏转电子束的模块来降低工作电压并降低功耗。电子发射源（10）发射电子束。模块（20）诱导从电子发射源发射电子束并偏转电子束。电子发射源和模块配置SFED。该模块包括用于诱导从电子发射源发射电子束的提取器（21），用于加速电子束的控制电极（22），用于偏转电子束的偏转器（23）。模块配置有偏转器。多SFED配置有n×m矩阵的单位SFED。图像单元包括其上通过从SFED发射的电子束来实现图像的荧光单元。

34. 发明公开

KR1020080043768A 마이크로칼럼을 이용한 미세 패턴 및 형상 검사장치 无效
标题翻译：使用微波炉的精细图案和形态检查设备
公开(公告)号：KR1020080043768A
公开(公告)日：2008-05-19
申请号：KR1020087002543
申请日：2006-07-31
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭
IPC分类号： G02F1/13
CPC分类号： G09G3/006 , G02F1/1303 , G02F1/1309 , G02F2001/136254 , G02F2203/69 , G09G3/3648 , H01J37/28 , H01J2237/2817
摘要： An apparatus for inspecting the fine pattern and morphology by using a micro-column is provided to inspect the driving manner of a small-sized circuit, thereby performing the precise inspection and repair. Micro-columns are inserted into a holder(2). Four micro-columns are connected with two X-direction shafts(11) by a connection member(12). The X-direction shaft moves the micro-columns linearly toward the X-direction by a driving member(10). The micro-columns are connected with a shaft(21) of another support member(20). When the support member is moved linearly along the Y-direction shaft(22) by a separate driving member, the micro-columns are also moved linearly toward the vertical direction of the shaft. When the micro-columns are connected with the connection member vertically, the movement of the micro-columns is changed variably. An electronic detection member is attached or inserted to the holder or a housing of micro-columns.
摘要翻译：提供了一种通过使用微型柱检查精细图案和形态的装置，以检查小型电路的驱动方式，从而进行精确的检查和修理。微柱插入支架（2）中。四个微型柱通过连接构件（12）与两个X方向轴（11）连接。 X方向轴通过驱动构件（10）使微型柱体向X方向线性移动。微型柱与另一支撑构件（20）的轴（21）连接。当支撑构件通过单独的驱动构件沿Y方向轴（22）线性移动时，微柱也沿着轴的垂直方向线性移动。当微柱垂直与连接构件连接时，微柱的移动可变地变化。电子检测部件被安装或插入到支架或微柱的壳体中。

35. 发明公开

KR1020080032195A 전자 칼럼용 디텍터 및 디텍팅 방법 无效
标题翻译：电子探针检测器及检测电子束电子的方法
公开(公告)号：KR1020080032195A
公开(公告)日：2008-04-14
申请号：KR1020087003771
申请日：2006-08-18
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/244 , H01J37/147
CPC分类号： H01J37/244 , H01J2237/2444
摘要： A detector for an electron column and a detecting method thereof are provided to directly detect the electrons from the sample by using a wire which is formed on a sample. Electrons emitted from an electron emission source are converted into an electron beam in a shape given by a source lens, and then the beam is deflected by a deflector and finally focused on a sample by a focus lens. A detector(20) detects electrons resulting from collision of the electron beam on the sample as well as secondary electrons from the sample. While the electrons are moving from the sample, the electric current produced by the electrons hitting the detector is analyzed.
摘要翻译：提供了一种用于电子束的检测器及其检测方法，通过使用形成在样品上的导线直接检测来自样品的电子。从电子发射源发射的电子被转换为由源透镜给出的形状的电子束，然后光束被偏转器偏转，最后通过聚焦透镜聚焦在样品上。检测器（20）检测由样品上的电子束碰撞产生的电子以及来自样品的二次电子。当电子从样品移动时，分析由击中检测器的电子产生的电流。

36. 发明授权

KR100533444B1 마이크로칼럼의 렌즈조립체 제조 방법 및 그 방법에 의해제작된 렌즈 조립체 有权
标题翻译：用于制造微波镜的镜头组件的方法和由其制造的微孔的镜头组件
公开(公告)号：KR100533444B1
公开(公告)日：2005-12-05
申请号：KR1020030051474
申请日：2003-07-25
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭
IPC分类号： H01J37/26
CPC分类号： H01J37/12 , H01J9/18 , H01J37/28 , H01J2237/1205 , H01J2237/31774
摘要： 본 발명에 따라 복수의 마이크로렌즈와, 상기 다수의 마이크로렌즈 사이에 각각 삽입된 복수의 절연층이 적층되어 형성된 마이크로칼럼의 렌즈조립체를 제작하는 방법은, 마이크로렌즈와 절연층이 평판전극을 통해 접촉 고정되어 양극본딩된 마이크로렌즈조립세트를 형성하고, 이러한 마이크로렌즈조립세트를 적층하며, 적층된 마이크로렌즈조립세트를 고정 결합하기 위해 레이저를 사용하여 스폿 본딩을 실시하는 것이다. 이렇게 스폿본딩에 의해 결합되어 고정된 마이크로렌즈조립세트들을 보다 안정적으로 고정시킨 후 양극본딩이 실시된다.

37. 发明授权

KR100507460B1 마이크로컬럼의 엑스트렉터 및 엑스트렉터 구경과 전자방출원의 정렬방법 有权
标题翻译：用于微机的提取器和提取器孔径和电子发射器的对准方法
公开(公告)号：KR100507460B1
公开(公告)日：2005-08-08
申请号：KR1020020087224
申请日：2002-12-30
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭 , 안승준 , 김대욱
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 본 발명은 전자 빔 마이크로컬럼, 특히 마이크로컬럼의 엑스트렉터 및 엑스트렉터 구경과 전자 방출원을 정렬하기 위한 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 엑스트렉터는, 전자 방출원에서 방출된 전자빔의 전자들이 전기적으로 도통될 수 있는 복수의 감지구역, 전자의 흐름을 차단하는 절연체 또는 전자의 흐름을 감소시킬 수 있는 저도핑 반도체로 이루어져 상기 각각의 감지구역을 분할하는 절연부, 및 상기 각 감지구역에 충돌된 전자를 전기적으로 도통되게 연결하는 연결부를 포함한다. 본 발명에 따른, 마이크로컬럼의 엑스트렉터 구경과 전자 방출원의 정렬 방법은, 상기 전자 방출원에서 방출된 전자빔을 엑스트렉터의 각 감지구역에서 감지하는 단계, 상기 감지된 감지구역의 위치 및 쪼여진 전류량를 확인하는 단계, 확인된 각 감지구역의 위치 및 쪼여진 전류량에 의해 상기 엑스트렉터 구경과 전자 방출원과의 상대 위치를 계산하는 단계, 및 상기 계산된 데이터에 따라서 상기 전자 방출원, 상기 엑스트렉터, 또는 상기 전자 방출원 및 상기 엑스트렉터를 이동시키는 단계를 포함한다.

38. 发明公开

KR1020140100477A 홀 검사 장치 및 상기 장치를 이용한 홀 검사 방법 有权
标题翻译：孔检查装置和孔检查方法
公开(公告)号：KR1020140100477A
公开(公告)日：2014-08-14
申请号：KR1020147013967
申请日：2007-04-03
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： H01J37/28 , G01R31/307 , H01J37/244 , H01J2237/0635 , H01J2237/22 , H01J2237/244 , H01J2237/24564 , H01J2237/24592 , H01J2237/281 , H01J2237/2817 , H01J2237/317 , H01L22/12 , H01L22/14
摘要： The present invention relates to a via hole inspection apparatus for a semiconductor device using an electron beam. More specifically, many via holes can be quickly inspected in a semiconductor device in which a current is measured because a plurality of electron beams inspected from a plurality of electron beam inspection tools pass through the semiconductor.
摘要翻译：本发明涉及一种使用电子束的半导体器件的通孔检查装置。更具体地，可以在由多个电子束检查工具检查的多个电子束通过半导体的半导体器件中快速检查许多通孔，其中测量电流。

39. 发明公开

KR1020130100191A 홀 검사 장치 및 상기 장치를 이용한 홀 검사 방법 无效
标题翻译：孔检查装置和孔检查方法
公开(公告)号：KR1020130100191A
公开(公告)日：2013-09-09
申请号：KR1020137017197
申请日：2007-04-03
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： H01J37/28 , G01R31/307 , H01J37/244 , H01J2237/0635 , H01J2237/22 , H01J2237/244 , H01J2237/24564 , H01J2237/24592 , H01J2237/281 , H01J2237/2817 , H01J2237/317 , H01L22/12 , H01L22/14
摘要： PURPOSE: A hole inspecting device and a hole inspecting method using the same are provided to reduce the inspecting time of holes formed on an insulation layer by using a plurality of electron beam irradiating units. CONSTITUTION: An electron beam irradiating unit (100) irradiates an electron beam to inspect a hole (21) that is an inspection target. A current measuring unit measures an electron generated by the irradiation of the electron beam through a conductive layer (30) which is located under an insulation layer (20). A data processing unit processes data measured by the current measuring unit. The current value of each hole is measured according to the successive operation of an electron column through a conductive layer in the current measuring unit. The data processing unit obtains hole penetration data by using the current value measured through the conductive layer.
摘要翻译：目的：提供孔检查装置和使用其的孔检查方法，以通过使用多个电子束照射单元来减少形成在绝缘层上的孔的检查时间。构成：电子束照射单元（100）照射电子束以检查作为检查对象物的孔（21）。电流测量单元通过位于绝缘层（20）下方的导电层（30）来测量由电子束照射产生的电子。数据处理单元处理由当前测量单元测量的数据。每个孔的电流值根据电流测量单元中通过导电层的电子柱的连续操作来测量。数据处理单元通过使用通过导电层测量的电流值来获得穿孔数据。

40. 发明公开

KR1020130062174A 멀티 전자 칼럼과 시료표면의 수직정렬 감지장치 审中-实审
标题翻译：用于从多个电子柱和样品表面的电子束之间垂直焊接的检查设备
公开(公告)号：KR1020130062174A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：KR1020110128630
申请日：2011-12-02
申请人： 씨이비티 주식회사
发明人： 김호섭 , 최상국
IPC分类号： H01J37/20
摘要： PURPOSE: A vertical alignment sensing apparatus of a multi electron column and a specimen surface is provided to improve resolution of an electron beam by allowing the electron beam to be accurately focused on the specimen. CONSTITUTION: A collimating lens(210) generates a laser beam as a parallel beam. A photo isolator(220) changes a part of the parallel beam to the other angle. A mirror(230) changes the beam reflected from the surface of a specimen to the same path as the beam split from the photo isolator. The mirror changes the changed path identically with the angle of the photo isolator. A detector(290) detects a partial parallel beam whose path is changed by the photo isolator and the beam reflected from the surface of the specimen through the mirror. [Reference numerals] (AA) Reflection laser detection beam; (BB) Incidence laser reference beam
摘要翻译：目的：提供多电子柱和试样表面的垂直对准检测装置，通过允许电子束准确地聚焦在样品上来提高电子束的分辨率。构成：准直透镜（210）产生作为平行光束的激光束。光隔离器（220）将平行光束的一部分改变到另一个角度。反射镜（230）将从样品表面反射的光束改变为与光隔离器分离的光束相同的路径。镜子用光隔离器的角度改变了改变的路径。检测器（290）检测通过光隔离器改变路径的部分平行光束，以及通过反射镜从样品表面反射的光束。（标号）（AA）反射式激光检测光束; （BB）入射激光参考光束

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